GB T 21007-2007 表面化学分析 信息格式.pdf

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1、ICS 3524070：7104040L 67 圆雪中华人民共和国国家标准GBT 2 1 0072007IS0 1 4975：2000表面化学分析 信息格式200707-26发布Surface chemical analysis-Information formats(IS0 14975：2000，IDT)2008-0301实施宰瞀徽鬻瓣警糌瞥篓发布中国国家标准化管理委员会促19GBT 2|007-2007IS0 14975：2000目 次前言引言“1范围2规范性引用文件3术语和定义4符号和缩写术语5信息格式的描述51总则52附加规则和定义53格式附录A(资料性附录) 格式中特定条目实例附录B

2、(资料性附录) 格式化的数据实例参考文献I111111228m刖 吾GBT 21007-2007IS0 14975：2000本标准等同采用ISO 14975：2000表面化学分析信息格式(英文版)。本标准等同翻译ISO 14975：2000。为了方便使用，本标准做了下列编辑性修改用小数点符号“”代替小数点符号“，”；用“本标准”代替“本国际标准”。本标准的附录A和附录B为资料性附录。本标准由全国微束分析标准化技术委员会提出并归口。本标准起草单位：中国科学院金属研究所。本标准起草人：龚沿东、孙爱芹、马永会、杨飞雪、张兵、宋小平。GBT 21007-2007IS0 14975：2000引 言GBT

3、 19499-2004ISO 14976：1998提供了一个沟通表面化学分析数据的数字化数据传输格式。由于在许多科学领域中数据库的重要性正在增长，数据库中的谱数据的存储和操作就显得很必要。GBT 19499-2004IS0 14976：1998的结构适合于传输，但是数据库操作却与数据通讯有很大不同。GBT 19499-2004ISO 14976：1998未包含的信息对于数据库中的数据操作是必要的，因此本标准提出了三个格式，即定义了信息包：(1)试样信息、(2)校准信息和(3)数据处理信息。它们对数据库中的谱数据操作来说是重要的。该格式必须兼顾未来的兼容性。本格式被设计成与GBT 19499-2

4、004ISO 14976：1998协同使用，以便在添加这些信息包以后，设计用于读取后者数据的软件仍然能够正确地运行，所以本标准是对GBT 19499 2004ISO 14976：1998的增补并与其兼容。在选择本标准中描述的数据文件所定义文本样式时，其目的是重要的。为了使程序员能够容易地在新软件中可靠地运行格式，需要遵循Microsoft Windows“INI”文件结构的形态。大多数现代计算机都有这样的工具，它们通过Windows应用编程接口(Windows Application Programming Interface“)在广泛的计算机语言范围内读写本格式。GBT 21007-2007

5、IS0 14975：2000表面化学分析信息格式1范围本标准规定了一个补充GBT 19499-2004IS0 14976：1998的格式，用于产生、扩展和修正表面化学分析谱数据库的数据传输。这个格式应用于俄歇电子能谱(AES)和x射线光电子能谱(XPS)的谱数据。2规范性引用文件下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。GBT 19499 2004表面化学分析数据传输格式(ISO 14

6、976：1998，IDT)3术语和定义下列术语和定义适用于本标准。31谱数据库sptral database可回读的谱数据集合。32信息information关于试样和(或)分析器校准的步骤和(或)数据处理步骤的信息，和(或)生成谱数据库的必要信息。33包package对谱数据所含信息进行描述的文本行集合。4符号和缩写术语CAS化学文摘服务处(Chemical Abstracts Service)。DTF数据传输格式(如同在GBT 19499-2004ISO 14976：1998中所指定的)。IuPAc国际纯粹和应用化学联合会(International Union of Pure and A

7、pplied Chemistry)。NA一不适用(not applicable)。5信息格式的描述51 总则信息被插入到DTF的注释行中或以包的形式附加在DTF中。其结果是，现存的DTF可以不加修改地作为信息包的载体而被使用；这些包占用DTF中的实验注释行或者数据块注释行，或者在DTF之外构造块。在这种结构下，那些利用信息包的读取程序可以寻找格式标识符，这些标识符可以存在于适用全部数据块的实验注释行，也可以存在于仅仅适用一个数据块的数据块注释行，或者存在于DTF之外。现存的读取程序将把这些包向阅读者解释为注释，并忽略掉它们。本标准描述了“试样信息格式”、“校准信息格式”和“数据处理格式”的信息

