ISO TS 24597-2011 Microbeam analysis - Scanning electron microscopy - Methods of evaluating image sharpness《微光束分析 扫描电子显微镜检查法 图像清晰度评价法》.pdf
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1、 Numro de rfrence ISO/TS 24597:2011(F) ISO 2011SPCIFICATION TECHNIQUE ISO/TS 24597 Premire dition 2011-06-15Analyse par microfaisceaux Microscopie lectronique balayage Mthodes dvaluation de la nettet dimage Microbeam analysis Scanning electron microscopy Methods of evaluating image sharpness ISO/TS
2、24597:2011(F) DOCUMENT PROTG PAR COPYRIGHT ISO 2011 Droits de reproduction rservs. Sauf prescription diffrente, aucune partie de cette publication ne peut tre reproduite ni utilise sous quelque forme que ce soit et par aucun procd, lectronique ou mcanique, y compris la photocopie et les microfilms,
3、sans laccord crit de lISO ladresse ci-aprs ou du comit membre de lISO dans le pays du demandeur. ISO copyright office Case postale 56 CH-1211 Geneva 20 Tel. + 41 22 749 01 11 Fax + 41 22 749 09 47 E-mail copyrightiso.org Web www.iso.org Publi en Suisse ii ISO 2011 Tous droits rservsISO/TS 24597:2011
4、(F) ISO 2011 Tous droits rservs iiiSommaire Page Avant-propos .iv Introduction.v 1 Domaine dapplication 1 2 Rfrences normatives.1 3 Termes et dfinitions 1 4 tapes pour lacquisition dune image MEB.2 4.1 Gnralits .2 4.2 chantillon .2 4.3 Inclinaison de lchantillon.3 4.4 Slection du champ balay 3 4.5 S
5、lection de la dimension dun pixel.3 4.6 Brillance et contraste de limage .4 4.7 Rapport contraste sur bruit de limage .5 4.8 Focalisation et astigmatisme de limage.7 4.9 Interfrence provenant de facteurs externes .7 4.10 Contraste erron7 4.11 Fichier de donnes dune image MEB.7 5 Acquisition dune ima
6、ge MEB et slection dune zone de limage.7 6 Mthodes dvaluation8 6.1 Gnralits .8 6.2 Rapport contraste sur bruit9 6.3 Mthode de la transforme de Fourier (TF) 9 6.4 Mthode contraste sur gradient (CG)12 6.5 Mthode de la drive (DR) 16 7 Rapport dessai18 7.1 Gnralits .18 7.2 Contenu du rapport dessai18 An
7、nexe A (normative) Dtails sur le rapport contraste sur bruit (CNR) .19 Annexe B (normative) Dtails sur la mthode de la transforme de Fourier (TF) .24 Annexe C (normative) Dtails de la mthode contraste sur gradient (CG) 40 Annexe D (normative) Dtails de la mthode de la drive (DR).51 Annexe E (informa
8、tive) Contexte de lvaluation de la nettet dimage 72 Annexe F (informative) Caractristiques et adquation des diffrentes mthodes dvaluation.77 Annexe G (informative) Mthode de prparation des chantillons dessai pour valuer la nettet dimage .81 Annexe H (informative) Exemple de rapport dessai .83 Biblio
9、graphie.86 ISO/TS 24597:2011(F) iv ISO 2011 Tous droits rservsAvant-propos LISO (Organisation internationale de normalisation) est une fdration mondiale dorganismes nationaux de normalisation (comits membres de lISO). Llaboration des Normes internationales est en gnral confie aux comits techniques d
10、e lISO. Chaque comit membre intress par une tude a le droit de faire partie du comit technique cr cet effet. Les organisations internationales, gouvernementales et non gouvernementales, en liaison avec lISO participent galement aux travaux. LISO collabore troitement avec la Commission lectrotechniqu
11、e internationale (CEI) en ce qui concerne la normalisation lectrotechnique. Les Normes internationales sont rdiges conformment aux rgles donnes dans les Directives ISO/CEI, Partie 2. La tche principale des comits techniques est dlaborer les Normes internationales. Les projets de Normes international
