DIN EN 165000-5-1998 Film and hybrid integrated circuits - Part 5 Procedure for qualification approval German version EN 165000-5 1997《薄膜集成电路和混合集成电路 第5部分 合格认可的程序》.pdf

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1、EN 165000-5DEUTSCHE NORMDFEntwurf September 1998 DIN Deutsches Institut fr Normung e.V. .Jede Art der Vervielfltigung, auch auszugsweise, nur mit Genehmigung des DIN Deutsches Institut fr Normung e.V., Berlin, gestattet.Alleinverkauf der Normen durch Beuth Verlag GmbH, 10772 BerlinRef. Nr. DIN EN 16

2、5000-5 : 1998-09Preisgr. 14 Vertr.-Nr. 2514Integrierte Hybrid- und SchichtschaltungenTeil 5: Verfahren fr die BauartanerkennungDeutsche Fassung EN 165000-5 : 1997ICS 31.200Deskriptoren: Integrierte Hybridschaltung, integrierte Schichtschaltung, Bauart,Bauartzulassung, VerfahrenFilm and hybrid integr

3、ated circuits Part 5: Procedure for qualification approvalGerman version EN 165000-5 : 1997Deutsche Elektrotechnische Kommission im DIN und VDE (DKE)Die Europische Norm EN 165000-5 : 1997 hat den Status einer Deutschen Norm.Nationales VorwortFr diese Europische Norm ist das Unterkomitee 631.3 Integr

4、ierte Halbleiterschaltungen (monolithisch und hybrid)“ derDeutschen Elektrotechnischen Kommission im DIN und VDE (DKE) zustndig.Fr den Fall einer undatierten Verweisung im normativen Text (Verweisung auf eine Norm oder andere Unterlage ohneAngabe des Ausgabedatums und ohne Hinweis auf eine Abschnitt

5、snummer, eine Tabelle, ein Bild usw.) bezieht sich dieVerweisung auf die jeweils neueste gltige Ausgabe der in Bezug genommenen Norm oder anderen Unterlage.Fr den Fall einer datierten Verweisung im normativen Text bezieht sich die Verweisung immer auf die in Bezug genommeneAusgabe der Norm oder ande

6、ren Unterlage.Der Zusammenhang der zitierten Normen und anderen Unterlagen mit den entsprechenden Deutschen Normen und anderenUnterlagen ist nachstehend wiedergegeben. Zum Zeitpunkt der Verffentlichung dieser Norm waren die angegebenenAusgaben gltig.IEC hat 1997 die Benummerung der IEC-Publikationen

7、 gendert. Zu den bisher verwendeten Normnummern wird jeweils60000 addiert. So ist zum Beispiel aus IEC 68 nun IEC 60068 geworden.Nationaler Anhang NA (informativ)LiteraturhinweiseDIN EN 165000-1Integrierte Hybrid- und Schichtschaltungen Teil 1: Fachgrundspezifikation Verfahren fr die Befhigungsanerk

8、ennung;Deutsche Fassung EN 165000-1 : 1996Europische Norm Internationale Norm Deutsche NormKlassifikation imVDE-VorschriftenwerkCECC 00 114 Teil 2 EN 165000-1 : 1996 DIN EN 165000-1 : 1996-11 Fortsetzung 19 Seiten ENB55EB1B3E14C22109E918E8EA43EDB30F09CC9B7EF8DD9NormCD - Stand 2007-03 Leerseite B55EB

9、1B3E14C22109E918E8EA43EDB30F09CC9B7EF8DD9NormCD - Stand 2007-03EN 165000-5Dezember 1997ICS 31.200 Deskriptoren: Integrierte Hybridschaltungen, BauartanerkennungDeutsche FassungIntegrierte Hybrid- und SchichtschaltungenTeil 5: Verfahren fr die BauartanerkennungFilm and hybrid integrated circuits Part

