DIN EN 62047-12-2012 Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 12 Bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of MEMS struct.pdf
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1、Juni 2012DEUTSCHE NORM DKE Deutsche Kommission Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik im DIN und VDEPreisgruppe 17DIN Deutsches Institut fr Normung e. V. Jede Art der Vervielfltigung, auch auszugsweise, nur mit Genehmigung des DIN Deutsches Institut fr Normung e. V., Berlin, gestattet.ICS 31.
2、080.01; 31.220.01!$0O“1881344www.din.deDDIN EN 62047-12Halbleiterbauelemente Bauelemente der Mikrosystemtechnik Teil 12: Verfahren zur Prfung der Biege-Ermdungsfestigkeit vonDnnschichtwerkstoffen unter Verwendung derResonanzschwingungen bei MEMS-Strukturen (IEC 62047-12:2011);Deutsche Fassung EN 620
3、47-12:2011Semiconductor devices Micro-electromechanical devices Part 12: Bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration ofMEMS structures (IEC 62047-12:2011);German version EN 62047-12:2011Dispositifs semiconducteurs Dispositifs microlectromcaniques Partie 12: Mthode
4、dessai de fatigue en flexion des matriaux en couche mince utilisantles vibrations la rsonance des structures systmes microlectromcaniques (MEMS)(CEI 62047-12:2011);Version allemande EN 62047-12:2011Alleinverkauf der Normen durch Beuth Verlag GmbH, 10772 Berlin www.beuth.deGesamtumfang 31 SeitenDIN E
5、N 62047-12:2012-06 2 Anwendungsbeginn Anwendungsbeginn fr die von CENELEC am 2011-10-18 angenommene Europische Norm als DIN-Norm ist 2012-06-01. Nationales Vorwort Vorausgegangener Norm-Entwurf: E DIN IEC 62047-12:2010-05. Fr diese Norm ist das nationale Arbeitsgremium K 631 Halbleiterbauelemente“ d
6、er DKE Deutsche Kommission Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik im DIN und VDE (www.dke.de) zustndig. Die enthaltene IEC-Publikation wurde vom SC 47F Micro-electromechanical systems“ erarbeitet. Das IEC-Komitee hat entschieden, dass der Inhalt dieser Publikation bis zu dem Datum (stability
7、date) unverndert bleiben soll, das auf der IEC-Website unter http:/webstore.iec.ch“ zu dieser Publikation angegeben ist. Zu diesem Zeitpunkt wird entsprechend der Entscheidung des Komitees die Publikation besttigt, zurckgezogen, durch eine Folgeausgabe ersetzt oder gendert. Fr den Fall einer undatie
8、rten Verweisung im normativen Text (Verweisung auf eine Norm ohne Angabe des Ausgabedatums und ohne Hinweis auf eine Abschnittsnummer, eine Tabelle, ein Bild usw.) bezieht sich die Verweisung auf die jeweils neueste gltige Ausgabe der in Bezug genommenen Norm. Fr den Fall einer datierten Verweisung
9、im normativen Text bezieht sich die Verweisung immer auf die in Bezug genommene Ausgabe der Norm. Der Zusammenhang der zitierten Normen mit den entsprechenden Deutschen Normen ergibt sich, soweit ein Zusammenhang besteht, grundstzlich ber die Nummer der entsprechenden IEC-Publikation. Beispiel: IEC
10、60068 ist als EN 60068 als Europische Norm durch CENELEC bernommen und als DIN EN 60068 ins Deutsche Normenwerk aufgenommen. EN 62047-12 Oktober 2011 EUROPISCHE NORM EUROPEAN STANDARD NORME EUROPENNE ICS 31.080.99 Deutsche Fassung Halbleiterbauelemente Bauelemente der Mikrosystemtechnik Teil 12: Ver
11、fahren zur Prfung der Biege-Ermdungsfestigkeit von Dnnschichtwerkstoffen unter Verwendung der Resonanzschwingungen bei MEMS-Strukturen (IEC 62047-12:2011) Semiconductor devices Micro-electromechanical devices Part 12: Bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of
12、MEMS structures (IEC 62047-12:2011) Dispositifs semiconducteurs Dispositifs microlectromcaniques Partie 12: Mthode dessai de fatigue en flexion des matriaux en couche mince utilisant les vibrations la rsonance des structures systmes microlectromcaniques (MEMS) (CEI 62047-12:2011) Diese Europische No
