GB T 26332.1-2010 光学和光学仪器 光学薄膜 第1部分：定义.pdf

《GB T 26332.1-2010 光学和光学仪器 光学薄膜 第1部分：定义.pdf》由会员分享，可在线阅读，更多相关《GB T 26332.1-2010 光学和光学仪器 光学薄膜 第1部分：定义.pdf（16页珍藏版）》请在麦多课文档分享上搜索。

1、ICS 17. 180 N 30 远B中华人民=l:I二./、和国国家标准GB/T 26332. 1-20 1 O/ISO 9211-1: 1994 光学和光学仪器光学薄膜第1部分:定义Optics and optical instruments-Optical coatings一Part 1 Definitions (ISO 9211-1 :1 994 ,IDT) 2011-01-14发布2011-06-01实施数码11M为中华人民共和国国家质量监督检验检夜总局中国国家标准化管理委员会发布GB/T 26332. 1-20 1 O/ISO 9211-1: 1994 目次前言.皿1 范围.2 规

2、范性引用文件.3 术语和定义.4 按功能定义薄膜.4 5 常见的薄膜缺陷定义.6 其他定义附录A(资料性附录)常见薄膜缺陷类型图解8I GB/T 26332.1-2010/1809211-1: 1994 目U吕GB/T 26332(光学和光学仪器光学薄膜分为4个部分:一一第1部分:定义一一第2部分:光学特性一一第3部分:环境适应性一一第4部分:规定的试验方法本部分为GB/T26332的第1部分。本部分等同采用ISO9211-1:1994(光学和光学仪器光学薄膜第l部分:定义)(英文版)。本部分采用国际标准的方法为翻译法。本部分的附录A为资料性附录。本部分由中国机械工业联合会提出并归口。本部分起

3、草单位:沈阳仪表科学研究院、沈阳汇博光学技术有限公司、浙江大学、杭州科汀光学技术有限公司、国家仪器仪表元器件质量监督检验中心、杭州照相机械研究所。本部分主要起草人:阴晓俊、费书国、高鹏、王瑞生、赵帅锋、章岳光、顾培夫、马敬、金秀、杨文华、徐秋玲、杜健、虞仲晓。mm GB/T 26332.1-2010/ISO 9211-1: 1994 1 范围光学和光学仪器光学薄膜第1部分:定义GB/T 26332的本部分叙述了除眼科光学(眼镜)之外的所有镀膜的光学元器件及基片的镀膜表面，并制定了相关参数的标准表述，定义了表面特性参数及其检验、检测方法，而不说明其加工方法。本部分定义了与光学薄膜相关的术语。这些

4、术语分为4类:基本定义、按功能定义薄膜、常见的薄膜缺陷定义和其他定义。2 规范性引用文件下列文件中的条款通过GB/T26332的本部分的引用而成为本部分的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本部分，然而，鼓励根据本部分达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本部分。GB/T 1185-2006 光学零件表面疵病(ISO10110-7: 1996 , NEQ) GB 3102.6-1993 光及有关电磁辐射的量和单位GB/T 8322一2008分子吸收光谱法术语(ISO6286: 1982 , NEQ

5、) ISO 9211-4: 2006光学和光学仪器光学薄膜第4部分z规定的试验方法ISO 10110-8: 1997 光学和光学仪器光学元件和系统制图准备第8部分:表面结构IEC 50(845) :1987 国际电工词汇845章:照明CIE Publication 38: 1977 材料的辐射测量和光度特性及相应测量方法3 术语和定义下列术语和定义适用于本部分。3. 1 镀膜表面surface treatment 3. 1. 1 元件和基片的镀膜表面surface treatment of components and substrates 在光学元件表面镀膜，能够改变光学元件的光学、物理或化

