GB T 26250-2010 电子工业用气体 砷化氢.pdf

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1、ICS 7 1. 100.20 G 86 道B中华人民共和国国家标准GB/T 26250-2010 电子工业用气体呻化氢Gases for electronic industry-Arsine 2011-01-14发布2011-05-01实施量马i坊fJ.J中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会发布GB/T 26250-2010 前言本标准的附录A和附录B为规范性附录。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC203/SC 1)归口。本标准起草单位:西南化工研究设计院

2、、上海华爱色谱分析技术有限公司、光明化工研究设计院。本标准主要起草人:孙福楠、方华、周鹏云、庄鸿涛、李建浩。I GB/T 26250-2010 电子工业用气体呻化氢1 范围本标准规定了呻化氢的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于呻化合物与酸反应获得的呻化氢。在半导体器件制备过程中，碑化氢用于掺杂以及化合物半导体外延。分子式:AsH3o相对分子质量:77.945 42(按2007年国际相对原子质量计算)。2 规范性引用文件下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本

3、标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。GB 190 危险货物包装标志GB/T 3723 工业用化学产品采样安全通则GB 5099 钢质元缝气瓶GB/T 5832. 1气体湿度的测定第1部分:电解法GB 7144 气瓶颜色标志GB/T 8984 气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定气相色谱法GB/T 11640 铝合金元缝气瓶GB 14193 液化气体气瓶充装规定GB/T 26571 特种气体储存期规范气瓶安全监察规程)(国家质量监督检验检疫总局发布，2000年)3 技术要求呻化氢的质量应符合表1的要求。表1技术指标项吕碑化氢(

4、AsH3)纯度体积分数)/10-2 、:;:.氧(02)十氢(Ar)含量(体积分数)/10-6 氮(N2)含量(体积分数)/10-6 一氧化碳(C)含量(体积分数)/10-6 二氧化碳(C02)含量(体积分数)/10 甲烧(CH.)含量(体积分数)/10-6 水(H2)含量(体积分数)/10-6 磷化氢(PH3)含量(体积分数)/10-6 总杂质含量(体积分数)/10-6 飞产颗粒金属离子指标99.999 1 3 1 1 1 3 0.5 10 供需双方商定供需双方商定1 GB/T 26250-2010 4 试验方法4. 1 检验规则4. 1. 1 碑化氢产品应逐一检验并验收。当检验结果有任何一

5、项指标不符合本标准技术要求时，则判该产品不合格。4. 1. 2 碑化氢采样安全应符合GB/T3723的相关规定。4.2 呻化氢纯度碑化氢纯度按式(1)计算:=100一(l十2+3十4+5十6十7)X 10-4( 1 ) 式中:一一碑化氢纯度(体积分数)，10-2;1一一氧+氧含量(体积分数),10-6; 2一一氮含量(体积分数), 10-6 ; 3一一一氧化碳含量(体积分数),10-6 ; 4一一二氧化碳含量(体积分数),10-6; 5一一甲烧含量(体积分数)，10-6;s一一水含量(体积分数),10-6 ; 7一-磷化氢含量(体积分数)，10-6。4.3 胜空测定碑化氢中的杂质含量时，应有呻

6、化氢尾气解毒处理措施。4.4 氧+氨、氮的测定4.4.1 氧+置、氮的测定见附录A。4.4.2 允许采用其他等效的方法测定碑化氢中的氧十氢、氮含量。当对测定结果有异议时，以本标准4.4.1规定的方法为仲裁方法。4.5 一氧化碳、二氧化碳、甲饶的测定按GB/T8984规定并采用预切割技术测定碑化氢中的微量一氧化碳、二氧化碳、甲烧含量。预分离柱:长约0.5m、内径2mm的不锈钢柱，内装粒径为O.18 mmO. 25 mm的PorapakQS, 色谱柱在180.C通载气活化约2hd或其他等效色谱柱。允许采用其他等效的测定方法。当对测定结果有异议时，以GB/T8984规定的方法为仲裁方法。4.6 气体

