GB T 16943-2009 电子工业用气体.氦.pdf

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1、ICS 7 1. 100. 20 G 86 和国国家标准=H工/、中华人民G/T 16943-2009 代替GB/T16943-1997 氨电子工业用气体Gas for electronic industry-Helium 2010-05-01实施标准分享网www.bzfxw.coom免费下载2009-10-30发布发布中华人民共和国国家质量监督检验检茂总局中国国家标准化管理委员会GB/T 16943-2009 目U吕本标准代替GB/T16943二1997(电子工业用气体氮。本标准与GB/T16943-1997相比主要变化如下:-一一修改氮的适用范围CGB/T16943-1997的第1章，本版

2、的第1章); 一修改规范性引用文件CGB/T16943-1997的第2章，本版的第2章); -一一修改技术指标内容:增加一类产品纯度和杂质含量CGB/T16943-1997的第3章，本版的第3章); 一修改瓶装氮抽样方法CGB/T16943-1997的4.1，本版的4.1.1) ; 一-增加集装阁装、大容积钢质无缝气瓶装和杜瓦罐装氮产品并规定检验方法见4.1.1);一-增加管道输送的氮产品并规定检验方法(见4.1. 2) ; 一一增加氮的采样安全要求(见4.1.3);一一增加新的分析方法=增加用氮放电离子化气相色谱法测定氮中的氧、一氧化碳和二氧化碳组分;增加其他方法测定总短含量;当出现多种分析

3、方法时，增加规定仲裁方法(见4.3) ; 一-修改水分的测定方法(GB/T16945-1997的4.5，本版的4.5);一一修改标志、包装、贮运及安全(GB/T16943-1997的第5章，本版的第5章); 一一增加安全要求(见5.6); 一一增加规范性附录A，并把采用氮离子化气相色谱法测定氮中的氧、氮、一氧化碳和二氧化碳组分的方法写入该附录(见附录A)。本标准的附录A为规范性附录。本标准由全国半导体材料和设备标准化技术委员会提出。本标准由全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会归口。本标准起草单位:西南油气田分公司成都天然气化工总厂、北京氮普北分气体工业有限公司、西南化工研究设计院。本标

4、准主要起草人:刘泽军、付永成、赵俊秀、周鹏云。本标准所代替标准的历次版本发布情况为:一一-GB/T16943-1997。1 GB/T 16943-2009 电子工业用气体氨1 范围本标准规定了氮的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以深冷法从天然气、空气和工厂弛放气中提取的气态和液态氮，以及经纯化方法得到的氮。它们在半导体制造中用作清洗气、加压气，也用作载气和保护气等。分子式:He。相对分子质量:4.003C按2005年国际相对原子质量)。2 规范性引用文件下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单(不包括勘误的内容或修订

5、版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。GB 190-2009 危险货物包装标志GB/T 3723 工业用化学产品采样安全通则GB 5099 钢质元缝气瓶GB/T 5832.1 气体中湿度的测定电解法GB/T 6285 气体中微量氧的测定电化学法GB 7144 气瓶颜色标志GB/T 8984 气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定气相色谱法GB 14194 永久气体气瓶充装规定GB 16912 深度冷冻法生产氧气及相关气体安全技术规程气瓶安全监察规程压力容器安全监察规程压力管道安全管理与监察规定

6、3 技术要求3. l 氮的质量应符合表1的要求。表1技术指标项目氮气(He)纯度L体积分数)/10-2飞;.-一氧化碳(CO)和二氧化碳CCOz)总含量(体积分数)/10-6 氮(N2)含量(体积分数)/10-6氧(02)含量(体积分数)/10-6总娃(以甲烧计含量体积分数)/10-6 水分(H20)含量体积分数)/10-6 杂质总含量体积分数)/10-6:s_: 、气颗粒指99. 999 9 一氧化碳:O. 1 二氧化碳;O. 1 0. 5 0.2 O. 1 0.2 供需双方商定标99.999 5 1 2 0. 5 O. 5 0.5 5 供需双方商定F GB/T 16943-2009 3.2