10、 5: Procedure forqualification approvalDiese Europische Norm wurde von CENELEC am 1. Oktober 1997 angenommen.Die CENELEC-Mitglieder sind gehalten, die CEN/CENELEC-Geschftsordnung zu erfllen, inder die Bedingungen festgelegt sind, unter denen dieser Europischen Norm ohne jede nde-rung der Status eine

11、r nationalen Norm zu geben ist.Auf dem letzten Stand befindliche Listen dieser nationalen Normen mit ihren bibliographischenAngaben sind beim Zentralsekretariat oder bei jedem CENELEC-Mitglied auf Anfrage erhltlich.Diese Europische Norm besteht in drei offiziellen Fassungen (Deutsch, Englisch, Franz

12、sisch).Eine Fassung in einer anderen Sprache, die von einem CENELEC-Mitglied in eigener Verantwor-tung durch bersetzung in seine Landessprache gemacht und dem Zentralsekretariat mitgeteiltworden ist, hat den gleichen Status wie die offiziellen Fassungen.CENELEC-Mitglieder sind die nationalen elektro

13、technischen Komitees von Belgien, Dnemark,Deutschland, Finnland, Frankreich, Griechenland, Irland, Island, Italien, Luxemburg, Nieder-lande, Norwegen, sterreich, Portugal, Schweden, Schweiz, Spanien, der TschechischenRepublik und dem Vereinigten Knigreich.EUROPISCHES KOMITEE FR ELEKTROTECHNISCHE NOR

14、MUNGEuropean Committee for Electrotechnical StandardizationComit Europen de Normalisation ElectrotechniqueZentralsekretariat: rue de Stassart 35, B-1050 Brssel 1997 CENELEC Alle Rechte der Verwertung, gleich in welcher Form und in welchem Verfahren,sind weltweit den Mitgliedern von CENELEC vorbehalt

15、en. Ref. Nr. EN 165000-5 : 1997 DY NCNBNYB55EB1B3E14C22109E918E8EA43EDB30F09CC9B7EF8DD9NormCD - Stand 2007-03Seite 2EN 165000-5 : 1997VorwortDiese Europische Norm wurde von dem Technischen Komitee CENELEC/TC CECC/SC 47 AX Integrierte Hybrid- und Schicht-schaltungen“ ausgearbeitet.Der Text des Entwur

16、fs wurde dem Einstufigen Annahmeverfahren unterworfen und von CENELEC am 1997-10-01 als EN 165000-5angenommen.Nachstehende Daten werden festgelegt: sptestes Datum, zu dem die EN auf nationaler Ebene durchVerffentlichung einer identischen nationalen Norm oder durch Anerkennungbernommen werden mu (dop

17、): 1998-09-01 sptestes Datum, zu dem die nationalen Normen, die der EN entgegenstehen,zurckgezogen werden mssen (dow): 1998-09-01Diese Norm sollte in Zusammenhang mit anderen Teilen der EN 165000 gelesen werden. Diese sind:Teil 1: Fachgrundspezifikation Verfahren fr die BefhigungsanerkennungTeil 2:

18、Innere Sichtkontrolle und spezielle PrfungenTeil 4: Kundenangaben, Prfablaufplne fr Produktbewertung und Vordrucke fr die BauartspezifikationTeil 4 wird als wesentliches Dokument fr alle Anwender angesehen. Im besonderen beinhaltet er eine hilfreiche Einleitung, diefr mgliche Kunden bestimmt ist, un

19、d versucht die hinter der gesamten Norm stehende Philosophie zu erklren.InhaltSeiteVorwort . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21 Anwendungsbereich . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22 Bezugsschriftstcke . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

20、. . 23 Bauartanerkennungsverfahren . . . . . . . . . . . . . . . 23.1 Allgemeines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23.2 Kennzeichnung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23.3 Gltigkeit der Freigabe fr die Lieferung . . . . . . . . 23.4 Antrag auf Bauartan

21、erkennung . . . . . . . . . . . . . . . 2Seite3.5 Strukturelle hnlichkeit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33.6 Materialien, Einzelteile und zugefgte Bauelemente 33.7 Erstmalige Bauartanerkennung . . . . . . . . . . . . . . . 33.8 Erteilung der Bauartanerkennung . . . . . . . . . . . . .

