DB34 T 4100-2022 平板显示用稀释剂精馏法再生利用技术要求.pdf

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1、 ICS 13.030.30 CCS Z 23 34 安徽省地方标准 DB34/T 41002022 平板显示 用稀释剂 精馏法再 生利用 技术要求 Technical requirements for regeneration and utilization of thinner distillation method for flat panel display 2022-03-29 发布 2022-04-29 实施 安徽省市 场监督 管 理局 发 布 DB34/T 41002022 前 言 本文件 按照GB/T 1.12020 标准 化工 作导则 第1 部分：标准化 文件 的结构 和起草

2、 规则 的规 定起草。请注意 本文 件的 某些 内容 可能涉 及专 利。本文 件的 发布机 构不 承担 识别 专利 的责任。本文件 由合 肥茂 腾环 保科 技有限 公司 提出。本文件 由安 徽省 节能 减排 及循环 经济 标准 化技 术委 员会归 口。本 文 件起 草单 位：合肥 茂腾 环 保科 技有 限公 司、安徽 理 工大 学、安徽 省质 量和 标 准化 研究 院、安徽省产品 质量 监督 检验 研究 院、安 徽省 合肥 市庐 江县 生态能 源局、绵 阳茂 睿环 保有限 公司。本 文 件主 要起 草人：倪进娟、鲍 大利、王 景荣、黄 崑成、季 立仁、孙 志龙、徐 镇、李孟 婷、罗唐富。I D

3、B34/T 41002022 平 板显示 用稀释剂 精馏法 再生利用 技术要 求 1 范围 本文件 规定 了平 板显 示用 稀释剂 精馏 法再 生利 用的 技术原料、技 术要 求、污染控 制 要求 和安 全要求。本文件 适用 于平 板显 示用 稀释剂 精馏 法再 生利 用。2 规范性 引用 文件 下列文 件中 的内 容通 过文 中的规 范性 引用 而构 成本 文件必 不可 少的 条款。其 中，注日 期的 引用 文件，仅该日 期对 应的 版本 适用 于本文 件；不注 日期 的引 用文件，其 最新 版本（包 括所有 的修 改单）适 用 于 本文件。GB/T 3143 液体 化学 产品颜 色 测定

4、法(Hazen单位 一铂-钴色 号)GB/T 6283 化工 产品 中水分 含 量的 测定 卡尔 费休 法(通用方 法)GB/T 9722 化学 试剂 气相色 谱 法通 则 GB 12348 工业 企业 厂界 环境噪 声排 放标 准 GB 16297 大气 污染 物综 合排放 标准 GB 18597 危险 废物 贮存 污染控 制标 准 GB 18599 一般 工业 固体 废物贮 存和 填埋 污染 控制 标准 GB 50160 石油 化工 企业 设计防 火规 范 HJ 2025 危险 废物 收集、贮存及 运输 技术 规范 HG/T 20559.1 管道仪表流程图设计内容及深度的规定 HG/T 2

5、0559.2 管道仪表流程图设备图形符号 HG/T 20559.3 管道仪表流程图管道和管件图形符号 HG/T 20559.4 管道仪表流程图管道编号及标注 HG/T 20559.5 管道仪表流程图物料代号和缩写词 HG/T 20559.6 管道仪表流程图隔热、保温、防火和隔声代号 HG/T 20559.7 管道仪表流程图设备位号 HG/T 20570.1 设备和管道系统设计压力和设计温度的确定 HG/T 20570.2 安全阀的设置和选用 HG/T 20570.5 泵的系统特性计算和设备相对安装高度的确定 HG/T 20570.6 管径选择 HG/T 20570.8 气-液分离器设计 HG/