6、学特性。作为所镀薄膜载体的光学元件称为基片。理想的基片是几何完美和光学均质的，应将基片及其表面作为一个整体进行检验测量。光在镀膜表面的透射与反射方向是由光学薄膜、人射介质及出射介质共同决定的。3. 1.2 入射介质incident medium 光射入薄膜前经过的介质。3. 1. 3 出射介质emergent medium 光射出薄膜后进入的介质。注:镀有薄膜的基片可以是人射介质也可以是出射介质，区别在于光通过基片和薄膜的先后顺序。1 G/T 26332. 1-20 1 O/ISO 9211-1: 1994 3.2 镀膜表面的光学特性optical properties of a coated

7、 surface 镀膜表面的光学特性可以用分光光度值来描述，它与电磁波传播的辐射能(辐射或发光)相关，并为波长、人射角、偏振态、空间分布(例如，散射)的函数。注:波长()可用波数()代替。建议波长单位为纳米(nm)或微米(m)，波数的单位为厘米的倒数(cm-1)。3.2. 1 光谱透射比spectral transmittance () 透过的与人射的辐射通量或光通量的光谱密集度之比。(参见GB3102. 6-1993和GB/T8322-2008) 注1:光谱透射比的百分比表示形式称为光谱透射率，用符号TC)表示。注2:光谱透射比可用光密度来表示，()=一!gT().) 。3.2.2 光谱反射

8、比s醉ctralreflectance p() 反射的与人射的辐射通量或光通量的光谱密集度之比。(参见GB3102.6-1993和GB/T8322 2008) 注:光谱反射比的百分比表示形式称为光谱反射率，用符号R().)表示。3.2.3 光谱眼收比spectral absorptance () 吸收的与人射的辐射通量或光通量的光谱密集度之比。(参见GB3102. 61993和GB/T8322 2008) 注:光谱吸收比与光的传播方向有关。3.2.4 光谱散射spectral scatter 一束光被某一表面或某一介质偏离或分散到许多方向，它的空间分布发生了变化，但其频率没有发生变化。注1:在

9、法语版IEC50(845)和CIE38中，采用漫射(diffusion) 定义。也可以参见ISO10110-8. 3. 2. 13. 2. 4中定义的系数之间的关系见式(l)式(3):l=r+p十. ( 1 ) 其中:r=r，+d p=p, +Pd 、，、，nLqd /，.、，、. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 式中:r 镜面条件下的透射比;p，一一镜面条件下的反射tt;u 漫射透射比;d一一漫射反射比。注2:上述值也可表示为式(4)所示的在波长范围).2-).1内的平均值2n创刊时一-A

10、 、A-6、A-e2-Ahl儿tlld一一-r ( 4 ) 2 GB/T 26332. 1-20 1 O/ISO 9211-1: 1994 式中zE().)一一(光源的)光谱发射率;().)一一一(探测器的光谱灵敏度。若分光光度计E()().)为常数，则平均值可用式(5)计算:f:丁!7飞坷r础(川AT._ -一-一一一-=-一一一-一-一m一儿2一A1-_ ).们2一式中:3.2.5 折射率refractive index n() .= ().2-1)/n 光在真空中的传播速率与在介质中的传播速率之比。3.2.6 入射角angl of incdence 入射光线与人射表面法线的夹角。3.2.

11、7 入射面plane of incidence 人射光线与入射表面法线所构成的平面。3.3 色度参数colorimetric parameters 1 . ( 5 ) . ( 6 ) 镀膜表面在视觉应用方面可用色度参数来表示。这些参数取决于所应用的参考光源和镀膜表面的光学特性。3.4 偏振polarization 当人射角不为零时，薄膜的特性与入射光的偏振态有关，且将影响出射光的偏振态。这时有必要说明电矢量的方向与入射面之间的关系。3.4.1 线偏振光lineaI句polarizedradiation 当电矢量的方向保持不变时的偏振光。S偏振是指电矢量与人射面正交的线偏振光。P偏振是指电矢量与