22、. 33.9 Aufrechterhaltung der Bauartanerkennung . . . . . . 33.10 Vorgehen bei Fehlern in der periodischen Prfung . 33.11 Aufhebung der Bauartanerkennung . . . . . . . . . . . 34 Prfablaufplne fr die Produktbauartbewertung 45 Vordruck fr Bauartspezifikation . . . . . . . . . . . . . . 181 Anwendungsb

23、ereichDiese Norm gilt fr integrierte Hybrid- und Schichtschaltun-gen, die als Katalogprodukte oder als kundenspezifischeProdukte unter Benutzung der Dick-/Dnnfilm Technik her-gestellt wurden und deren Qualitt auf Grundlage der Bauart-anerkennung bewertet wird.Die Prfverfahren wurden aus EN 165000-1

24、ausgewhlt. UmHersteller und Kunden bei der Erstellung einer Bauartspezi-fikation zu untersttzen wurde ein Vordruck fr Bauartspezi-fikationen (BDS) mit aufgenommen.Bezugsschriftstcke, bevorzugte Bemessungswerte undEigenschaften und Begriffe sind in EN 165000-1 gegeben.2 BezugsschriftstckeNormative Be

25、zge werden in EN 165000-1 gegeben, dieergnzt werden durch:CECC 00114 Teil II (RP14 Teil II) Bauartanerkennung vonBauelementen der Elektronik3 Bauartanerkennungsverfahren3.1 Allgemeines Die Verfahren aus RP14 Teil II sind anzuwenden.Abschnitt 2.1 der EN 165000-1 ist mit Ausnahme von 3.2 bis3.11 anzuw

26、enden.3.2 KennzeichnungAbschnitt 1.5 der EN 165000-1 ist anzuwenden.3.3 Gltigkeit der Freigabe fr die LieferungSchaltungen drfen im Rahmen der Bauartanerkennungunter folgenden Bedingungen freigegeben werden:a) die Schaltungen entsprechen den Anforderungen derBauartspezifikation.b) die Schaltungen, i

27、hre zustzlichen Bauelemente, Teileund Materialien sind auf die originale Losnummer desHerstellers zurckfhrbar.3.4 Antrag auf BauartanerkennungDer Antrag mu an die Nationale berwachungsstelle (ONH)in bereinstimmung mit 1.3 der RP14, Teil II, gesandtwerden. Zustzlich mu der Hersteller:a) mit den Anfor

28、derungen nach 2.1.1 der EN 165000-1bereinstimmen.b) mit der entsprechenden Bauartspezifikation, basierend aufdem Vordruck fr Bauartspezifikation (siehe Abschnitt 5)und der Prfablaufplne fr die Produktbauartbewertung(Q-PALS) (siehe Abschnitt 4), die in diesem Dokumententhalten sind, bereinstimmen.B55

29、EB1B3E14C22109E918E8EA43EDB30F09CC9B7EF8DD9NormCD - Stand 2007-03Seite 3EN 165000-5 : 19973.5 Strukturelle hnlichkeit Zum Zwecke der Bewertungsprfung kann strukturelle hn-lichkeit verwendet werden, wenn die Prfung eines reprsen-tativen Schaltungstyps mindestens die gleiche Qualittsstufefr den Rest d

30、er Typen, die zusammengefat wurden, ergibt.Der CECC System Manager mu zur Zufriedenheit der natio-nalen autorisierten Stelle (ONH) das Verfahren der Anwen-dung des Plans zur strukturellen hnlichkeit innerhalb derFertigungseinrichtungen erklren und den (die) reprsenta-tiven Typ(en) jeder strukturell