7、 液态氮的水分应气化后测定。4 试验方法4. 1 抽样、判定和复验4. 1. 1 瓶装、集装阁装、大容积钢质无缝气瓶装和杜瓦罐装氮产品应逐一检验并验收。当检验结果有任何一项指标不符合本标准技术要求时，则判该产品不合格。生产企业应确保每一包装氮产品符合本标准技术要求。4. 1. 2 对稳定生产的管道输送的氮由供需标准技术要求。民-一-水4.3氧、氨、一4.5 气体标准样品、E士案。企业应确保管道输送的氮产品符合本.( 1 ) 二氧化碳。当以气体标准样品中的组分含量为(1-5)X 10-5 (体积分数)，平衡气为氮。4.6 水分含量的测定按GB/T5832. 1执行。仪器检测限:0.05XIO-6

8、(体积分数)。允许采用其他等效的方法测定氮中水分含量。当测定结果有异议时，以GB/T5832.1规定的方法为仲裁方法。5 标志、包装、贮运及安全5. 1 氮气瓶应符合GB5099的规定，气瓶颜色标记应符合GB7144的规定。运输时，氮气瓶上应附有、 、. GB/T 16943-2009 GB 190-2009中第3章指定的标志。5.2 推荐使用进行内表面处理的气瓶，气瓶内表面应满足本标准对于水分和颗粒的要求。5.3 包装容器上应标明电子氮字样。5.4 充装、贮运5.4.1 瓶装氮应符合GB14194以及气瓶安全监察规程的相关规定。5.4.2 管道输送的气态氮应符合压力管道安全管理与监察规定。5

9、.5 瓶装氮的成品压力在200C时不低于13.5MPa。用于测量的压力表精度不低于2.5级D5.6 返厂氮气钢瓶的余压不应低于0.2_M女王毛主E合要求的气瓶，水压试验后的气瓶以及新气瓶等在充装前应按规定要求进行加4自空和置换。一一产品名称，生产一一生产日期或一一本标准标5.8.3 电子6. 1 瓶装氨6. 1. 1 气瓶式中:P二气瓶内气体压力，单仍属也帐MP叭t一二测量压力时，气瓶内气体温叉，Z一一温度为t时，氮气的压缩系数。6. 1. 3 在不同压力、温度下氮气的体积换算系数K值列于表2。表2在不同压力、温度下氯气的体积换算系数K压力/MPa温度jC9.8 10.3 10.8 11. 3

10、 11. 8 12. 3 12.7 13.2 13.7 14.2 -40 O. 117 O. 123 0. 128 O. 134 O. 139 O. 144 0.J49 0.154 0.160 0.164 35 0.115 0. 120 O. 126 O. 131 0.136 O. 141 O. 146 O. 151 0. 156 0. 161 30 0.113 0. 118 0. 123 O. 128 0. 134 o. 138 0.144 0.149 0.154 。158. ( 3 ) 14.7 15.2 15. 7 16.2 O. 170 O. )74 0.179 O. 184 O. 1

11、66 0. 171 0. 176 O. 181 O. 163 O. 168 0.173 0. 178 3 G/T 16943一-2009表2(续压力jMPa温度rc9.8 10.3 10.8 11.3 11. 8 13.2 13.7 14. 2 15. 7 16.2 0.136110.141 25 0.111 0.116 0.121 0.126 O. 131 0.116 0.151 O. 156 0.160 O. 165 0.170 0.174 一20o. 108 0.114 0.119 0.124 o. 128 O. 134 O. 138 O. 143 0.148 0.153 O. 157

12、0.162 O. 167 0.171 一15O. 106 0. 112 0.116 0.121 O. 126 0.131 0.136 O. 141 O. 145 0.150 0. 155 O. 159 0.164 O. 168 10 O. 105 0.110 0.114 0.119 O. 124 0.129 0.133 0.138 O. 143 0.14-7 O. 152 O. 156 O. 161 O. 166 O. 145110. 149 b 0.103 0.108 0.112 0.117 O. 122 0.126 0.131 0.136 O. 140 0.15410.158 O. 163

13、 。0.101 O. 106 。1100.115 O. 20 O. 124 O. 129 0.133 O. 138 O. 142 O. 147 0.151 0.156 O. 160 5 0.099 0.104 O. 108 0.113 0.118 O. 122 0. 127 O. 131 O. 136 0.140 O. 144 0.149 0.153 O. 157 10 0.098 0.102 O. 107 0.11 J 0.116 O. 120 O. 125 O. 129 0.133 O. 138 O. 142 O. 146 O. 151 O. 155 且15 0.096 O. 100 0.