8、包。它是一个模块化的1GBT 21007-20071ISO 14975：2000结构，以便可以保持与过去写成的软件相兼容。注：(*和*)括起一项注释以生成一个文本注释，给人工阅读者提供附加信息。52附加规则和定义文本行text line：最多80个字符，以回车符结束。字符character：从下列包含字符SPACE和7位ASCII字符集的字符集中选定的一个个体。p qy z，|Il|一l上面的竖线把每一个在引号之间给出的个体分隔开。回车换行符carriage return：7位ASCII字符CARRIAGE RETURN后跟7位ASCII字符LINEFEED。多重文本行multiple tex

9、t lines：表述某一条目文本行的集合。在计算机录入和在例子中逐字录人时，虽然把小数点在格式条目中表示为一个点，但是为了与ISOIEC导则第3部分一致，小数点在本标准文本的后续部分中表示为一个逗号。53格式531结构5311试样信息包的内容试样信息包由下列黑体表示的、在相邻的文本文件行上的条目组成。黑体的条目在532中定义。所有的条目都应该出现并遵照给定的顺序。2试样信息格式标识符基体材料1UPAC化学品名，2；DMVh，(1：CLUg”，。09BKTf“，&8AJSe，7Rd，$一67HQZc，“，5GPYb，：+4一FOXa，3ENW、，0X，n，mv化学文摘登记号基体材料成分体纯度已知

10、杂质结构产品形态供方批号均匀性晶型材料族专用材料类别试样固定方式非原位制备原位制备荷电控制条件试样温度试样信息注释试样信息格式结束标识符GBT 21007-2007ISO 14975：20005312校准信息包的内容校准信息包由下列黑体表示的、在相邻的文本文件行上的条目组成。黑体的条目在532中定义。所有的条目都应该出现并遵照给定的顺序。3GBT 21007-2007IS0 14975：2000校准信息标识符能量标尺校准强度标尺校准分辨力校准校准信息格式结束标识符5313数据处理信息包的内容数据处理信息包由下列黑体表示的、在相邻的文本文件行上的条目组成。黑体的条目在532中定义。所有的条目都应

11、该出现并遵照给定的顺序。数据处理信息格式标识符数据操作步骤数据处理信息格式结束标识符532格式中各条目的定义5321试样信息格式在这里没有定义的黑体条目在52中定义。被引号引用的斜体字符文本用于格式编码，但是它们不会在格式化的数据中出现。格式的编码参照了IUPAC命名规则和CAS登记号。试样信息格式标识符是文本行：I巧O_Specimen Inormation_Format_1998一October_15f*JSo茵样信总格式1998年10月15B*)”基体材料是一个文本行。这个文本行以ost_material(*基体材_料*)一”开始，后面是试样的一般描述。对于分层的结构，基体材料是指靠近表

12、面的“体”物质。IUPAC化学品名是一个文本行。这个文本行以“IUPAc_chemical name(*IUPAC化学品名*)一”开始，后面是基体材料的IuPAC化学品名，如果无法指定，后面是none”、“unknown”或NA”。化学文摘登记号是一个文本行。这个文本行以“Chemical abstracts registry number(*化学文摘登记号*)一”开始，后面是基体材料的CAS登记号，如果无法指定，后而是“none”、“unknown”或NA”。基体材料成分是一个文本行。这个文本行以“host_material_composition(*基体材料成分*)一”开始，后面是主元素表

13、达的名录或化学式。当使用主元素名称的时候，成分以跟随着“mass”或atomic”的实数给出。假如成分无法指定，用“一”替代真实的名称。体纯度是一个文本行。这个文本行以“bulk_purity(*体纯度*)一”开始，后面是材料的纯度和保证者(In有的话)，如果无法指定，后面是“unknown”或“NA”。纯度以实数给出，必须给出单位，可以接受的单位是mass或atomic。像“4N”这样的表达式是不能接受的。已知杂质是一个文本行。这个文本行以known_impurities(*已知杂质*)一”开始，后面是杂质的名称、浓度和保证者(如有的话)，如果无法指定，后面是one”、“unknown”或“

14、NA”。必须给出单位，可以接受的单位是mass、atomic、ppm、ppb、atomscm和atomscm2。结构是一个文本行。这个文本行以structure(*结构*)=”开始，后面是描述诸如品格和取向的4GBT 21007-2007IS0 14975：2000信息，例如六方密排和(或)诸如对晶界断裂面的注释等等，如果无法指定，后面是“unknown”或“N，A”。产品形态是个文本行。这个文本行以orm_o_productf*产品形态*)一”开始，后面是试样使用的产品的形态，如果无法指定，后面是“unknown”或NA”。供方是一个文本行。这个文本行以supplier(*供方*)一”开始，

