KS D ISO 16700-2013 Microbeam analysis－Scanning electron microscopy－Guidelines for calibrating image magnification《微电子束分析 扫描电子显微镜 校准图像放大指南》.pdf

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1、 KSKSKSKSKSKSKSK KSKSKS KSKSK KSKS KSK KS KS D ISO 16700 KS D ISO 16700： 2013 2013 6 5 http:/www.kats.go.krKS D ISO 16700:2013 : ( ) ( ) ( ) : (http:/www.standard.go.kr) ： ：2004 12 30 ：2013 6 5 2013-0189 ： ： ( 02-509-7274) (http:/www.kats.go.kr). 10 5 , . KS D ISO 16700:2013 i ii 1 1 2 1 3 , , 1 4 .

2、3 4.1 (Scale marker)3 4.2 3 5 (Reference material) .3 5.1 .3 5.2 (CRM) .4 5.3 4 5.4 (Storage and handling) .4 6 .5 6.1 .5 6.2 (Mounting) 5 6.3 5 6.4 (Image recording).6 6.5 (Measurement of image) 6 6.6 7 7 8 8 .8 8.1 .8 8.2 .9 A( ) .10 B( ) 12 C( ) .13 D( ) .14 KS D ISO 16700:2013 ii 2004 1 ISO 1670

3、0, Microbeam analysis Scanning electron microscopyGuidelines for calibrating image magnification . , , , , . . KS D ISO 16700:2013 Microbeam analysis Scanning electron microscopy Guidelines for calibrating image magnification 1 . . SEM (CD-SEM) . 2 . . ( ) . KS A ISO 5725 1： 2012, ( ) 1： KS A ISO GU

4、IDE 30： 2005, KS A ISO GUIDE 34： 2012, KS A ISO GUIDE 35： 2005, KS Q ISO/IEC 17025： 2006, 3 . 3.1 (SEM) 3.2 (image) 2 . 3.3 (image magnification) KS D ISO 16700:2013 2 3.4 (scale marker) 3.5 reference material (RM) , 3.6 certified reference material (CRM) , (pitch) . 3.7 (calibration) 3.8 (tilt angl

5、e) ( 1 ) 1 3.9 , (display) , , . 3.10 (working distance) KS D ISO 16700:2013 3 3.11 (pitch) 3.12 (accuracy) KS A ISO 5725 1： 2012 1 “ ” . 2 “ ” . . 3 (accuracy) (precision) . . 4 4.1 (Scale marker) SI . 2 . 500 nm 2 . 4.2 “” (： 100, 10 000, 10 k 100, 10 000, 10 k, 100, 10 000, 10 k ). A 1 . 2 , , .

6、. . 5 (Reference material) 5.1 KS A ISO GUIDE 30 . KS A ISO GUIDE 34 , KS A ISO GUIDE 35 . KS D ISO 16700:2013 4 KS A ISO GUIDE 34 . 5.2 (CRM) . . . . . . 5.3 . , . 1 X Y . . . 2 . CRM . 5.4 (Storage and handling) . (stub) . . CRM . . , , . . . . KS D ISO 16700:2013 5 6 6.1 . B . . . , . . 10 % . 6.

7、2 (Mounting) CRM 5.4 . . . . . 6.3 . . 0 . . a) , . b) (2 ) . c) . d) . e) . , 0 . . , . f) , KS D ISO 16700:2013 6 . g) . h) . i) , X Y . j) 80 % X Y . k) , X Y . . 10 . , 100 mm . 50 000 0.2 m 10 000 1 m 1 000 10 m 6.4 (Image recording) X Y . . , . , . , . . , . . 6.5 (Measurement of image) , . 1

8、mm . . 80 % . X Y . ( ) . 10 . KS D ISO 16700:2013 7 3 mm 3 . . 6.6 6.6.1 . 6.6.2 (M) . dDM = D ： 3 d ： 4 D X Y , . X Y , . . 6.6.3 . (find) (L) . L findM finddD L ： find： 3 . . KS D ISO 16700:2013 8 3 4 ( ) 7 (Am) (As) . (Am) (M) . M Mind M Mind (D/d) AsMM100 Mind： 3 (As) (L) . L Lind L Lind finddD

9、AsLL100 Lind find： 3 1 D Lind (： ) 0.2 mm . 2 D Lind 1 . D Lind Am As (mm) . 3 ( C ). 8 8.1 KS D ISO 16700:2013 9 , , . , KS Q ISO/IEC 17025 5.10.2 . . KS Q ISO/IEC 17025 5.10.2 . 8.2 . D . a) b) c) d) e) ( , KS D ISO 16700) f) , , g) h) (kV), (mm), , , i) (n) ： X Y j) k) l) , , m) . KS D ISO 16700:

10、2013 10 A ( ) A.1 . A.2 (CRMs) A.2.1 National Institute of Standards and Technology(NIST), SRM 484g ： ： 0.5 m 5 m. SRM 2069b ： ： 2 mm 4 mm. 12.5 mm( ) SEM 3 mm(peg) SRM 2090 ： ： 0.2 m 3 000 m. A.2.2 Physikalisch-Technische Bundesanstalt, IMS-HR 94 175-04： ： 1 m, 2 m, 5 m, 10 m A.2.3 National Physica

11、l Laboratory(NPL), (replica) ： 50 m , 0.5 m. SIRA NPL . A.2.4 GOST R, Russian Federation CRM6261-91： 15 mm15 mm , . 0.39 m A.3 (RMs) A.3.1 , , 254 m 100 , 25.4 m 1 000 . A.3.2 Nested square boxes 0.5 m 500 m A.3.3 (NIST, ) RM 8090： 0.2 m 3 000 m . SRM 2090 . KS D ISO 16700:2013 11 A.3.4 Silicon micr

12、oscale certified by Japan Quality Assurance Organization(JQA) 0.24 m . KS D ISO 16700:2013 12 B ( ) , . a) . . . b) . c) . d) . e) (depth of focus) . f) (X Y ) . . g) . h) . i) . j) . k) . l) ( ) (foreshortening) . m) (tilt correction) 90( ) . n) , (differentiation) (homomorphic processing) . o) , .

13、 p) , . q) CRT( ) ( ) . r) CRT CRT . s) CRT . t) , , . u) ( , ) . (X Y ) . KS D ISO 16700:2013 13 C ( ) . (u) (i) . )(2i=u , SIRA A ： / , 1 % B ： , 4 % ( , 95 % 2 .) C ： , 0.5 % D ： , 1 % E ： , 1 % ( . 3 .) . ( , , ) . F ： , (drift), 3 % . ( ) (Md) , ( ) (Mt) (t) . t . A (u) . dtMM . (Md) Mtnu . n 2

14、 95 % . . . KS D ISO 16700:2013 14 D ( ) D.1 , ( .) 1 2 , , . . . 3 . KS D ISO 16700:2013 15 D.1 ： ： ： ： ： ： ： ： KS D ISO 16700 ： ： Acc. 2 kV (C)RM WD (mm) DxDyMxMyLind& findLxLyLxLyAxsAysd (C)RM 1 2 3 5 DxmDym(dDxm)(dDym)( findMx)( findMy)( Lind Lx)( Lind Ly)(xyLL)100 (yyLL)100 1 2 3 10 1 2 3 (Mind) 100 15 1 2 3 5 1 2 3 10 1 2 3 1 000 15 L findM