6、T 20580 钢制化工容器设计基础规定 SJ/T 11637 电子 化学 品 电感耦 合等 离子 体质 谱法 通则 3 术语和 定义 下列术 语和 定义 适用 于本 文件。1 DB34/T 41002022 3.1 稀释 thinning 平板显 示屏 制屏 工序 中，为实现 光刻 胶在 玻璃 基板 上呈现 良好 涂胶 效果，使 用溶于 有机 溶剂 的 光 刻胶进行 涂胶，这 种用 有机 溶剂溶 于光 刻胶 的工 艺过 程就是 稀释。3.2 稀释液 thinner 用于稀 释光 刻胶 进行 玻璃 面板涂 胶的 溶液。3.3 稀释剂 废液 waste thinner 溶于稀 释剂 中的 光刻

7、胶，在玻璃 基板 上完 成涂 胶后，对 玻璃 基板 进行 加热 使 稀释剂 蒸发，光刻 胶作为 高 分子 物质 留在 玻璃 基板 上，蒸发 的气 相经 冷凝成 为 稀释 剂废 液。废 液主要 含 有有 机溶 剂、少 量光刻胶、水、金 属离 子等。3.4 再生利 用 recycling 通 过 对废 液进 行处 理，将其 中 有价 值的 物料 集中 回收 后，成为 可再 利用 的物料 的 过程，不包 括对 能量的回 收和 利用。4 原料 稀释剂 废液。5 技术要 求 基本要 求 5.1 5.1.1 平 板显示用剥离液精馏法再生利用相关的总平布置应满足 GB 50160，化工容器设备应按照 HG/

8、T 20580 相关 规定 设计、设备 与管 道系 统涉 及温度 和 压力 应按照 HG/T 20570.1、HG/T 20570.2、HG/T 20570.5、HG/T 20570.6、HG/T 20570.8 相关 规定 设计、管道仪 表流 程图 应按 照HG/T 20559.1、HG/T 20559.2、HG/T 20559.3、HG/T 20559.4、HG/T 20559.5、HG/T 20559.6、HG/T 20559.7 对乙 类 可燃 液 体的 相关规定设计。5.1.2 平 板 显示 用稀 释剂 精馏 法再 生 利用 过程 中废 物收 集、贮存、包 装、运输 应满足 HJ 2

9、025 相 关规定。5.1.3 平板显 示用稀 释剂 精馏法 再生利 用过程 中危 险废物 的贮存 容器、贮存 设施的 选址与 设计原 则、贮存设 施的 运行 和管 理、安全防 护与 检测 等应 满足 GB 18597 的规 定。5.1.4 残液的 排放 数量 应小 于 4 倍光刻 胶的 含量。5.1.5 应控制 系统 运行 温度 在设 定温度 的 3内，压 力在 设 定压 力的 5 mmHg 内。5.1.6 整个系 统配 备氮 气保 护系 统。5.1.7 保证系 统真 空度、温 度满 足精馏 要求，冷 却水 应宜 采用7 低温 水冷。工艺流 程 5.2 5.2.1 平板显 示用 稀释 剂精

10、馏法 再生利 用工 艺流 程,如 下图 1 所示.2 DB34/T 41002022 图1 废液再 生利 用工 艺流 程图 工艺流 程技 术要 求 5.3 5.3.1 过滤 稀释剂 废液 经不 小于50目 的过滤 器过 滤，滤出 的固 体杂质 作为 危废 交由 有资 质单位 处理。5.3.2 蒸发 经过过 滤的 稀释 剂废液 进入 蒸 发器 蒸发，蒸发 的气相 再 进入 一级 精馏 塔。应采 用 薄膜 蒸发 器。蒸 发器排放 残液的 数量 应不大 于废液 中光刻 胶含 量的2 倍。排出 的残液 作为 固废交 由有危 废处理 资质 单位 处理。蒸 发器 温度 宜在60 100，压力60 mmHg