15、后面是制造商和(或)基体材料的供方，或者是基体材料如何制造的参考资料，如果无法指定，后面是“unknown”或NA”。批号是一个文本行。这个文本行以lot_number(*批号*)一”开始，后面是识别产品生产流程的代码等等，如果无法指定，后面是“unknown”或NA”。均匀性是一个文本行。这个文本行以omogeneity(*均匀性*)一”开始，后面是“homogeneOUS”、inhomogeneous”、“unknown”、A”，当这些描述都不合适时，它是试样的同质异构性的另一种描述。它可以后跟一个注释，该注释须以“；”为先导。晶型是一个文本行。这个文本行以crystallinity(*晶

16、犁*)一”开始，后面是single”(单晶，后跟以“一”所连的表面Miller指数)、poly”(多晶)、“amorphous”、“unknown”、“M，”，当这些描述都不合适时，它是试样晶型的另一种描述。它可以后跟一个注释，该注释须以“；”为先导。材料族是一个文本行。这个文本行以“material一&mily(*材料蔟*)一”开始，后面是“metal”、“inorganic”(无机化合物)、organic”(有机化合物)、。polymer”、“semi”(半导体)、“bio”(生物材料)、“composite”、“super_conductive”(超导材料)，当上述描述均不合适时，它是试

17、样材料族的另一个描述。它可以后跟一个注释，该注释须以“；”为先导。专用材料类别是一个文本行。这个文本行以special_material_classes(*专用材料类别*)一”开始，后面是rod”(棒或铸锭)、“sheet”片或箔(无衬底)、“filmsingle”单层薄膜或涂层(在衬底上)、film_muhi”多层薄膜或涂层(在衬底上)、“sintcr”(烧结材料)、“wafer”、powder”、“fibre”，当上述描述均不合适时，它是专用材料类别的另一个描述。它可以后跟一个注释，该注释须以“；”为先导。试样固定方式是一个文本行。这个文本行以“specimen moun ring(*试样

18、固定方式*)一”开始，后面是mechanical”(使用螺丝、弹簧等机械固定)、“mechanically_under_grid”(用弹簧机械地压在栅网下)、conductive_adesive”(用导电粘合材料固定)、nonconductive_adhesive”(用非导电粘合材料固定)、“powdercompacL抽”(粉末压入铟箔、铟垫)、powder_put_into”粉末放人导电材料(例如，铜块中的孔洞)，当上述描述均不合适时，它是试样固定方式的另一个描述。它可以后跟一个注释，该注释须以“；”为先导。非原位制备是一个文本行。这个文本行以“ex_situ_preparation(*非原

19、位制备*)一”开始，后面是“none”、polish”、“cleavage”、“ion”(离子束切割)、powder_compactsteelpad”(钢压衬粉末压片)、acetone”(丙酮脱脂)，当上述描述均不合适时，它是非原位制备的另一个描述。假如非原位制备是通过上述一系列过程实现的，使用多重文本行，每个文本行标识被标以序号，即“ex_situ_preparation_1(*非原位制各j*)一”、“ex_situ preparation_2(*非原位制各一2*)=”等等。序号指定了非原位制备过程的顺序。假如不同的非原位制备同时进行，非原位制备过程以“+”组合在一起，跟在单独的标识“ex_

20、situ_preparation(*非原位制备*)一”后面。文本行可以后跟一个注释，该注释须以“；”为先导。原位制备是一个文本行。这个文本行以nsitupreparation(*原位制奋*)一”开始，后面是none”、ion”(离子溅射，并以“一”连接离子枪电压、离子枪束流和离子种类)、“cleavage”、“heating”、“scratch”，当上述描述均不合适时，它是原位制备的另一个描述。假如原位制备是通过上述一系列过程实现的，使用多重文本行，每个文本行标识被标以序号，即in_situ_preparation_1(*原位制各1*)一”、in_situ_preparation_2(*原位制

21、奋一2*)一”等等。序号指定了非原位制备过程的顺序。假如不同的原位制备同时进行，原位制备过程以“+”组合在一起，跟在单独的标识in_situ_preparation(*原5GBT 21007-2007ISO 14975：2000位制备*)一”后面。文本行可以后跟一个注释，该注释须以“；”为先导。荷电控制条件是一个文本行。这个文本行以“charge_controLconditionf*荷电控制条件*)一”开始，后面是“none”、“flood”(电子中和枪，后跟以“一”连接的电子中和枪电压和电子中和枪电流)、“screen”(为丝网、金属箔等等)，当上述描述均不合适时，它是试样荷电控制条件的另一

