GB T 26249-2010 电子工业用气体 硒化氢.pdf

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1、ICS 7 1. 100.20 G 86 gB 中华人民共和国国家标准GB/T 26249一2010电子工业用气体砸化氢Gases for electronic industry-Hydrogen selenide 2011-01-14发布2011-05-01实施数码防伪中华人民共和国国家质量监督检验检技总局中国国家标准化管理委员会发布GB/T 26249-2010 目IJr:I 本标准的附录A和附录B为规范性附录。附录C为资料性附录。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC203/SC

2、1)归口。本标准起草单位:中国计量科学研究院、西南化工研究设计院、上海华爱色谱分析技术有限公司、河北保定市北方特种气体有限公司。本标准主要起草人:周泽义、方华、庄鸿涛、李建浩、周鹏云、徐少兵。I GB/T 26249-2010 电子工业用气体砸化氢1 范围本标准规定了晒化氢的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于晒铝、晒镜合金化合物水解、单质砸与氢高温反应等方法获得并经精制得到的晒化氢产品。它主要用于太阳能电池、半导体和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。分子式:H2Se。相对分子质量:80.97588(按2007年国际相对原子质量计算。2 规范性引用文件下列文件中的条款通

3、过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。GB 190 危险货物包装标志GB/T 3723 工业用化学产品采样安全通则GB 5099 钢质元缝气瓶GB/T 5832.1 气体中湿度的测定第1部分:电解法GB 7144 气瓶颜色标志GB/T 8984 气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定气相色谱法GB/T 11640 铝合金无缝气瓶GB 14193 液化气体气瓶充装规定GB/T 26571 特种气体

4、储存期规范气瓶安全监察规程)(国家质量监督检验检疫总局发布，2000年)3 技术要求晒化氢的技术要求应符合表1的规定。表1技术指标项自指标晒化氢(H2Se)纯度(体积分数)/10-2、;:99.99 氢(H2)含量(体积分数)/10-6 运二20 氧+氢(02+Ar)含量体积分数)/10-6运二10 氮(N2)含量(体积分数)/10-6 舌二20 一氧化碳(CO)含量(体积分数)/10-6主二10 二氧化碳(C02)含量(体积分数)/10-6、一、10 总短(以甲烧计)含量(体积分数)/10、户、10 硫化氢(H2日含量(体积分数)/10-6、二10 水(H20)含量(体积分数)/10-6 运

5、二10 1 GB/T 26249-2010 4 试验方法4. 1 检验规则4. 1. 1 晒化氢产品应逐一检验并验收。当检验结果有任何一项指标不符合本标准技术要求时，则判该产品不合格。4. 1.2 晒化氢采样安全应符合GB/T3723的相关规定。4.2 晒化氢纯度晒化氢纯度按式(1)计算:=100一(1十2+3+4十5+6+7+8)X 10-4 ( 1 ) 式中:一一晒化氢纯度(体积分数)，10-2;也氢含量(体积分数),10-6 i 2一一氧十氧含量体积分数)，10-6;也氮含量(体积分数)，10-6;4一一一氧化碳含量(体积分数)，10-6;4 二氧化碳含量(体积分数), 10-6; 6一

6、一总怪含量(体积分数)，10-6;7 硫化氢含量(体积分数)，10-6;4 水含量(体积分数)，10-6。4.3 放空测定晒化氢中的杂质含量时，应对放空的晒化氢试样进行处理，推荐采用活性炭和稀碱溶液进行吸收中和。4.4 氢、氧+缸、氨的测定4.4. 1 氢、氧+量、氮的测定见附录A。4.4.2 允许采用其他等效的方法测定晒化氢中的氢、氧+盖、氮含量。当对测定结果有异议时，以本标准4.4.1规定的方法为仲裁方法。4.5 一氧化碳、二氧化碳、总娃(以甲皖计)的测定按GB/T8984规定并采用预切割技术测定晒化氢中的微量一氧化碳、二氧化碳和总短含量。预分离柱:长约2.5m，内径2mm的不锈钢管，内装

