GB T 15713-1995 锗单晶片.pdf

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1、ICS 29. 040. 20 H 81 1995-10啕1711: 、单曰目目G/T 15713 1995 Monocrystalline germanium slices 1996- 03- 01 国家技术监督局发布-一一一二一一一一一一一、中华人民共和国国家标准GB/T 15713-1995 单晶片Monocrystalline germanium sJices 主题内容与适用范围本标准规定了错单晶切割片、研磨片和腐蚀片(简称错片的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存.本标准适用于各种牌号的错单品经切割、双面研磨、分割、腐蚀制备的圆形、方形和长方形错片，产品用于

2、制作晶体管和红外器件.2 3 引用标准GB 2828 逐批检查计数抽样程序及抽样表(适用于连续批的检查)GB/T 5238 错单晶产品分类3. 1 分类错片按导电类型分为n型和p型，按生产方法分为切割片、研磨片和腐蚀片三种，3.2牌号3.2.1 错片的牌号表示为g-Ge-)- ( 5 4 3 2 1 其中s1一-表示错单品的生产方法.Cz表示直拉法，HB表示水平法.2一-Ge表示错单晶。3-一表示错片的品种，分别用相应英文单词的第一个字母组合的大写形式表示，当英文取两个字母时，第二个字母应小写，其中gCW表示切割片，a. b. BLW表示双西研磨片， EtW表示腐蚀片。4一一用n或p表示导电类

3、型，括号内的元素符号表示掺杂剂.国家技术监督局1995-10-17批准一一一一一1996-03-01实施二一才 GB!T 15713-1995 5一一用密勒指数表示晶向。3.2.2示债): 4 a. b. Cz-Ge-CW -p (Ga)-Ol1)表示晶向为(11)的p型掺镣直拉铐单晶切割片.Cz-Ge-EtW-n(Sb)-( 111)表示晶向为(11)的n型掺锦直拉锯单晶腐蚀片.技术要求4. 1 物理参数和晶体完整性错片所涉及的错单品的物理参数和晶体完整性应分别符合GB!T5238中的4.1条和4.3条的规定-4.2几何参数4.2.1 错片的几何参数应符合表l规定.表1口1m4.2.2大圆片

4、中有边缘破损的错片，其内接圆的直径应不小于9.35mm.其重量应不超过该批总重量的5%。4.2.3 需方如有特殊要求(包括红外器件用错片).由供需双方另行商定.4.3 品向4.3.1 铐片表面取向为(11)或由供需双方商定。4.3.2 错片的表面取向偏离应不大于2 4.4 表面质量4. 4. 1 错小圆片崩边径向延伸应不大于0.3mm，深度不超过错片厚度的四分之-s缺口径向延伸应不大于0.1mm，每片的崩边和缺口总数不得多于3个，崩边和缺口的总长度不得超过错片周长的5%.4.4.2方片或长方片不得有长皮大于边长七分之一的崩边.边民不大于2mm的错片，崩边宽度不得超过边长的十分之一，边长大于2m

5、m的错片，崩边宽度不得超过边长的二十分之一，每片的崩边数不得多于2个.4.4.3 错片不允许有裂纹.4.4.4 错片经超声清洗干燥后，表面应洁净，无色斑和沾污。2 二一GB/T 15713-1995 错切割片不得有明显刀痕.错研磨片表团应无划道和刀痕.4.4.5 4.4.6 4.4.7 错腐蚀片表面应无:tTJ道、刀痕、色斑、污物和叠片现象.5 5. 1 5.2 5.3 5.4 6 试验方法因片的直径用分皮值为0.02mm游标卡尺或精度相当的量具测量.方片和长方片的边长用分度值为0.01mm的千分尺或精度相当的量具测量.错片厚度用分度值为0.001mm的千分表或精度相当的量具测量.错片表面质量

6、用日视检查.检验规则6.1 检查和验收6. 1. 1 产品应由供方技术监督部门进行检验，保证产品质量符合本标准规定，并填写质量证明书.6.1.2 需方可对收到的产品进行检验，若检验结果与本标准的规定不符时，应在收到产品之日起三个月内向供方提出，自供需双方协商解决.6.2 组批产品应成批提交验收.每批由同-牌号和规格的产品组成.每批重量不得大于2kg. 6.3 抽样每批产品拍取的试样为包装盒数的20%.5盒以下抽取一盒.对抽取的包装盒内的样品的检验项目采用GB2828 I级检查水平的一次抽样方案.6.4检验项目产品应进行几何尺寸(边长及厚度俯差)和表面质量，如崩边、缺口、裂纹、刀痕、叠片的检验.

7、6.5 合格质量水平(AQL)产品的几何尺寸及表面质量的合格质量水平累汁为1.5或由供需双方商定e6.6检验结果判定抽样检验不合格的产品，大困片供方可进行全检，除去不合格品后，合格产品可重新提交验收s其他产品可采用一次加严抽样方案进行检验，若仍不合格，则该批产品为不合格.7 标志、包装、运输和贮存7.1 包装、标志7. 1. 1 产品封装于透明塑料袋或相应规格的型膜内，再将其装入适宜的硬包装盒，并采取防护措施，以防损坏产品，7. 1. 2 产品外运时，将装有产品的包装盒置于木箱内.木包装箱应采取防破碎、防损伤、防沾污措施.特殊的包装要求由供需双方商定.箱外应标有小心轻放、防腐和防潮字样或标志，

8、并注明2a. 需方名称，b. 产品名称，C. 毛重和净重，d. 供方名称。7. 1. 3每批产品应附有装箱单，注明z供方名称ga. b. C. d. 一-一一 一产品名称和牌号s件数，产品净重，3 产品批号和日期，需方名称。GB/T 15713-1995 e. f. 7.1.4 a. b. 每批产品应附有质量证明书，注明z供方名称，C. d. e. f. 产品名称和牌号，产品批号，净重和件数，各项检验结果及检验部门印记，本标准编号，g. 出厂日期。7.2运输、贮存7.2. 1 产品在运输过程中应轻装轻卸，严禁抛掷，并采取防震、防潮措施.7.2.2 产品应贮存在沽净、干燥环境中。4 附加说明:本标准由中国有色金属工业总公司提出，本标准由南京错厂负责起草.本标准主要起草人吴王麟、丁文峰。自由F-nFNUF同筒。国片华人民共和国家标准单晶GB/T 15713-1995 中错睡中国标准出版社出版北京复兴门外兰里河北街16号邮政编码.100045电话.8522112中国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷新华书店北京发行所发行各地新华书店经售版权专有不得翻印* 印张1/2字数8千字1996年6月第一次印刷开本880X1230 1/16 1996年6月第一版印数1-1500晤书号.155066. 1-12358 晤目287-61标