22、个描述。如果荷电控制条件是通过一系列的操作实现的，使用多重文本行，每个文本行标识被标以序号，即“charge_control_condition_l(*荷电控制条件一l*)一”、charge_control_condition_2(*荷电控制条件一2*)一”等等。序号指定了荷电控制过程的顺序。假如不同的荷电控制同时进行，荷电控制过程以“+”组合在一起，跟在单独的标识“ebarge_controLcondition(*荷电控制条件*)一”后面。它可以后跟一个注释，该注释须以“；”为先导。试样温度是一个文本行。这个文本行以“speclmen_temperature(*试榉掘度*)一”开始，后面是周

23、围环境温度，或加热温度，当无法指定时，后面是“unknown”。温度以单位开尔文给出并表达为实数后跟K”。文本行可以后跟一个注释，该注释须以“；”为先导。试样信息注释是一个文本行。这个文本行以“comment(*注释*)一”开始，后面是注释。假如必须使用多文本行，每一个文本行以标序号的标识开始，即“comment_l(*注释j*)一”、“comment_gf*垃j旺2*)；”等等。如果没有注释，没有必要在“comment(*茫释*)一”后面跟任何内容。试样信息格式结束标识符是一个文本行：“cnd_oLspecimen_inormation_format(*试样信息格式结束*)y5322校准信息

24、格式校准信息格式是文本行：对AES：iso AE叟CalibrationInformationFormat_1998一October_15(*ISO AES校准信息格式1998年10月15 H*)j”对XPS：“IS0 XPS_Calibration_Information_Format_1998 0ctober_15(*IS0 XPS校准信息格式1998年10月15 B*)y能量标尺校准是一个文本行。这个文本行以“energy_scale_calibrationfeature_label(*能量标尺校准特征标识*)一”开始，后面是用于校准的技术、元素名称和跃迁。技术和元素名称以“一”连接。这

25、个文本行后跟以“energy_scale_carlbration_feature_measured energy(*艟量标尺校准测量的特征能量*)一”开始的文本行，后面是能量标尺标识和测量的峰位。能量标尺标识和测量的峰位以“一”连接。如果校准使用了多峰，每一技术和元素名称以标序号的标识“energy_scale_calibration一eature_label_1f*胎置粝尺拉准特缸新识一1*)一”表示，能量标尺标识和测量的峰位以标序号的标识“energy_scale_calibration feature_measured encrgy_l(*胎量标尺校准测量的特征能量j*)一”表示。这种组

26、合后跟“energy_scale_calibration_feature_labeL2f*膀量标尺校准特征标识一2*)一”、“energy_scale_calfbration_feature_measured-energy_g(*能量标尺校准测量的特征艏量一2*)一”等。当采用荷电控制时，指定参考元素名称和跃迁与参考峰位，跟在文本行标识“energy_scale_ealibratiorl_charge_compensition(*髓量标尺校准苟癌补嫠*)一”之后。参考元素名称和参考峰位以“一”连接。当使用中和枪时，用flood(*中和检*j”代替参考元素名称。当一个谱使用了设定的步骤校准时，文

27、本行以“energy_scale_calibration(*艏量标尺茯准*)一”开始，后面是相应的标准文件参考(来源、期号和年号)和以eV为单位的公差。文件的来源、期号、年号和公差按照顺序用“一”连接。文本行可以后跟一个注释，该注释须以“；”为先导。当一个谱未校准时，该文本行为energy_scale_calibration(*脂量标尺莜准*)一uncalibrated(*未校准*尸。强度标尺校准是一个文本行。文本行以intensity_scale calibration(*强度标尺校准*)一”开始，后面是强度标尺校准步骤。仅仅说明期刊或文件的名称是可以接受的。当必须使用多重文本行来描述过程时

28、，使用标以序号的标识intensity_scale_calibration_l(*强度标尺校准一1*)一”、“intensity_scale_calibration_2(*强度标尺校准一2*)一”等。6GBT 21007-2007Is0 14975：2000当一个谱使用了设定的步骤校准时，文本行以tensity_scalecalibrationf*强度标尺莜准*)一”开始，后面是相关的标准文件参考(来源、期号和年号)和原文的注释(如果适用的话)。文件的来源、期号、年号用“一”连接，原文的注释以“；”前导。当一个谱未校准时，该文本行为“intensity_scale_calibrationf*强