7、标准样晶组分含量的体积分数为1X10-65XI0-6，平衡气为氮。4. 7 水含量的测定按GB/T5832.1规定的方法或其他等效的方法测定呻化氢中的水含量。当对测定结果有异议时，以GB/T5832.1规定的方法为仲裁方法。4.8 磷化氢含量的测定4.8. 1 磷化氢的测定见附录B。4.8.2 允许采用其他等效的方法测定呻化氢中的磷化氢含量。当对测定结果有异议时，以本标准4.8.1规定的方法为仲裁方法。4.9 金属离子含量的测定采用等离子发射光谱-质谱检测仪CICP-MS)测定。4. 10 颗粒的测定采用光散射原理设计的颗粒计数器测定。2 5 包装、标志、贮运及安全5. 1 包装、标志及贮运5

8、. 1. 1 碑化氢的充装及贮运应符合气瓶安全监察规程的相关规定。5. 1.2 包装呻化氢的气瓶应符合GB5099、GB/T11640的规定。5. 1.3 推荐使用进行内表面处理的气瓶。瓶阀推荐使用DISS63205.1.4 应防止瓶口被污染和泄漏。5. 1.5 呻化氢的充装应符合GB14193的相关规定。5.1.6 气瓶颜色标志应符合GB7144的规定。5. 1.7 运输时，碑化氢气瓶上应附有GB190中指定的标志。5. 1.8 包装容器上应标明电子呻化氢字样。5. 1.9 瓶装呻化氢的最大充装量按式(2)计算:m=Fr. V 式中:m一一气瓶内呻化氢的质量，单位为千克(kg); V一一气瓶

9、标明的内容积，单位为升(L);Fr呻化氢的充装系数，1.16 kg/L; 5. 1. 10 碑化氢的充装量按实际称量的质量计。5. 1. 11 碑化氢的保存期限按GB/T26571规定执行。5. 1. 12 碑化氢出厂时应附有质量合格证，其内容至少应包括:产品名称，生产厂名称;生产日期或批号，充装质量(kg);本标准号及技术指标，检验员号。5. 1. 13 碑化氢产品应存放在阴凉、干燥、通风的库房内，严禁暴晒，远离热源。5.2 安全曹示GB/T 26250-2010 . ( 2 ) 5.2.1 碑化氢是一种元色具有大蒜臭味的剧毒气体;加热时和在光与潮湿空气的作用下，分解生成呻有毒烟雾;与强氧化

10、剂反应，有爆炸的危险z受撞击、摩擦和震动时，可能发生爆炸性分解。5.2.2 与呻化氢接触时，不应使用明火、不应有火花和不应吸烟。着火时，应喷雾状水保持钢瓶冷却，应用干粉、二氧化碳灭火。5.2.3 碑化氢可能对血液有影响，导致血红细胞破坏和肾衰竭。液体迅速蒸发可能引起冻伤。接触可能导致死亡。碑化氢是致癌物。5.2.4 接触限值:0.05X10-6(体积分数)(时间加权平均值)。时间加权平均接触限值:正常8h工作日或40h工作周的时间加权平均浓度。5.2.5 冻伤时应用大量水冲洗，不应脱去衣物，应及时治疗。5.2.6 泄漏时，人员应撤离危险区域!移除全部引燃源。如果为液态，应关闭钢瓶或转移到露天和

11、安全场所。不应冲入下水道。不应直接向液体上喷水。不应让呻化氢进入环境。5.2.7 接触呻化氢时，推荐使用带有隔绝式呼吸器的气密式化学防护服。5.2.8 储存条件应为阴凉场所。保持通风。5.2.9 分析系统应保证密闭。取样、置换过程的呻化氢尾气，都应经解毒处理后再放空。设备、仪器在通呻化氢之前，应用干燥的载气吹洗，管线应经过检漏。5.2. 10 碑化氢生产企业应为用户提供安全技术说明书。3 GB/T 26250-2010 附录A(规范性附录)呻化氢中氧+盖、氯的测定A.l 仪器采用配备氮离子化检测器的气相色谱仪测定碑化氢中的氧十氢、氮。仪器检测限:0.lX10-6(体积分数。A.2 方法提要以高

