SJ 1780-1981 普通二极型溅射离子泵.技术条件.pdf

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1、中共二极型技术子件. .哇! S1780-81i1. .i 本标准适用于普通二极型溅射离子泵以下简称泵) -、技术要求1、泵的各项参数应符合5J177981普通二极型溅射离子泵列的规定.2、在下列条件下，泵应连续可靠地进行工作z(1)工作环境温度z540(2)工作环境相对湿度不大于90%;(3)泵不适宜抽除大量氢气、惰性气体及有害气体z泵不长期工作在压强为10-4.10-5托范围.3、泵体上所用法兰的结构型式及尺寸应符合下列标准的规定z5J1656-80 (金属密封超高真空法兰结构型式5J1657-80 铜垫密封超高真空法兰型式及尺寸系列5J 1658-80 铜丝密封超高真空法兰型式及尺寸系列

2、4、泵的焊缝应光滑、平整、美观，其漏气率不大于z1 X 10-3 X P X 5 (托升/秒) 其中，p-极限压强(托); 5-名义抽气速率(升/秒)5、泵用磁铁应标志极性并装配牢靠、6、每个抽气组件的绝缘电阻不小于1000兆欧.7、在用户遵守保管、使用规则的条件下，制造单位应保证泵在港，站一年内性能良好.如在此期限内，产品因质量不良而正常工作时，制造单位应无偿地为用户修理或更换产品.-a 共事资第2页aSJ11111，.甲81要性能-、8、每台泵均须经检验合格后方能出厂.9、泵的试验分为交收试验和例行试租.lO、泵的交收试验项目为极限压强及外11、泵的例行试验项目为E( 1 ) 5J1779

3、-81 ( , 子( 2 )产品图样规定的各项例行试验项目; 列规定的主( 3 )绘制泵在5X 10-5.10-9托压强范围内抽气速率与压强的特性曲线;( 4 )绘制泵在正常工作电压下的离子流与压强的特性曲线.12、试验方法按5JI781-81溅射离子泵试验方法的规定进行.13、泵试验所用的仪表，须经鉴定和进行校准.14、每台泵均应作交收试验，交收试验极限压强项目可用盲板进试。15、凡属下列情况之一者，应进行例行试验z( 1 )试制的新产品z( 2 )当产品在设计、工艺或使用的材料有较大改变时:( 3 )生产批量多于20台的产品，每种型号每年抽验两台(每年由一批产品) 三、标志、包啊、16、应

4、在每台泵的明显位置装置产品铭牌.铭牌应包括下列内容z( 1 )制造厂名称:( 2 )泵的名称及型号:( 3 )主要技术性能za、抽气速率，b、极限压a;( 4 )产品编号及出厂日期.17、每台出厂的泵应用盲法兰将其进气口严密封盖，泵内处于真空存状态。18、每台出厂的泵应随附下列技术文件zSJ1780 81 ( 1 )装箱单及备附件明细表;( 2 )产品合格证;( 3 )技术说明书.共8页.3页19、泵的包装箱应牢固可靠，适合运输.要有防湖、防尘、防冲击措施，并应有强磁标志及符合GB191-73包装储运指示标志规寇的其它标.泵内引出电极应加以包装保护，以防在运输或拆箱时受到坏.20、泵在存放期间应放罩在通风良好的室内.