GB T 17473.6-1998 厚膜微电子技术用贵金属浆料测试方法 分辨率测定.pdf

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1、ICS 77. 040. 01 H 23 _.f是2-,-. 1998-08-19发布共G/T 17473.6 1998 Test methods of precious metal pastes used for thick film microelectronics 一Determinationof resolution , 1999- 03 -01实施国家质技术监督局发布一一一GB/T 17473. 6一1998前垦g1=1 贵金属浆料是厚膜微电子技术领域的一种重要材料，分辨率是浆料的主要性能之一。目前我国尚未制定出浆料分辨率测试方法的标准，也未检索到该测试方法的国际标准或国外先进标准。

2、本标准主要参照日本标准1ISC5010印刷线路板规则及相关资料，结合我国贵金属浆料生产与应用实践而制定的.本标准由中国有色金属工业总公司提出.本标准由中国有色金属工业总公司标准计量研究所归口。本标准由昆明贵金属研究所负责起草.本标准主要起草人g张林震。I 2 范围中华人民共和国国家标准厚膜微电子技术用贵金测试方法分辨率测定Test methods of precious metal pastes used for thick fiIm microelectronics -Determination of resolution 本标准规定了贵金属浆料分辨率的测试方法. GB/T 本标准适用于贵金

3、属浆料的分辨率测定。非贵金属浆料亦可参照使用。引用标准17473.6-1998 下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本均为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。GB/T 8170一1987数值修约规则3 方法提要浆料用丝网印刷成图形。图形经烘干或烧结后，用显微镜在一定的放大倍数下观察和测量图形的膜线宽度和线间距，进行浆料分辨率的测定。4 4. 1 4.2 片.5 5. 1 5.2 5.3 5.4 5.5 材料光刻膜丝网丝径20-25m不锈钢丝网.AI，O，含量不小于95%、表面粗糙度为0.5-1.5m(在测距

4、为10mm的条件下测量)的陶瓷基设备与仪器半自动厚膜印刷机。红外烘干机.厚膜隧道烧结炉。读数显微镜，放大倍数25-100X，读数精度。.01mm以上。光切测厚仪.6 样品制备6. 1 在温度20-25C、相对湿度45%-75%和大气压力86-106kPa环坡下，用印刷机在基片上印出图形，印刷图案为与表1中的膜线宽度和线间H:相等的五组4线条图形组成.图案乳胶层厚度为8-10m. 质量技术监督局1998-08-19批准1999 - 03 -01实施1 -号-一一二一一一一一一G/T 17473.6-1998 6.2 将印有图形的基片本平放置5mi口，然后把基片置于150C红外烘干机内烘干，制得待

5、测试样品10试样I的烘干膜厚度控制在1535m.6.3 将试梓基片置于峰值温度为850C的隧道炉内烧成，制得待测试样品E。试样E的烧成膜厚度控制在1O25m.7 测试步骤7. 1 将试样I或试样E置于显微镜台面上，调整日镜及物镜至图像清晰位置。转动显微镜手柄，从0.1 mm线条至0.5mm线条之间，选择最先具有线条均匀连续和轮廓鲜明的-组线条作为测量对象。7.2 转动显微镜刻度子柄，先后将显微镜内的十字坐标对准膜线两侧边，测量膜线宽度.7.3 用同样的方法测量线间距。7.4 测量精度为0.01mm.膜线宽度及线问HH图形见图1。7.5 对同一浆料试样，每次测量的试样不少于6片。W.一膜线宽度，

6、Wb一线间ie图1膜线宽度及线间距示意图8 测试结果的计算及判定8. 1 按式(1)和式(2)分别计算出每片试样线条组的膜线宽度平均值和线问距平均值2XA = W., + W.，十W.3+ W. 一，、-4 式中:XA一一膜线宽度平均值，mm;XB-一线间距平均值，mm;W.-一膜线宽度测量值，mtn; Wb-一线问HE测量值，mmoXR = Wb1十Wh2+日13-B-3 8.2 8.3 数值修约按GB/T8170的规定进行，取两位有效数字。分辨率规格应符合表1的规定。表1分辨率规格分辨率规格Fl F2 F3 膜线宽度.IhlhQ. 1 0.2 0.3 线间距.mmO. 1 0.2 0.3

7、F4 。.4 0.4 . ( 1 ) ( 2 ) F5 0.5 0, 5 8.4 当膜线宽度的平均值和线间距的平均值与表1相应规格的规定值的差值在士10%时，方可确定为相应规格的取值，差值超过士10%时，视为低一级规格并重新测量。8.5 当6片试样全部达到同一规格时，方可确定该规格为被测浆料的分辨率.8.6 当6片试样中有1片或I片以上试样的规格低于其余试样的规格时，应取低一级规格对相应的试z GB/T 17473.6一1998样进行测量和判定，直到满足8.4条要求为止。9 试验报告试验报告应包括下列内容zd试样编号;b)浆料名称、牌号和状态，c)浆料批号gd)检测结果及检测部门印章pe)本标准号;f)检测人及检测日期。一咀 二-一一白白FD -mh叮队H筒。华人民共和国家标准厚腹微电子技术用贵金属浆料测试方法分辩率测定G/T 17473.6-1998 国中 中国标准出版社出版北京复兴门外三里河北街16号邮政编码，100045电话，68522112无锡富瓷快速印务有限公司印刷新华书店北京发行所发行各地新华书店经售版权专有不得翻印 开本880X1230 1/16 印张1/2字数6千字1999年3月第一版1999年3月第一次印刷印数1-800 书号，155066 1-15494 366-39 标目