GB T 17473.6-2008 微电子技术用贵金属浆料测试方法.分辨率测定.pdf

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1、ICS 7712099H 68 园园中华人民共和国国家标准GBT 1 747362008代替GBT 174736 1998微电子技术用贵金属浆料测试方法分辨率测定2008-03-3 1发布Test methods of precious metals pastes used formicroelectronics-Determination of resolution2008-09-01实施丰瞀徽鬻瓣訾糌瞥星发布中国国家标准化管理委员会仅19刖 昌GBT 1747362008本标准代替GBT 174731998厚膜微电子技术用贵金属浆料测试方法(所有部分)，本标准分为7个部分： GBT1747

2、31 2008微电子技术用贵金属浆料测试方法 固体含量测定；GBT 174732 2008微电子技术用贵金属浆料测试方法细度测定；GBT 174733 2008微电子技术用贵金属浆料测试方法方阻测定；GBT 174734 2008微电子技术用贵金属浆料测试方法附着力测试；GBT 174735 2008微电子技术用贵金属浆料测试方法粘度测定；GBT 1 747362008微电子技术用贵金属浆料测试方法 分辨率测定GBT 174737 2008微电子技术用贵金属浆料测试方法可焊性、耐焊性测定。本部分为GET 17473-2008的第6部分。本部分代替GBT 174736-1998厚膜微电子技术用贵

3、金属浆料测试方法分辨率测定。本部分与GBT 1747361998相比，主要有如下变动：将原标准名称修改为微屯子技术用贵金属浆料测试方法分辨率测定；增加了固化型贵金属浆料分辨率测定的内容；原“光刻膜丝网网径20一25m不锈钢丝网”改为“光刻膜丝网，丝网孔径不大于54 pm”；增加63将印有固化型的试样按其规定的工艺要求进行静置、烘干、固化，固化后试样膜厚控制在ltxm15#m；分辨率规格分级重新定义为01 mm、02 turn、o3 mm、04 mm、05 mm五个级别。本部分由中国有色金属工业协会提出。本部分由全国有色金属标准化技术委员会负责归口。本部分由贵研铂业股份有限公司负责起草。本部分起

4、草人：刘成、赵汝云、陈伏生、马晓峰、刘继松、朱武勋。本部分所代替标准的历次版本发布情况为：GBT 174736一1998。1范围微电子技术用贵金属浆料测试方法分辨率测定本部分规定了微电子技术用贵金属浆料分辨率的测定方法。本部分适用于微电子技术用贵金属浆料的分辨率测定。2规范性引用文件GBT 1747362008下列文件中的条款通过本部分的引用而成为本部分的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本部分，然而，鼓励根据本部分达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本部分。GBT 8170数值修约规则3方法

5、提要浆料用丝网印刷成图形。图形按浆料正常使用时的条件烧结或固化要求进行烧结或固化，用显微镜在一定的放大倍数下观察和测量图形的膜线宽度和线间距，进行浆料分辨率的测定。4材料41光刻膜丝网，丝网孔径不大于54“m。42符合不同浆料使用要求的基片。基片表面粗糙度不大于15“m(在测距为10 mra的条件下测量)。5仪器与设备51丝网印刷机。52红外烘干机，最高使用温度350，控温精度5。53隧道式烧结炉，最高使用温度1 000，控温精度士lo。54电热鼓风式烘箱，最高使用温度300，控温精度土5。55读数显微镜，放大倍数25 X100 X，读数精度001 mm以上。56光切测厚仪或电子千分尺，读数精

6、度1 um以上。6测定步骤测试在温度20C25、相对湿度4575和大气压力86 kPa106 kPa环境下进行。61将样品搅拌均匀，不得引入杂质。用丝网印刷机在基片上印出图形，印刷图案为与表1的膜线宽度和线间距相等的五组4线条图形组成。62将印有烧结型浆料的基片水平放置5 rain。用红外烘干机在150300的条件下烘干，试样的烘干膜厚度控制在10 pm35 pm。将烘干后的试样置于隧道烧结炉内，按浆料烧成温度曲线设定炉温进行烧结，烧成膜厚度控制在5 pm25 pm。63 将印有固化型浆料的试样按其规定的工艺要求进行静置、烘干、固化，固化后试样膜厚控制在1 pm15 pm。GBT 174736

7、200864将烧结或固化后的试样置于显微镜台面上，调整目镜及物镜至图象清晰位置，转动显微镜手柄，从01 mm线条至05 mm线条之间，选择最先具有线条均匀连续和轮廓鲜明的一组线条作为测量对象。65转动显微镜刻度手柄，先后将显微镜内的十字坐标对准膜线两边侧，测量胰线宽度。66用同样的方法测量线间距。67测量精度为001 mm，膜线宽度及线间距见图1。68对同一浆料试样，每次测量的试样不少于6片。w。膜线宽度w“线间距。图1 膜线宽度及线间距示意图7测定结果计算71 按式(1)和式(2)分别计算出每片试样线条组的膜线宽度平均值X“和线问距平均值Xe： x。一坠堕立4里盟(1)xB一堕半式中：x。膜

8、线宽度平均值，单位为毫米(ram)；xe线间距平均值，单位为毫米(mm)；w。膜线宽度测量值，单位为毫米(ram)；。线间距测量值，单位为毫米(ram)。72数值修约按GBT 8170的规定进行，取两位有效数字。73分辨率规格见表1。表1分辨率规格(2)分辨率规格mm 01 02 03 04 05膜线宽度mm 01 O2 03 04 O5线间距mm 01 02 03 04 O574当6片试样全部达到同一规格时，即可确定该规格为被测浆料的分辨率。75当膜线宽度的平均值和线间距的平均值与表1相应规格的规定值的差值在士10以内时，方可确定为相应规格的分辨率，差值超过土10时，视为低一级规格分辨率。76当6片试样中有1片或1片以上试样的规格低于其余试样的规格时，应重新进行测定。28试验报告报告应包括以下主要内容：a)浆料名称、牌号和状态；b)浆料批号；c)试样编号；d)检测结果及检测部门印章e)本标准号；f)测试人及测试日期。GBT 1747362008