12、纯氮经净化后作载气，采用配备氢离子化检测器的气相色谱仪，对样品应用主组分切割(除)等处理后采用气相色谱法定量、定性分析样品中的目标组分。A.3 测定条件A. 3.1 载气:高纯氮，经纯化器纯化。其流速参照相应的仪器说明书。A. 3. 2 辅助气:需要采用辅助气的仪器按仪器说明书使用辅助气。A. 3. 3 色谱柱:预分离柱:长约0.5m、内径2mm的不锈钢柱，内装粒径为O.18 mmO. 25 mm的PorapakQS, 色谱柱在180.C通载气活化约2h。或其他等效色谱柱。该柱用于预分离。分析柱:长约2m、内径2mm的不锈钢柱，内装粒径为O.18 mmO. 25 mm的13X分子筛，色谱柱在2

13、80.C 300 .C通载气活化约4h。或其他等效色谱柱。该柱用于分析氧+氢、氮组分。A. 3. 4 气体标准样品:气体标准样品中的组分含量(体积分数)为1X10-65X106，平衡气为氮。A.3.5 其他条件:载气净化器温度、色谱柱温度、检测器温度、样气流量等其他条件参考仪器说明书。A.3.6 参考的切割气路流程示意图请见图A.1.4 1一一高纯氮载气钢瓶;2一一钢瓶减压器;3一一稳压阀;4一一压力表;5一一净化管E6一稳流阀z8 7一一流量调节阀;15 9一一检测器;10-分析柱;11-切割阀;8一一流量计;12 预分离柱;图A.l切割气路流程示意图8 13一一六通阀514一一过滤器;15

14、-一一定体积量管。GB/T 26250-2010 A.4 分析步骤开启仪器至稳定后按仪器说明书的操作步骤完成样品分析。平行测定气体标准样品和样品气至少两次，记录色谱响应值，直至相邻两次测定的相对偏差不大于lOXIO-2，取其平均值。A.5 结果处理氧(氢)、氮的含量按式(A.l)计算:i-全s式中:a一一样品气中被测组分的含量(体积分数), 10-6; Ai一一样品气中被测组分的响应值;A, -_气体标准样品中相应己知组分的响应值;s一一气体标准样品中相应己知组分的含量(体积分数)，10-60.( A.l ) 5 GB/T 26250-2010 附录B(规范性附录)呻化氢中磷化氢的测定B. 1

15、 仪器采用配备火焰光度检测器的气相色谱仪测定碑化氢中的磷化氢。检测限:0.01X 10-6 (体积分数)。B.2 原理磷化物在富氢火焰中生成激发态的HPO+分子，当其返回基态时发射出480nm580 nm的特征分子光谱，在526nm处有最大峰值，经滤光片除去其他波长的光线后，用光电倍增管把光信号转换成电信号并加以放大给出色谱响应信号。响应与磷化氢的含量成正比。B.3 测定条件B.3.1 载气:高纯氮。B.3.2 燃气:纯氢。B. 3. 3 助燃气:空气或氧气。B.3.4 色谱柱:长约1.5m、内径3mm的聚四氟乙烯柱，内装粒径为o.18 mmO. 25 mm的GDX-301高分子多孔微球载体，

16、色谱柱在100C120 c通载气活化约8h。或其他等效色谱柱。B. 3. 5 气体标准样品气体标准样品中的组分含量(体积分数)为1X10-65XlO-6，平衡气为氮。B.3.6 其他条件:色谱柱温度、检测器温度、样气流量等其他条件参考仪器说明书。B.4 分析步骤开启仪器至稳定后按仪器说明书的操作步骤完成样品分析。平行测定气体标准样品和样品气至少两次，记录色谱响应值，直至相邻两次测定的相对偏差不大于10%时，取其平均值。B.5 结果处理6 磷化氢的含量按式(B.l)计算:i=全s式中:z一一样品气中被测组分的含量(体积分数)，10-6;A，-样品气中被测组分的响应值;A. -气体标准样品中相应己

17、知组分的响应值;s一一气体标准样品中相应已知组分的含量(体积分数)，10-6。. ( B.1 ) OFON|omNNH阁。国华人民共和国家标准电子工业用气体呻化氢GB/T 26250-2010 由l当&中国标准出版社出版发行北京复兴门外三里河北街16号邮政编码:100045网址电话:6852394668517548 中国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷各地新华书店经销善印张O.75 字数13千字2011年6月第一次印刷开本880X 1230 1/16 2011年6月第一版* 书号:155066 1-43153 16.00元如有印装差错由本社发行中心调换版权专有侵权必究举报电话:(010)68533533定价GB/T 26250-2010 打印日期:2011年7月18日F002