12、人射面平行的线偏振光。3.4.2 椭圄偏振光elliptically polarized radiation 当电矢量投影到与传播方向正交的平面上形成一个椭圆时的偏振光。3.4.3 圄偏振光circulaI句polarizedradiation 当电矢量投影到与传播方向正交的平面上形成一个圆时的偏振光。3.4.4 非偏振光unpolarized radiation 其电矢量可分解成为相互垂直的具有不同相位差的任意两个电矢量，这两个电矢量的平均振幅相同，但其相位差是完全随机变化的。3.4.5 任意偏振光randomly polarized radiation 电矢量方向随时间随机变化的偏振光。3

13、 GB/T 26332.1-2010/ISO 9211-1: 1994 3.5 相位关系phase relations 3.5.1 相变phase change 电磁波在空间中某一点的电矢量可用式(7)来描述:式中zE 电矢量;A一一一振幅;r一在介质中的传播速率;t一一时间;一一在介质中的波长;一一相位。E=Acos(于一)该波和一个参考波之间的相位差(-Co)称为相变。参考波的电矢量用式(8)表示:Eo =Acos(于一也)3.5.2 相位延迟和相位差phase retardation and difference 相位延迟是电矢量的S分量和P分量之间相变的结果，变化的幅值称为相位差。4

14、按功能定义薄膜按功能来定义薄膜，即按薄膜对表面特性所实现的主要调制功能来定义薄膜。. ( 7 ) .( 8 ) 表1列出了当前技术条件下光学薄膜能实现的主要功能。这些功能将来还可能扩展，以包含更多新的方面。某种薄膜能够实现表1列出的一种主要功能，也可能同时具有其他一种或几种次要功能，这些次要功能相对主要功能的重要性也应当标明。表1按功能定义薄膜功能定义应用的例子反射reflecting 在指定的波长范围内能增加光学表面反射率反射镜的薄膜减反射antireflecting 在指定波长范围内能减小光学表面的反射率限制寄生反射而通常增加透射率的薄膜能把人射光分成两束光的薄膜，一束透射，另中性分束镜分

15、束beam splitting 一束反射，在指定光谱范围内能量分配元波长选部分反射镜择性衰减attenuating 在指定波长范围内，无波长选择性地减小透射中性密度滤光片率的薄膜滤光filtering 在指定波长范围内，有波长选择性地透射的滤光片薄膜分色或合色通过透射或反射，将人射光分为两束或多束的二向分色镜selecting or combining 薄膜，每束覆盖一个特定的光谱区域。逆向传播合色镜即可把不同光谱区域的两束或多束光合并4 G/T 26332.1-2010/1809211-1: 1994 表1(续)功能定义偏振polarizing 在指定波长范围内，能控制出射光偏振态的薄膜相变

16、phase chan忽略在指定波长范围内，能控制出射光的相变，并且(或者)能控制矢量S和P之间相位差的薄膜在指定波长范围内，定量吸收入射光能量的吸收absorbing 薄膜附属功能具有与光学功能相结合的非光学功能的薄膜supplementary function 5 常见的薄膜缺陷定义5. 1 点缺陷point-like imperfections 5. 1. 1 针于Lpinhole 非常小的薄膜孔洞。5. 1. 2 溅点spatter 应用的例子偏振片1肖偏振片相位匹配薄膜相位延迟薄膜太阳镜光陷阱电导体化学或机械防护在真空镀膜过程中，小块材料飞溅到基片表面并附着在基片上所造成的缺陷。5.