29、度标尺校准*)一uncalibrated(*未校准*)。”分辨力校准是一个文本行。文本行以resolutioncalibration(*分辨力校准*)一”开始，后面是分辨力标尺校准步骤。当必须使用多重文本行来描述步骤时，使用标以序号的标识resoludon_caEbration l(*分辨力校准一1*)一”、resolution_calibration_2(*分辨力校准一2*)一”等。当一个谱使用了设定的步骤校准时，文本行以resolution_calibration(*分辨力校准*J一”开始，后面是相关的标准文件参考(来源、期号和年号)和能量分辨力。文件的来源、期号、年号、能量分辨力按照顺序

30、用“一”连接。文本行可以后跟一个注释，该注释须以“；”为先导。当一个谱未校准时，该文本行为resolutioncalibration(*分辨力校准*)一uncalibrated(*_术校准*)。”校准信息格式结束标识符是一个文本行：“en0一oLcalibration_information_ormat(*校准信息格式结束*)”5323数据处理信息格式此处未定义的黑体条目在52中定义。在引号之中引用的斜体字符用来给格式编码。数据处理信息格式是文本行：对AES：IS0 AES_Data_Processing_InformationFormat_1998一October_5(*鸺0 AES数据处理

31、信息格式1998年10月15 H*)I，对XPS：Uso_XPS DataProcessing_InormationFormaL】998一October_15f*IS0 XPS数据处理信息格式1998年10月15 8*)，数据处理步骤是一个文本行。这个文本行以“dataprocessing_procedure(*数据处理步骤*)一”开始，后面是数据处理步骤的说明。当依次进行了不同的数据处理步骤时，每一个数据处理步骤在文本行中用标以序号的标识“data_processing_procedure_1(*数据处理步骤一1*)一”、“data_processing_proeedure_2(*数据处理步

32、骤j*)一”等表示。序号表示数据处理步骤的顺序。数据处理信息格式结束标识符是一个文本行：Und_oLdata_processing_information_format(*数据处理信息格式结束*)”GBT 21007-2007I$0 14975：2000A1基体材料附录A(资料性附录)格式中特定条目实例试样分类描述的例子如不锈钢、金铜合金、6061 A1、聚酰胺、尼龙、氧化铝和砷化镓。对层状结构而言，例如si衬底上厚SiO。层上的超薄金属膜，录入的基体材料应是“silica”，因为XPS无法探查到作为衬底的Si。A2基体材料成分当基体材料的化学分子式已知，其表达可以是Li3PO。、Si02或W

33、(CO)6。当成分表达为原子浓度或质量浓度时，其表达可以分别是Au 50Cu 50atomic或Fe 74Cr 18Ni8mass。假如成分无法详细说明，其表达可以是Li_P一口这样的形式。A3体纯度其表达可以是9999masschecked by NISSAN ARC LTD。(中文翻译)A4已知杂质其表达可以是N一001mass，O一002masschecked by NISSAN ARC LTD，或S_4E1 7atomscm3。A5产品形态用于产品形态的试样的例子是MOSEFT、反应物、磁盘、单晶晶圆、腐蚀的挡泥板残留物和硬盘上的润滑膜。A6能量标尺校准当XPS能量标尺校准是使用Cu、

34、Ag和Au实现的，其表达可以如下：energyscale_calibration_featurelabel一1一XPS_Cu2p32energyscalecalibration_featuremeasured energy_lBE_93266eVenergy_scale_calibration_feature label一2-XP$_A93d52energyscalecalibrationfeature_measuredenergy一2一BE一36827eVenergyscale_calibrationfeature_label3=XPS Au4f72energyscale_calibrati

35、onfeature_measuredenergy一3一BE 8400eV假如能量校准是通过参考C ls峰位的荷电补偿步骤实现的，其表达可以如下energyscale_calibrationchargecompensation=Cls285eV对于AES，例子如下：energy_scale_calibrationfeature_label一1一AES_CuMVVenergyscalecalibration_featuremeasured energy_lKE一6116eVenergyscalecalibration_featurelabel一2一AES_CuMVVenergyscalecalib

36、ration_featuremeasuredenergy_2-KE一7221eV8GBT 21007-200711S0 14975：2000energyscalecalibration_feature_label一3一AES CuMVVenergyscalecalibration_feature_measuredenergy_3一KE一91862eV用于XPS和AES能量标尺校准的峰位列于参考文献9和10中。当谱线使用一个设定的步骤来校准时，其表达可以如下：energyscalecalibration。procedure=IS099991998025eVA7强度标尺校准强度标尺校准步骤在参考文