7、粒径为O.18 mm-O. 25 mm的PorapakQS, 色谱柱在180.C通载气活化约2h.或其他等效色谱柱。允许采用其他等效的方法测定晒化氢中的微量一氧化碳、二氧化碳和总;怪含量。当对测定结果有异议时，以GB/T8984规定的方法为仲裁方法。气体标准样品:组分含量(体积分数)为1X10-610X10-6，其平衡气为氮。4.6 畸化氢含量的测定4.6. 1 硫化氢的测定见附录B.4.6.2允许采用其他等效的方法测定晒化氢中的硫化氢含量。当对测定结果有异议时，以本标准4.6.1规定的方法为仲裁方法。4. 7 水分含量的测定按GB/T5832. 1执行。仪器检测限:O.lX10-6(体积分数

8、)。允许采用其他等效的方法测定晒化氢中水分含量。当对测定结果有异议时，以GB/T5832.1规定的方法为仲裁方法。2 . 5 包装、标志、贮运及安全5. 1 包装、标志及贮运5. 1. 1 晒化氢的充装及贮运应符合气瓶安全监察规程的相关规定。5.1.2 5. 1. 3 5. 1. 4 5. 1. 5 5.1.6 5.1.7 5. 1. 8 5. 1. 9 包装晒化氢的气瓶应符合GB5099、GB/T11640的规定。推荐使用经过内表面处理的气瓶。推荐使用CGA350瓶阀。应防止瓶口被污染和泄漏。晒化氢的充装应符合GB14193的相关规定。气瓶颜色标志应符合GB7144的规定。运输时，晒化氢气瓶

9、上应附有GB190中指定的标志。包装容器上应标明电子晒化氢字样。瓶装晒化氢的最大充装量按式(2)计算;m=Fr V 式中zm一一气瓶内晒化氢的质量，单位为千克(kg);V一一气瓶标明的内容积，单位为升(L); Fr一一-晒化氢的充装系数，1.5 kg/L。5. 1. 10 晒化氢的充装量按实际称量的质量计。5. 1. 11 晒化氢的保存期限按GB/T26571规定执行。5. 1. 12 晒化氢出厂时应附有质量合格证，其内容至少应包括:产品名称，生产厂名称z生产日期或批号，充装质量(kg);本标准号及技术指标，检验员号。5. 1. 13 晒化氢产品应存放在阴凉、干燥、通风的库房内，严禁暴晒，远离

10、热源。5.2 安全曹示GB/T 26249-2010 . ( 2 ) 5.2. 1 晒化氢在常温常压下为具有令人不愉快臭味的元色有毒气体，在干燥空气中稳定，于160.C分解成H2和Se;在潮湿空气中可分解成晒;在空气中燃烧时发出青色火焰，并生成Se02白色粉末才日果空气供给不充分，则析出单体晒;与硝酸激烈反应，也和氧化物猛烈反应，且有火灾及爆炸的危险;与皖基卤化物形成复盐;能与橡胶中的硫磺作用使橡胶变质;自催化性强，一旦分解形成金属覆盖膜，则急速分解，所以晒化氢的容器、管道的内表面应清洁平滑;能溶于水、二硫化碳和光气;溶于水形成水合物，水溶液呈弱酸性;在水溶液中与硫磺反应生成硫化氢与晒。5.2

11、.2 与晒化氢接触时，不应使用明火、不应有火花和不应吸烟;不应与高温表面接触;若发生火灾，应切断气源，如对周围环境元危险，让火自行燃烧完全。其他情况用干粉、二氧化碳灭火。5.2.3 时间加权平均接触限值:0.3X10-6(体积分数)。短期接触限值:1 X 10-6 (体积分数)。最高容许含量:O.lX10-6(体积分数),0. 14 mg/m3。时间加权平均接触限值z正常8h工作日或40h工作周的时间加权平均含量。短期接触限值:每次接触时间不得超过15min的时间加权平均接触限值。5.2.4 晒化氢吸人体内将造成伤害。晒化氢对上呼吸道粘膜和眼结膜有强烈的剌激作用。接触数分钟至3h内，陆续出现中