31、hnlichen Gruppe vereinbaren.Fr das Bauartanerkennungsverfahren knnen zwei odermehrere Schaltungen als strukturell hnlich angenommenwerden, weshalb die Anzahl der bentigten Prflinge fr einePrfung aus der gemeinsamen Herstellung ausgewhlt wer-den mu. Dies gilt, wenn sie die gleichen Funktionstypen, di

32、egleichen Konstruktionsregeln, Materialien, Prozesse undVerfahren verwenden (z. B. eine Reihe von T-Zellen Dickfilm-Dmpfungsglieder unter Verwendung der gleichen Maske;oder Dnnfilm D/A-Wandler, die das gleiche Filmmaterial unddie gleichen zugefgten Bauelemente desselben Zulieferersverwenden).Nur die

33、 Prfungen, die nicht extra in den Q-PALS ausge-schlossen werden, drfen fr die strukturelle hnlichkeit inBetracht gezogen werden.3.6 Materialien, Einzelteile und zugefgteBauelemente Abschnitt 2.1.4 der EN 165000-1 ist anzuwenden.3.7 Erstmalige Bauartanerkennung Die Prfplne, die auf der Basis der losw

34、eisen und perio-dischen Prfung verwendet werden, sind in den Q-PALSTabellen in diesem Dokument enthalten.Das Verfahren fr die Eingangs-Bauartanerkennung ist untenwiedergegeben.Die entsprechenden Q-PALS fr die Eingangs-Bauartaner-kennung, Freigabe von Produkten (losweise Prfungen) unddie Aufrechterha

35、ltung der Bauartanerkennung (periodischePrfungen) beschreiben gemeinsam die Mindestprfpro-gramme an vollstndigen Schaltungen.1) Stichprobenentnahme Die Stichprobe mu fr einen Bereich von Schaltungen,fr die die Anerkennung beantragt wurde, reprsentativsein. (Siehe 2.2.4(3) der EN 165000-1). Die Stich

36、proben-gre und das Annahmekriterium sind abhngig vonden entsprechenden Q-PALS fr die die Freigabe beab-sichtigt ist.2) PrfungenDie gesamte Prfserie, die in den in diesem Dokumententhaltenen Q-PALS angegeben ist, wird fr die Anerken-nung von Schaltungen, die eine Bauartspezifikationumfat, bentigt. Di

37、e Prfungen sind in der angege-benen Reihenfolge durchzufhren.Prf- und Meverfahren sind in Abschnitt 3 der EN 165000-1gegeben.Stichproben, die fr die Gruppen B, C und D verwendetwerden, mssen vorher die Prfungen der Gruppe A bestandenhaben.Als Fehler wird gewertet, wenn eine Schaltung alle, oderTeile

38、 einer Gruppe von Prfungen nicht bestanden hat.Die Anerkennung wird erteilt, wenn die Anzahl der Fehlernicht die angegebene Anzahl der zulssigen Fehler fr jedeGruppe oder Untergruppe berschreitet.3.8 Erteilung der Bauartanerkennung Der Hersteller mu einen Ergebnisbericht bei der ONS ein-reichen, der

39、 die Prfungen fr die Bauartanerkennung mitden Anforderungen aus 3.7 dieses Dokumentes und 1.5der RP14, Teil II, umfat.Die Bauartanerkennung mu erteilt werden, wenn die Anfor-derungen aus diesem Dokument erfllt wurden.Eine Bescheinigung der Bauartanerkennung wird in berein-stimmung mit 1.6 der RP14,

40、Teil II durch die nationaleStelle ausgestellt.3.9 Aufrechterhaltung der Bauartanerkennung 3.9.1 Allgemeines Die Bauartanerkennung wird, mit den folgenden Einzel-heiten, nach dem erfolgreichen Abschlu der Verfahren undAnforderungen der Qualitts-Konformittsprfung (siehe 2.4.2der EN 165000-1) aufrechte