37、献11、12和13，以及NPL的AES校准方法NPLAl及其XPS校准方法NPLXl中均有报道。当谱线使用一个设定的步骤来校准时，其表达可以如下：intensityscale_calibrationprocedure=IS099991998；attach Cu spectrumA8分辨力校准建议使用简单的表达形式。“FWHM of A93d52097eV”意味着用A93dS2的半高全宽来估算电子能量分析器的能量分辨力，其值等于097eV。当谱线使用一个指定的步骤来校准时，其表达可以如下zresolutioncalibrationprocedureIS09999199805eVA9数据处理校准可

38、以用“S-G”替代“Savitzky-Golay”，或“Tougaard”替代“Tougaard background subtraction”。一种处理步骤应在一个文本行内写完。GBT 21007-20071SO 14975：2000附录B(资料性附录)格式化的数据实例B1 例一：描述经过处理和校准的超市包装袋的x射线光电子能谱的格式ISO_Specimen_InformationFormat1998October153hostmaterial=polyethyleneIUPAC-chemicalname=polyethylenechemicalabstractsregistry numbe

39、r=900288-4hostmaterialcomposition=C2H4bulkpurity-995masschecked by NISSAN ARC LTDknownimpurities=o_03mass，N一01masschecked by NISSAN ARC LTDstructurenoneformof_product=supermarket bagsupplierMitsubishi Chemical Co10tnumber-961017PEhomogeneity-homogeneouscrystallinity=amorphousmaterialfamily=polymersp

40、ecialmaterialclassessheetspecimenmounting=mechanicallyundergridex situpreparation=degreased by n-hexanein_situpreparation-nonechargecontrolconditions-flood+screenspecimen_temperature-298Kcomment sample is linear low density polyethylene sheet-endoLspecimen_informationformatIs0一XPS_Calibration_Inform

41、ation_Format一1998一Oetober_15energyscalecalibrationfeaturelabel一1=XPs_Cu2p32energyscale_calibrationfeature_measuredenergy_l=BE一9327eVenergyscalecalibration featurelabel一2一XPSAu4f72energyscalecalibrationfeaturemeasure【Lenergy_2=BE_84OOeVenergyscalecalibration chargecompensationflood一6eVintensity_scale

42、calibration=NPLXlresolutioncalibrationFWHM of A93d52097eV-endof_calibrationinformationformat31SOXPS_Data ProcessingInformationFormat一1998一October_15dataprocessingprocedure_lsmoothing by 5 points Savitzky-Golaydataprocessing_procedureZShirley background subtractionendoffdata_processinginformationform

43、at1 0GBT 21007-2007I$0 14975：2000B2例二：描述经过处理和校准的一个半导体多层薄膜的x射线光电子能谱的格式ISO_Specimen_Information_Format1998October_15hostmaterial=indium gallium arsenideIUPACchemicalname=NAchemicalabstractsregistrynumber=nonehost_materialcomposition=In052Ga048Asbulkpurity=99999masschecked by NISSAN ARC LTDknownimpurit

44、iesS_18e17atomscm3，checked by NISSAN ARC LTDstructure=cubic；a一05868nmform_of productlaser diodesupplier=Japan Energylotnumber=#2845homogeneityhomogeneouscrystallinity=single一(100)materialfamilysemispecialmaterialclasses-filmmultit totalthickness=50nmspecimen_mounting-mechanical；with 4 screwsex_situp

45、reparationethanolinsitupreparation=ion一2k虻10u应Archarge_controlconditions=nonespecimen temperature一298Kcomment=atomically flat interfacefend_of_specimen_information_formatISOXPS_CalibrationInformation_Format1998October_15energy scalecalibration_feature_labelj=XPS_Au4fT2energyscalecalibration_feature_

46、measured_energy_lBE 8400eVenergy_scale_calibration_feature_label一2=XPS_Cu2p32energyscalecalibration_featuremeasured energy_2一BE_93267eVintensityscale_calibration=uncalibrated；Cu and Au spectra acquired togetherresolutioncalibration=FWHM of A93d52078eVendof_calibrationinformationformatISO，XPS_DataProcessingInformation_Format1998Oetober_15data_processing_procedure-subtraction of Xray ghostsendodataprocessing_information_formatB3例三：描述经过处理和校准的无机材料粉末的俄歇电子能谱的格式EISO_Specim