12、毒症状:流泪、咽喉痛、咳嗽、伴有胸闷、胸痛。重者进一步发展为化学性肺炎或中毒性肺水肿，患者出现呼吸困难，心跳加快，面色苍白，皮肤粘膜紫绪。5.2.5 长期接触晒化氢可引起角膜坏死，皮肤烧伤，皮炎等症状。5.2.6 冻伤时应用大量水冲洗，不应脱去衣物，应及时治疗。5.2.7 泄漏时，应迅速撤离泄露污染区人员至上风处，并隔离直至气体散尽。切断火源、气源。用稀碱3 GB/T 26249一2010液中和，注意处理废水。然后抽排(室内)或强力通风(室外)。5.2.8 接触晒化氢时，推荐使用带有隔绝式呼吸器的气密式化学防护服。5.2.9 分析系统应保证密闭。取样、置换过程的晒化氢尾气，都应经解毒处理后再放

13、空。设备、仪器在通晒化氢之前，应用干燥的惰性气体或氮气吹洗，管线应经过检漏。5.2. 10 晒化氢的物理化学性质参见附录Co5.2. 11 晒化氢生产企业应为用户提供安全技术说明书。4 附录A(规范性附录)晒化氢中氢、氧+氢、氯的测定A.l 仪器采用配备氮离子化检测器的气相色谱仪测定晒化氢中的氢、氧+置、氮。检测限:0.lX10-6(体积分数)。A.2 方法提要GB/T 26249-2010 以高纯氮经净化后作载气，采用配备氮离子化检测器的气相色谱仪，对样品应用主组分切割(除)等处理后采用气相色谱法定量、定性分析样品中的目标组分。A.3 测定条件A. 3.1 载气z高纯氮，经纯化器纯化。其流量

14、参照相应的仪器说明书。A.3.2 辅助气:需要采用辅助气的仪器按仪器说明书使用辅助气。A.3.3 色谱柱z预分离柱z长约2.5m，内径2mm的不锈钢管，内装粒径为O.18 mmO. 25 mm的PorapakQS, 色谱柱在180.C通载气活化约2h.或其他等效色谱柱。该柱用于预分离。分析柱:长约2m，内径2mm的不锈钢管，内装粒径为O.18 mmO. 25 mm的13X分子筛，色谱柱在280 .C300 .C通载气活化约4h。或其他等效色谱柱。该柱用于分析晒化氢中氢、氧+氢、氮组分。A.3.4 气体标准样品:气体标准样品中的组分含量(体积分数为5X10-630X10-6，平衡气为氮。A.3.

15、5 其他条件z进样气体管路应为不锈钢材质，保证气密性良好。载气净化器温度、色谱柱温度、检测器温度、样气流量等其他条件参考仪器说明书。A.3.6 参考的切割气路流程示意图见图A.1。1一一高纯氮载气钢瓶;2一一钢瓶减压器;3一一稳压阀34一一压力表55一一-净化管;7 8 15 6一一稳流阀;11一一切割阀;7一一流量调节阀;12一一预分离柱;8一一流量计;13一一六通阀;9一一检测器;14一一过滤器;10一一分析柱;15一一定体积量管。圄A.l切割气路流程示意图8 5 GB/T 26249-2010 A.4 分析步骤开启仪器至稳定后按仪器说明书的操作步骤完成样品分析。平行测定气体标准样品和样品

16、气各至少两次，记录色谱响应值，直至相邻两次测定的响应值相对偏差不大于10%，取其平均值。A.5 结果处理6 氢、氧+氢、氮含量按式(A.l)计算:=全s式中:i一一样品气中被测组分的含量(体积分数)，10-6;A样品气中被测组分的响应平均值;A , -气体标准样品中相应已知组分的响应平均值;s一一气体标准样品中相应己知组分的含量(体积分数)，10-6。.( A. 1) 附录B(规范性附录)晒化氢中疏化氢的测定B.1 仪器采用配备火焰光度检测器的气相色谱仪测定晒化氢中的硫化氢。检测限:0.lX10-6(体积分数)。B.2 原理GB/T 26249-2010 硫化物在富氢火焰中生成激发态的S2+分