41、rhalten:1) Konstruktionsbeurteilungs-PrfungZustzlich zum ersten Lieferlos mssen Konstruktions-beurteilungs-Prfungen mit der in der Bauartspezifikationangegebenen Periodizitt durchgefhrt werden.2) BauartspezifikationDie Bauartspezifikation mu mit der in diesem Dokumententhaltenen Anforderungen der BD

42、S und den Q-PALSbereinstimmen.Der Hersteller mu auerdem eine gleichbleibende Produk-tion aufrechterhalten, z. B.:a) keine Wechsel des Herstellungsortes oder der abschlie-enden Prfungen.b) es trat keine Unterbrechung von lnger als zwei Jahrenin dem vom Hersteller erklrten Prfplan fr periodischePrfung

43、en auf.3.9.2 nderungen zur Bauartanerkennung Der Hersteller mu die ONS ber nderungen bezglichseiner Bauartanerkennung in bereinstimmung mit 1.9 derRP14, Teil II und 2.3.2 a) bis 2.3.2 h) der EN 165000-1, wiezutreffend, informieren.ANMERKUNG: Alle nderungen mssen mit der ONS abge-sprochen werden.3.10

44、 Vorgehen bei Fehlern in der periodischen3.10 Prfung Das in 1.8 der RP14, Teil II beschriebenen Verfahren istanzuwenden.3.11 Aufhebung der Bauartanerkennung Die in 1.10 der RP14, Teil II beschriebenen Verfahren sindanzuwenden.B55EB1B3E14C22109E918E8EA43EDB30F09CC9B7EF8DD9NormCD - Stand 2007-03Seite

45、4EN 165000-5 : 19974 Prfablaufplne fr die ProduktbauartbewertungANMERKUNG: Die folgenden elf Q-PALS basieren auf den entsprechenden PALS in EN 165000-4.Q-PALS 4, 5, 8, 9, 10 und 11 sind so gegliedert, da sie die Untergruppen C1 und C2 beinhalten, so da die Prfplne derBewertungsstufe K nach CECC 6300

46、0 entsprechen.Die brigen Q-PALS entsprechen den Bewertungsstufen L und M nach CECC 63000.Prfablaufplan 1 fr die ProduktbauartbewertungAnwendbarkeitDieser Bewertungsprfplan ist fr den Gebrauch von angelteten und/oder bloen Chips, nicht-hermetischen sowie nicht umhll-ten Bauelementen mit und ohne Hohl

47、raum gedacht, die unter einfachen mechanischen und Temperaturbedingungen eingesetztwerden.Prfungen Untergruppe A: Bauelemente-Sortierprfung (100 %) EN 165000-1Bezug1. Elektrische Prfung Tamb. Jene Prfungen in der Bauartspezifikation,die Schaltungsfunktionalitt festlegen. 3.4Prfungen Untergruppe B (l

48、osweise): Bauelemente-Stichprobenprfung. IL S4 AQL 0,4 %1. Elektrische Prfung Tamb(andere als die, die fr die Sortierprfung festgelegt sind). 3.42. uere Sichtkontrolle 3.3.2Prfungen Untergruppe C (periodisch alle 6 Monate): KonstruktionsbeurteilungMindest-Stichprobenanzahl 8. Annahme bei 0 Fehlern.1

49、. Elektrische Prfung. Alle festgelegten Kennwerte Tminzur Deckelbefestigung sind keine haftenden oder polymerischen Materialien undfr das Endversiegelungsverfahren ist kein Flumittel zu verwenden.*)Die Regeln der strukturellen hnlichkeit gelten nicht.B55EB1B3E14C22109E918E8EA43EDB30F09CC9B7EF8DD9NormCD - Stand 2007-03Seite 10EN