13、rm wurde von CENELEC am 2011-10-18 angenommen. Die CENELEC-Mitglieder sind gehalten, die CEN/CENELEC-Geschftsordnung zu erfllen, in der die Bedingungen festgelegt sind, unter denen dieser Europischen Norm ohne jede nderung der Status einer nationalen Norm zu geben ist. Auf dem letzten Stand befindli
14、che Listen dieser nationalen Normen mit ihren bibliographischen Angaben sind beim Zentralsekretariat oder bei jedem CENELEC-Mitglied auf Anfrage erhltlich. Diese Europische Norm besteht in drei offiziellen Fassungen (Deutsch, Englisch, Franzsisch). Eine Fassung in einer anderen Sprache, die von eine
15、m CENELEC-Mitglied in eigener Verantwortung durch bersetzung in seine Landessprache gemacht und dem Zentralsekretariat mitgeteilt worden ist, hat den gleichen Status wie die offiziellen Fassungen. CENELEC-Mitglieder sind die nationalen elektrotechnischen Komitees von Belgien, Bulgarien, Dnemark, Deu
16、tschland, Estland, Finnland, Frankreich, Griechenland, Irland, Island, Italien, Kroatien, Lettland, Litauen, Luxemburg, Malta, den Niederlanden, Norwegen, sterreich, Polen, Portugal, Rumnien, Schweden, der Schweiz, der Slowakei, Slowenien, Spanien, der Tschechischen Republik, Trkei, Ungarn, dem Vere
17、inigten Knigreich und Zypern. CENELEC Europisches Komitee fr Elektrotechnische Normung European Committee for Electrotechnical Standardization Comit Europen de Normalisation Electrotechnique Zentralsekretariat: Avenue Marnix 17, B-1000 Brssel 2011 CENELEC Alle Rechte der Verwertung, gleich in welche
18、r Form und in welchem Verfahren, sind weltweit den Mitgliedern von CENELEC vorbehalten. Ref. Nr. EN 62047-12:2011 DDIN EN 62047-12:2012-06 EN 62047-12:2011 Vorwort Der Text des Dokumentes 47F/80/FDIS, zuknftige Ausgabe 1 der IEC 62047-12, erarbeitet durch SC 47F Micro-electromechanical systems“ des
19、IEC TC 47 Semiconductor devices“ wurde zur parallelen IEC-CENELEC-Abstimmung vorgelegt und von CENELEC als EN 62047-12:2011 angenommen. Nachstehende Daten wurden festgelegt: sptestes Datum, zu dem die EN auf nationaler Ebene durch Verffentlichung einer identischen nationalen Norm oder durch Anerkenn
20、ung bernommen werden muss (dop): 2012-07-18 sptestes Datum, zu dem nationale Normen, die der EN entgegenstehen, zurckgezogen werden mssen (dow): 2014-10-18 Es wird auf die Mglichkeit hingewiesen, dass einige Texte dieses Dokuments Patentrechte berhren knnen. CENELEC und/oder CEN sind nicht dafr vera
21、ntwortlich, einige oder alle diesbezglichen Patentrechte zu identifizieren. Anerkennungsnotiz Der Text der Internationalen Norm IEC 62047-12:2011 wurde vom CENELEC ohne irgendeine Abnderung als Europische Norm angenommen. In der offiziellen Fassung ist unter Literaturhinweise“ zu der aufgelistete No
22、rm die nachstehende Anmerkung einzutragen: IEC 62047-2:2006 ANMERKUNG Harmonisiert als EN 62047-2:2006 (nicht modifiziert). 2 DIN EN 62047-12:2012-06 EN 62047-12:2011 Inhalt SeiteNationales Vorwort .2 Vorwort .2 1 Anwendungsbereich.5 2 Normative Verweisungen .5 3 Begriffe .5 4 Prfeinrichtung .6 4.1
23、Allgemeines6 4.2 Aktor .6 4.3 Sensor 7 4.4 Regeleinheit .7 4.5 Aufzeichnungseinheit .7 4.6 Parallele Prfdurchfhrung 7 5 Prfbauteil 8 5.1 Allgemeines8 5.2 Resonanzeigenschaften.8 5.3 Schwingbeanspruchtes Teil .8 5.4 Herstellung des Prfbauteiles 8 6 Prfbedingungen8 6.1 Prfamplitude .8 6.2 (Last-)Spann
24、ungsverhltnis .9 6.3 Schwingspielfrequenz 9 6.4 Schwingungsform.9 6.5 Prfdauer (Beanspruchungsdauer)9 6.6 Prfumgebung9 7 Anfangsmessungen .9 7.1 Messung der (mechanischen) Referenzfestigkeit9 7.2 Messung des Frequenzgangs10 8 Prfdurchfhrung10 8.1 Allgemeines10 8.2 Anfangsbeanspruchung .10 8.3 Prfmon
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