17、子，当其返回基态时发射出350nm450 nm的特征分子光谱，在394nm处有最大峰值，经滤光片除去其他波长的光线后，用光电倍增管把光信号转换成电信号并加以放大给出色谱响应信号，其响应与硫含量的平方成正比。B.3 测定条件B. 3.1 载气:高纯氮。B.3.2 燃气:纯氢。B. 3. 3 助燃气氧气或空气。B. 3. 4 色谱柱:长约1.5m、内径3mm的聚四氟乙烯柱，内装粒径为O.18 mmO. 25 mm的GDX-301高分子多孔微球载体，色谱柱在100oc 120 oc通载气活化约8ho或其他等效色谱柱。B.3.5 气体标准样品:气体标准样品中的组分含量(体积分数)为1X10-615X1

18、0-6，平衡气为氮。B. 3. 6 其他条件:色谱柱温度、检测器温度、样气流量等其他条件参考仪器说明书。B.4 分析步骤开启仪器至稳定后按仪器说明书的操作步骤完成样品分析。在完全相同的条件下，平行测定标准样品和试验样品各至少两次，记录色谱响应值，直至相邻两次测定的响应值相对偏差不大于10%时，取其平均值。B.5 结果处理硫化氢的响应与含量的关系如式(B.l)。式中zR-一一硫化氢的响应值;X一一硫化氢含量(体积分数),10-6; K一-常数。R=KX2 采用多点硫化氢标准样品的响应值的对数对其含量的对数制作工作曲线。根据试样的响应值，从工作曲线查得该响应值对应的硫化氢含量。.( B.1 ) 7

19、 G/T 26249-2010 附录C(资料性附录)晒化氢的物理化学性质晒化氢的物理化学性质见表C.1.表C.1晒化氢的物理性质1 名称晒化氢2 化学式H2Se 3 CAS注册号7783-07-5 4 熔点209.15 K , -64 C 5 沸点，101.325 kPa时232.05 K , -41. 1 c 6 l临界温度41 1. 1 K , 137.95 c 7 1临界压力83. 44X 105 Pa 8 临界体积112.24 cm3/mol 9 临界密度0.721 5 g/cm3 10 临界压缩系数0.274 11 偏心因子0.064 12 液体密度，25c时1. 766 g/cm3

20、 13 液体热膨胀系数，25c时0.002 251/C 14 表面张力，25c时0.016 94 N/m 15 气体密度，101.325 kPa和21.1 c时3.354 kg/m3 15 气体相对密度，101.325 kPa和21.1 c时(空气=1)2. 795 17 汽化热，沸点下242.79 kJ/kg 18 气体定压比热容cp，25c时0.435日/(kg.K)19 气体定容比热容cv，25c时0.333 k/(kg K) 20 气体比热容之比，c/cv1. 309 21 液体比热容，25c时0.961 k/(kg K) 22 固体比热容，一103c时0.559 k/(kg K) 2

21、3 气体生成俑，25C时46.29 J/(mol. K) 24 气体生成焰，25c时29.7 k/mol 25 气体吉布斯生成能，25c时15.9 k/mol 25 液体体积40.433 cm3/mol 27 在水中的溶解度，25c时5412. 5X 10 g/g 8 GB/T 26249-2010 表C.1(续)28 在水中的亨利定律常数，25c时64 551. 1 kPa/mol 29 气体蒙古度，25c时1. 635 3 X 10-5 Pa S 30 液体蒙古度，25c时1. 31 X10 Pa S 31 气体热导率，25c时0.01012 W/(m K) 32 液体热导率，25c时0.1314 W/(m K) 9 EON-m叮NNH阁。国华人民共国家标准电子工业用气体面化氢GB/T 26249-2010 和中祷中国标准出版社出版发行北京复兴门外三里河北街16号邮政编码:100045网址电话:6852394668517548 中国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷各地新华书店经销争6印张1字数17千字2011年6月第一次印刷开本880X 1230 1/16 2011年6月第一版 书号:155066. 1-43152 18.00元如有印装差错由本社发行中心调换版权专有侵权必究举报电话:(010)68533533定价打印日期:2011年7月19日F002