12、es adopts par les comits techniques sont soumis aux comits membres pour vote. Leur publication comme Normes internationales requiert lapprobation de 75 % au moins des comits membres votants. Dans dautres circonstances, en particulier lorsquil existe une demande urgente du march, un comit technique p
13、eut dcider de publier dautres types de documents normatifs: une Spcification publiquement disponible ISO (ISO/PAS) reprsente un accord entre les experts dans un groupe de travail ISO et est accepte pour publication si elle est approuve par plus de 50 % des membres votants du comit dont relve le grou
14、pe de travail; une Spcification technique ISO (ISO/TS) reprsente un accord entre les membres dun comit technique et est accepte pour publication si elle est approuve par 2/3 des membres votants du comit. Une ISO/PAS ou ISO/TS fait lobjet dun examen aprs trois ans afin de dcider si elle est confirme
15、pour trois nouvelles annes, rvise pour devenir une Norme internationale, ou annule. Lorsquune ISO/PAS ou ISO/TS a t confirme, elle fait lobjet dun nouvel examen aprs trois ans qui dcidera soit de sa transformation en Norme internationale soit de son annulation. LISO/TS 24597 a t labore par le comit
16、technique ISO/TC 202, Analyse par microfaisceaux, sous-comit SC 4, Microscopie lectronique balayage. ISO/TS 24597:2011(F) ISO 2011 Tous droits rservs vIntroduction LOrganisation Internationale de Normalisation (ISO) attire lattention sur le fait quil est dclar que la conformit avec les dispositions
17、du prsent document peut impliquer lutilisation dun brevet intressant la mthode contraste sur gradient (CG) traite en 6.4. LISO ne prend pas position quant la preuve, la validit et la porte de ces droits de proprit. Le dtenteur de ces droits de proprit a donn lassurance lISO quil consent ngocier des
18、licences avec des demandeurs du monde entier, des termes et conditions raisonnables et non discriminatoires. ce propos, la dclaration du dtenteur des droits de proprit est enregistre lISO. Des informations peuvent tre demandes : Dtenteur du brevet: Hitachi, Ltd. Adresse: Marunouchi Center Bldg., 6-1
19、, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo, 100-8220, Japon Lattention est dautre part attire sur le fait que certains des lments du prsent document peuvent faire lobjet de droits de proprit autres que ceux qui ont t mentionns ci-dessus. LISO ne saurait tre tenue pour responsable de lidentification de
20、ces droits de proprit en tout ou partie. SPCIFICATION TECHNIQUE ISO/TS 24597:2011(F) ISO 2011 Tous droits rservs 1Analyse par microfaisceaux Microscopie lectronique balayage Mthodes dvaluation de la nettet dimage 1 Domaine dapplication La prsente Spcification technique spcifie des mthodes dvaluation
21、 de la nettet dimages numrises produites par un microscope lectronique balayage (MEB) au moyen de la mthode de la transforme de Fourier (TF), la mthode contraste sur gradient (CG) et la mthode de la drive (DR). 2 Rfrences normatives Les documents de rfrence suivants sont indispensables pour lapplica
22、tion du prsent document. Pour les rfrences dates, seule ldition cite sapplique. Pour les rfrences non dates, la dernire dition du document de rfrence (y compris les ventuels amendements) sapplique. ISO 16700:2004, Analyse par microfaisceaux Microscopie lectronique balayage Lignes directrices pour lt
23、alonnage du grandissement dimage ISO/CEI 17025:2005, Exigences gnrales concernant la comptence des laboratoires dtalonnages et dessais ISO 22493, Analyse par microfaisceaux Microscopie lectronique balayage Vocabulaire 3 Termes et dfinitions Pour les besoins du prsent document, les termes et dfinitio
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