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GOST R 56191-2014 Cleanrooms Determination of cleanliness class using a safety factor《清洁室采用安全因数测定清洁等级》.pdf

上传人：confusegate185

文档编号：780032

上传时间：2019-01-23

格式：PDF

页数：16

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1、 56191 2014 2015 561912014 II 1 - () - ( ) 2 184 3 24 2014 . 1428- 4 1.02012 ( 8). ( 1 ) , -. () - . , (gost.ru) , 2015 , - 561912014 III , , , . , , , -, , , - , . . , -. 14644-1. - : - 2 9 ; - 10 . - . - . , - . 14644-12002. , 10. , . 1), , 2 9. . , - , , . 1) . ., . . . 2/2013, . 10-16. Fedotov A

2、., Fedotov G. Cleanroom Classification with Safety Margin Factor for Small Number of Sample Loca-tions and Other Issues. ESTECH 2013 59th Annual Technical Meeting of IEST, April 29 May 2, 2013, San Diego,USA. 561912014 1 Cleanrooms. Determination of cleanliness class using a safety factor 201512 011

3、 - 2 9 . - 14644-1, . 14644-1, - , . . -. , - 14644-1.2 : 14644-12002 . 1. - - - , 1 , , , . , , - (). , , , , , - . , , , , .3 14644-1, :3.1 : 14644-1.3.2 , ( . - , 14644-1.3.3 : - ( / . 3.4 : ( . 561912014 2 3.5 m : m, = /m; m 2 9.4 : , /3; , /3; ;m ;s ( ) (. 14644-1);95- t- m1 ; i, /3; m , /3;95%

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