GB T 19956.1-2005 容积真空泵性能测量方法 第1部分;体积流率(抽速)的测量.pdf

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1、ICS 23. 160 J 78 真 共GB/T 19956. 1 2005/180 1607-1 : 1993 Positive-displacement vacuum pumps Measurement of performance characteristics Part 1 : Measurement of volume rate of flow (pumping speed) (lSO 1607-1:1993 , IDT) 2005-09-19发布中华人民共和国中国国家标检验检班总局化管理委员会2006-04-01实发布GB/T 19956.1-2005/180 1607-1 ,19

2、93 GB/T 19956(容积真空泵性能测量方法分为两个部分z第1部分g体积流率(抽速)的测量g-一第2部分z极限压力的测量。本部分为GB/T19956的第1部分。本部分等同采用ISO1607-1，1993(容积真空泵性能测量第1部分z体积流率(抽速)的测量。本部分代替1B/T7266-1994(容积真空泵性能测量方法儿本部分等同翻译ISO1607-1 ,1 993 , 为便于使用，本部分做了下列编辑性修改za) ISO 160们7的本部分一词改为GB/T、19956的本部分Pb) 用小数点符号.代替作为小数点的逗号C) 删除了国际标准的前言$d) 在3.4中增加了注，使本部分流量单位统-g

3、e) 在4.2中增加了注，引出资料性附录A，f) 增加了资料性附录A.以供参考使用。本部分由中国机械工业联合会提出。本部分由全国真空技术标准化技术委员会归口。本部分起草单位s山东淄博真空设备厂有限公司，沈阳真空技术研究所。本部分主要起草人z黄毅、燕洪顺、张连庆、王学智。I GB/T 19956.1-2005/1801607-1 ,1993 1 范围容积真空泵性1部分:体积流测量方法(抽速)的测GB/T 19956的本部分规定了容积真空泵体积流率测量方法，所研究的泵是直接排大气的并且单级获得低于100Pa的人口极限压力。2 术语和定义2. 1 下列术语和定义适用于GB/T19956的本部分。体积

4、流率(抽速)volume rale of f10w (pumping speed) 在理想状态下，单位时间内流经泵人口的气体体积。但在实际上，个给定泵在规定条件下工作，对给定气体的体积流率(5)取该气体的流量(Q)与在给定测试罩内规定位置的平衡压力(户)的商。即:S二Q/户体积流率采用的单位是立方米每小时(m/h)或升每秒(1./5)。2.2 测试罩t回Idome 是装在泵人口具有规定形状和尺寸的容器，被测量的气体通过它进入泵内，其上装有压力测量装置。2.3 极限压力ultimale pressure 泵在正常工作情况节，关闭进气阀门，测试罩内趋向的最低压力。3 装置3. 1 测试罩如阁l所示

5、，形状为圆柱体。罩的轴向尺寸为1.50，0是罩的内径。实验气体进口在罩的轴线上，并与连接法兰的距离为0，进气口的排列应使气体自背离泵口的方向进入测试罩。测量人口压力和极限压力的真空计在距离连接法兰0.50处，其轴线垂直于罩的轴线。测试罩的轴线应垂直于泵人口法兰平面。测试罩的容积Vn至少应是泵一个压缩周期扫过容积Vp的5倍。在泵人口必须连接一个异径接头，其长度不应超过0.50(见图1)。对于给定规格的泵，罩尺寸在表1中给出。1) 100 Pa= 100 N/m2 = 1 mba; 133 Pa= 1 torr l GB/T 19956. 1-2005/151607-1:1993 表13.2 压力

6、计对于压力高于或等于1Pa时，其校准精度为士5%.对于更低压力，校准精度为土10%。3.3 试验气体除另有规定外，应使用环境气体。3.4 气体流量测量装置测量气体流量的方法根据所需的流量，其精度应达到za) 流量大于9.9X 10-1 Pa m3/s为土3%，b) 流量在9.9X 10-1 Pa m3 /s-9. 9 X 10 Pa m3/s间为士5%，c) 更低流量为士10%。注z理想气体状况假设是20C。4 试验方法4. 1 原理所采用的方法是定压法，在测量过程中，泵口压力保持不变。实际上，如果测试罩内测得的压力保持不变，这个条件就满足了。4.2 程序为测体积流率，测试罩、压力计及流量计应

7、按第3章装配到泵上。为了达到试验目的，泵应加规定种类和数量的泵液，并按制造厂规定的转速运转，在试验期间，除另有规定外，环境温度在15C-25C 间保持不变，变动在土1C内。当测试罩与进气系统隔离时，应被抽空，直到1h后，观察罩内压力不再降低并且泵达到了平衡工作温度。然后应把气体引人罩内，以期产生要求的测量压力，并且在开始测量前，系统要达到压力平衡状态。体积流率(抽速)应在最低压力下开始测量，以不同的人口压力(在一个数量级至少测3点，大致是2. 5、5、10)逐点测量。每个测点的入口压力，环境大气压力和气体流量都应被测定。如果泵装有气镇装置，应在充分气镇下重复试验。人口压力和气体输入量应尽可能同