17、1. 3 微粒partide 薄膜上或内部的微小颗糙。5. 1.4 细微灰尘fine dust 附着在薄膜表面上的微小物质。5. 1.5 节瘤nodule 薄膜表面微小的结节状缺陷。5.2 线缺陪line-like imperfections 5.2.1 划搞scratch 表面像被利器或粗糙器械所伤的斑痕或裂痕。各种意外原因都可能使光学表面产生不同程度的划痕。5.2.2 细划攘hairline 非常细且光滑的划痕，通常是直的。5.2.3 裂纹crack 在光学元件材料内部产生的裂痕。5.2.4 龟裂crazing 膜层中的小裂纹。5 GB/T 26332.1-2010/ISO 9211-1:

18、 1994 5.2.5 微划痛sleek 极细微的划痕。5.3 面缺陷area imperfections 注:在GB/T1185-2006和IS09211-4:2006中规定了检验方法。薄膜缺陷的类型图解见附录A，5.3.1 污点stain 由化学变化产生的，补丁状的局部颜色不一致的表面污渍。5.3.2 磨损abrasion 膜层表面与一个更坚硬的表面接触而产生的损伤。5.3.3 纤维纹Iint mark 残留在光学表面的织物纤维或纸纤维。5.3.4 薄膜空隐coating void 镀膜区域内存在的未镀膜的局部表面。5.4 体缺陷volume imperfections 5.4.1 起皮p

19、eeling 局部薄膜的一端与基片表面部分分离。5.4.2 剥离f1aking 局部薄膜与基片表面部分分离。5.4.3 大摊点large spatter 比定义5.l. 2中体积更大或深度更深的缺陷。5.4.4 大微粒large particle 比定义5.l. 3中体积更大或深度更深的颗粒。5.4.5 起泡blister; bubble 薄膜局部凸起，形同薄膜底部或内部含有包含物将薄膜顶起。6 其他定义6. 1 6.2 6 孔径锥角cone angle of aperture 人射角的最大范围。有用区域、通光孔径useful area; clear aperture 规定的最小可用镀膜区域。

20、GB/T 26332.1-2010/ISO 9211-1: 1994 6.3 边缘rim 基片表面没有镀膜的区域通常是由镀膜过程中用于支撑元件的工装所造成的。一般是指通光孔径之外的区域。6.4 测试样晶witness sample 代表实际镀膜元件，用于光谱和环境试验的样品。测试样品的采样规定(例如:材料、表面质地、尺寸、每批的数量、在镀膜室的位置等)应由供求双方协商确定。7 GB/T 26332.1-2010/ISO 9211-1: 1994 8 附录A(资料性附录)常见薄膜缺陷类型图解本附录用图A.lA.4对常见薄膜缺陷类型进行说明。1一一一针孔(5.1.1);2一一一溅点(5.1.2);

21、3一一一微粒(5.1.3);4一一细微灰尘(5.1.4);5 节瘤(5.1. 5)。6一一划痕(5.2.1);7一一细划痕(5.2.2);8一一一裂纹(5.2.3);9一一龟裂(5.2. 4) ; 10-微划痕(5.2.5)。图A.1点缺陆(5.1) k / 仁之图A.2线缺陆(5.2)11-一污点(5.3.1);12 磨损(5.3.2);13 纤维纹(5.3.3);14 薄膜空隙(5.3.份。15一一起皮(5.4.1);16一一剥离(5.4.2);17一一大溅点(5.4.3);18一一大微粒(5.4. 4) ; 19一一-起泡(5.4.5)。0 . 1 GB/T 26332.1-2010/I

22、SO 9211-1: 1994 f飞 , -) 13 J 、14图A.3面缺陷(5.3)层厚1517一16 Q一一一一一一一17-18 t!) -一一一一一一圄A.4体缺陆(5.4)叮-F gc白EON-.-N肉的NH因。中华人民共和国国家标准光学和光学仪器光学薄膜第1部分:定义GB/T 26332. 1-2010/1S0 9211-1: 1994 争6中国标准出版社出版发行北京复兴门外三里河北街16号邮政编码:100045网址电话:6852394668517548 中国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷各地新华书店经销 开本880X 1230 1/16 印张1字数20千字2011年6月第一版2011年6月第一次印刷导书号:155066. 1-42787定价18.00元GB/T 26332.1-2010 如有印装差错由本社发行中心调换版权专有侵权必究举报电话:(010)68533533打印日期:2011年7月15R F002