GOST R 8 863-2013 State system for ensuring the uniformity of measurements Insruments for measurement power and irradiance in the wavelength range from 10 to 30 nm Verification pro.pdf

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1、 8.863 2013 10-30 8.8632013 II 1 - - ( ) 2 386 3 22 2013 . 2110- 4 1.02012 ( 8). ( 1 ) , . () . , (gost.ru) , 2014 , 8.8632013 1 10 - 30 State system for ensuring the uniformity of measurements. Insruments for measurement power and irradiance in the wavelength range from 10 to 30 nm Verification pro

2、cedure 20150101 1 ( - ) , ( - ) ( - ) 10-30 , . 10 - 30 , 10- 7 , 210- 4 , 0,01 /2, 20 /2. . 2 : 8.552 - 2001 . 0,03 0,40 . 8.736 - 2011 . . . , 1 , , , . , , (). , , , , , . , , , , . 3 , 1. 8.8632013 2 1 8.1 + + 8.2 + + 8.3 + + 8.3.1 + + 10-30 8.3.2 + + , . 8.3.3 + + 8.3.4 + + + , , - 4 , 2. 2 , 8

3、.3.1 10 - 30 162-3-2003 8.552. ( - ): 3 %. 8.3.2 10 - 30 162-3-2003 8.552. : 4 %. 8.3.3 162-3-2003 8.552. : 5 %. 8.3.4 162-3-2003 8.552. : 5 %. 5 , -, , . 6 . , III, . 7 : 8.8632013 3 - .(20 5) ; - (65 15) %; - .(84 - 104) ; - .(220 4) ; - .(50 1) . 8 8.1 : - ; - , ; - ; - ( ); - , . 8.2 : - ; - , .

4、 8.3 8.3.1 , , ( - ) , 1 10 - 30 0 . , ( ) 8.552 10 30 . , , , UV, 8.552. 10 30 , . I() I() 1 10 30 . J() J(), . i- i () () i () = () Ii() Ji() Ii() Ji(). (1) (). S0 n 5 ()- i()2 1/2 i=1 S0 = . (2) () n ( n-1)1/2 0 8.552 ( ). S 8.8632013 4 S = ( S02 + 02 /3 )1/2 . (3) 10 30 5 %. 1, , () S (), 30 30

5、E() S() d E () S () d 10 10 1 = | - 1 | 100, (4) 30 30 E () S () d E () S() d 10 10 () ; () . . () () 3 7. 1 8 %. 3 E (), . 450 1,0 , E () 9,0 10 12 14 16 18 20 22 24 26 28 30 31 1,0 0,8114 0,5388 0,3768 0,2744 0,2064 0,1596 0,1260 0,1014 0,0830 0,0688 0,0576 0,0532 8.8632013 5 4 E (),. I , E () , E

6、 () 10,0 10,5 11,0 11,5 12,0 12,5 13,0 13,5 14,0 14,5 15,0 15,5 16,0 16,5 17,0 17,5 18,0 18,5 19,0 19,5 0,299 0,489 0,161 0,175 0,109 0,095 0,474 1,000 0,832 0,825 0,474 0,336 0,321 0,175 0,086 0,056 0,038 0,025 0,018 0,015 20,0 20,5 21,0 21,5 22,0 22,5 23,0 23,5 24,0 24,5 25,0 25,5 26,0 26,5 27,0 2

7、7,5 28,0 28,5 29,0 29,5 30,0 0,007 0,009 0,008 0,008 0,015 0,009 0,015 0,009 0,007 0,011 0,014 0,007 0,014 0,012 0,006 0,013 0,015 0,007 0,011 0,014 0,009 5 E ( ) ., II , E(), . 9 11 13 13,5 14 15 16 18 20 30 0,220 0,288 0,920 1,000 0,910 0,733 0,522 0,264 0,204 0,173 6 E(),. - III , E(), . , E(),.

8、10,0 10,5 11,0 11,5 12,0 12,5 13,0 13,5 14,0 14,5 15,0 15,5 16,0 16,5 17,0 17,5 18,0 18,5 19,0 19,5 0,009 0,009 0,009 0,010 0,013 0,039 0,106 1,000 0,508 0,267 0,164 0,113 0,132 0,109 0,096 0,094 0,092 0,087 0,074 0,081 20,0 20,5 21,0 21,5 22,0 22,5 23,0 23,5 24,0 24,5 25,0 25,5 26,0 26,5 27,0 27,5

9、28,0 28,5 29,0 29,5 30,0 0,086 0,084 0,079 0,086 0,083 0,082 0,086 0,079 0,085 0,088 0,082 0,087 0,083 0,085 0,084 0,083 0,086 0,084 0,083 0,085 0,083 8.8632013 6 7 E(), . IV , E(), . , E(), . 8,00 8,25 8,50 8,75 9,00 9,25 9,50 9,75 10,00 10,25 10,50 10,75 11,00 11,25 11,50 11,75 12,00 0,175 0,226 0

10、,263 0,336 0,584 0,504 0,460 0,474 0,299 0,394 0,489 0,292 0,161 0,146 0,175 0,102 0,109 12,25 12,50 12,75 13,00 13,25 13,50 13,75 14,00 14,25 14,50 14,75 15,00 15,25 15,50 15,75 16,00 16,25 16,50 0,073 0,095 0,153 0,474 0,803 1,000 0,978 0,832 0,788 0,825 0,672 0,474 0,394 0,336 0,285 0,321 0,263 0,175 8.2.1 10-30 10-30 . () . I I . =