11、 100 mmHg。5.3.3 一级精 馏 蒸发后 的气 相进 入一 级精 馏塔，精 馏塔 高位 槽至2/5 到1/2 液 位时，打开 回流，在 此 过程 中一 级精馏塔液位 逐渐 升高，逐步 加 大一级 精馏 塔再 沸器 供热 量，在塔 釜液位 升高 至2/3 到4/5 时，将塔 釜液 打至 二级精馏 塔。控 制精 馏塔 温 度、压力 等工 艺参 数，进行 减压精 馏，脱 除废 液中 的 轻组分（水、低沸 点杂 质）3 DB34/T 41002022 杂质，经冷 凝收 集入 高位 槽，进 入高 位槽 的溶 液后 作为废 水处 理。一级 精馏 的温度、压 力、回 流 比 区 间宜为：60 90

12、、70 mmHg 100 mmHg、回流 比（1 3）：1。5.3.4 二级精 馏 经泵输 送至 二级 精馏 塔的 塔釜液，精 馏塔 塔釜 至2/5到1/2 液位 时，逐步 加大 二 级精馏 塔再 沸器 供热量，当 精馏塔 高位 槽至2/5到1/2液 位时，打开 回流，全回流1h，系 统稳 定运行1 小时后，打开 出料，控制进料 和采出 平衡，精馏 过程中 严格控 制温 度、压 力、回 流比等 工艺 参数，经精馏 脱除金 属离 子杂 质、极 少 量的 光刻 胶和 有机 物重 组 分杂 质后，经冷 凝收集 得 到冷 凝液，冷凝 液待分 析。二级 精馏 塔塔 釜物料根据温 度应 定期 排放 残液。

13、二级精 馏的 温度、压力、回流比 区间 宜为：80120、60 mmHg90 mmHg、回流比（2 5）：1。5.3.5 分析 按GB/T 3143、GB/T 6283、GB/T 9722、SJ/T 11637 对二 级精 馏塔 塔顶 冷凝 液 的色度、水 分、有机组分含 量、金属 离子 含量 进行分 析。分析 结果 符合：色度 应不 大于20度，水 分含量 应不 大于0.10，有效有机 组分含 量应 不小于95.00；金属 Li、Na、Mg 等应不 大于40 ug/L，则 为 电子级 再生稀 释剂，泵入电子 级再 生稀 释剂 储罐。5.3.6 不合格 回用 检测不 合格 品则 切换 回稀 释

14、剂废 液罐 中供 再次 生产。6 污染控 制要 求 废气宜经 吸收处理 后应按 照企业取 得的排污 许可证 或环评批 复中相关 要求标 准排放。可参 照 GB 6.1 16297 的 规定 执行。废水经 预处理 后应 按照企 业取得 的排污 许可 证或环 评批复 中相关 要求 标准排 放（一 般为相 应 园 区 6.2 污水处 理厂 接管 标准）。噪声按照 GB 12348 的 规定执 行。6.3 一般工 业固 体废 物处 置按照 GB 18599 的规 定执 行；产 生 的残 液等 危废 贮存 应按 照 GB 18597 的规 6.4 定执行。7 安全要 求 再生稀 释剂属 于乙 类可燃 液

15、体，生产、包装、储存、运输 过程中 应严 格遵守 国家有 关危险 品 的 消 7.1 防、安 全条 例。再生稀 释剂储 存地 点应干 燥、通 风、远 离火 源及其 他危险 品或禁 配物，避免 阳光直 射，应 具 备 消 7.2 防器材 和救 护设 施。再生稀 释剂应 避免 明火、曝晒以 及与有 机物、金属 粉末等 接触。当用 槽车运 输时，不应在 容 器 附 7.3 近抽烟 或动 用明 火。如被再 生稀 释剂 灼伤 皮肤 应立即 用大 量水 冲洗，并 立即就 医。7.4 再生稀 释剂运 输须 使用有 资质的 危险化 学品 运输承 运。运 输工具 应清 洁、卫 生，不 应与有 毒、有 7.5 害、有 腐蚀 性、易挥 发或 有异味 的物 品混 装运 输。4 DB34/T 41002022 再生稀 释剂储 存地 点应干 燥、通 风、远 离火 源及其 他危险 品或禁 配物，避免 阳光直 射，应 具 备 消 7.6 防器材 和救 护设 施。5