8、时测量。如果输入气体超过60s，压力测量应取60s为一个周期，并记录平均值。如果最高与最低读数相差越过10%.测量应重新进行。注s气体流量的测量与计算可参见附录A。5 试验结果入口压力和体积流率之间的关系应用曲线图表示。用对数横坐标表示压力，其范围从极限压力到大气压力或适合泵结构的其他压力范围，线性纵坐标表示体积流率。人口压力和气体流量之间的对应关系应用曲线图表示，用对数横坐标表示压力，对数纵坐标表示流量。如果泵装有气镇装置，应该画出2) 1 Pa. m3/s= 1 000 Pa. L/s 2 GB/T 19956. 1一25/1801607-1.1993没有气镇和充分气镇两种情况曲线。试验报

9、告6 试验报告应包括下列情况za) 所用测量仪器的类型和工作条件;b) 在泵人口法兰上使用的密封型式;使用的挡板和(或)阱的型式及它们在试验时的温度;冷却水流量p泵的转速及在试验时的变化范围;如果用气镇，气镇气体流率时/h(L/s), 环境温度和压力。c) d) e) f) g) 单位为毫米飞、四00。-o飞回回。由，。i可凶hno。由。噩入口直径U /) 气异径接生一一，3 测试罩图1GB/T 19956. 1-2005/ISO 1607-1: 1993 附录A(资料性附录)气体流量的测量与计算A. 1 导富本附录给出了采用滴管流量计和转子流量计进行气体流量的测量与计算，测试中所用的装置符合

10、第3章的规定，测试程序见4.2。A.2 滴管流量计A. 2. 1 推荐按褒A.1选用滴管褒A.1 滴管直径和被试泵抽气量对照褒型式滴管直径/mm测量范围/CPaL/s) l. 5 0.24-1. 4 3 1-5.7 5 2.6-16 10 10-63 20 42-250 滴臂30 100-570 50 260-1 600 80 680-4000 100 1 000-6300 150 2400-140 200 4 200-25 000 A. 2. 2 气体流量计算滴管装置如图A.1所示，由油槽、自由l量汹、滴管及连接胶管组成。泊槽直径至少大于滴管直径的5倍，测量长度为200mm，测量时间为255

11、-1505.测量段容积的测量精度为士1%.连接微调阀的橡胶管要尽量细而短，测量用油20C时的运动粘度应低于30XI0-6m/s.其密度应实际测量。4 滴管式流量计所测流量按式(A.l)计算zQ = Pt.v +pg(V, t.Vh)h/t .(A.l) 式中Q流过泵口的气体流量，单位为帕升每秒(Pa.L/s) , P 测试时当地大气压力，单位为帕(Pa); t.V一一滴管内每mm高度的容积，单位为升每毫米(L/mm), v。从微调阀到滴管起始油面之间的体积，单位为升(L), F一一测量环境下流量计泊的密度，单位为千克每升(kg/L); E一当地自由落体加速度，单位为米每二次方秒(m/s2)，h

12、 滴管内油柱上升高度，单位为毫米(mm); z一一滴管内油柱上升所需时间，单位为秒(s)。GB/T 19956. 1-2005/ISO 1607-1: 1993 A.3 转子流量计A.3. 1 推荐按表A.2选用流量计表A.2转子流量计和被试泵抽气量对照襄A. 3. 2 气体流量计算气体流量按式(A.2)计算:Q = V. p 式中:Q 所测流量，单位为帕升每秒(PaL/s); V 流量计视值，单位为升每秒(L/s);P 实测大气压，单位为帕(Pa)I Pl T2 Pat - T 1 P, 流量计标定时的大气压力，单位为帕(Pa).取P1= 101 325 Pa; T1 流量计标定时热力学温度

13、，单位为开(K).取T1=293 K, T2 测量时热力学温度，单位为开(K)。5 2 4民I 贮液槽;2 滴管，3 进气阀34 胶管z5 微调阀。A. 1 j商管装置( A.2 ) 5 中华人民共和国国家标准容积真空泵性能测量方法第1部分z体积流率(抽速)的测量GB/T 19956. 1-2005/ISO 1607-1 ,1993 中国标准出版社出版发行北京复兴门外三里河北街16号邮政编码，100045网址电话，6852394668517548 中国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷各地新华书店经销 开丰880X1230 1/16 印张O.75 字数11千字2006年4月第一版2006年4月第一次印刷峰如有印装差错由本社发行中心调换版权专有侵权必究举报电话，(010)68533533