14、 105 O. 109 0.114 O. 118 0.123 O. 12.7 0.131 0.136 O. 140 0. 144. O. 148 O. 152 20 0.094 0.099 0.103 O. 108 0.112 0.116 0.121 O. 125 0.129 0.133 O. 138 0.1 42 O. 146 0.150 25 0.093 0.097 0.102 O. 106 0.110 O. 114 0.119 0.123 O. 127 O. 131 0.136 0.140 0. 144. O. 118 30 0.091 0.096 O. 100 O. 104 O. 10

15、8 0.113 。.117O. 121 o. 12510. 129 O. 133 0.138 O. 142 35 0.090 0. 094 0.098 0.103 O. 107 0.111 0.115 0.119 O. 123 O. 127 O. 131 0.135 O. 13 9 O. 143 40 0.088 0.093 0.097 0.101 。.105 0.109 。.1130.117 O. 122 O. 126 O. 129 。叫O.1冲45 0.087 0.091 0.095 。.100O. 104 O. 108 0.112 0.116 0.120 O. 124 O. 128 0.

16、132 O. 135 O. 139 50 0.086 0.090 0.094 0.098 O. 102 O. 106 0.110 0.114 0.118 O. 122 0.126 0.130l7 6.2 液氮体积计算液氮的质量换算为200C、101.3 kPa状态下氮气的体积按式(4)计算:V = m/0.166 4 、，Ja-A t ，、. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 式中:V一一-氮气的体积，单位为立方米(m3); m-一液氮的质量，单位为千克(kg);O. 166 4一-200C、101.3 kPa状态下

17、氮气的密度，单位为千克每立方米Ckg/m3)04 ，.一E GB/T 16943-2009 附录A(规范性附录电子工业气体氨中氧、氨、一氧化碳和二氧化碳的测定A.l 仪器采用配备氮放电离子化检测器的气相色谱仪测定氮中氧、氮、一氧化碳和二氧化碳。检测限:0.01XIO-6(体积分数。A.2 原理基于潘宁效应CPenni吨eHect)，即电子与稀有气体碰撞形成亚稳态原子，该亚稳态原子的激发能传递到样品分子或原子;如果样品分子或原子的电离电位CIP)小于亚稳态原子的激发电位，样品将通过碰撞被电离，使离子流增大。A.3 测定条件A. 3.1 载气:高纯氮，经纯化器纯化。其流速参照相应的仪器说明书。A.

18、 3. 2 辅助气:需要采用辅助气的仪器按仪器说明书使用辅助气。A. 3. 3 色谱柱z色谱柱1:长约2m，内径3mm的不锈钢管，内装粒径为O.25 mm,. O. 4 mm的5A分子筛，或其他等效色谱柱。色谱柱I用于分析氮中氧、氮、和一氧化碳组分。色谱柱II:长约0.5m、内径3mm的不锈钢管，内装粒径为0.25mm_O. 40 mm的色谱硅胶;或其他等效色谱柱。色谱柱H用于分析氮中二氧化碳组分。A. 3. 4 气体标准样品气体标准样品中的组分含量为(1_5)X 10-6 C体积分数)，平衡气为氮。A. 3. 5 其他条件:载气净化器温度、色谱柱温度、检测器温度、样气流量等其他条件参考仪器说

19、明书。A.4 分析步骤开启仪器至稳定后按仪器说明书的操作步骤完成样品分析。平行测定气体标准样品和样品气至少两次，记录色谱响应值，直至相邻两次测定的相对偏差不大于10XI0-2，取其平均值。A.5 结果处理采用峰面积(或峰高)定量，用外标法计算结果。氧、氮、一氧化碳和二氧化碳含量的计算采用外标法，按式CA.4)计算E式中:A(hi) rp, =一一一一良As (hs) rp; 样品气中被测组分的含量(体积分数); lj Ch;)一一样品气中被测组分的峰面积或峰高，单位为平方毫米或毫米(mm2或mm);. C A. 4 ) As Ch_s) 气体标准样品中相应己知组分的峰面积或峰高，单位为平方毫米

20、或毫米Cmm2或mm);rp, 气体标准样品中相应己知组分的含量(体积分数。5 巳CAVt川qUFL国川中华人民共和国国家标准电子工业用气体氨GB/T 16943-2009 导中国标准出版社出版发行北京复兴门外三里河北街16号邮政编码:100045 网址电话:6852394668517548 中国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷各地新华书店经销* 开本880X12301/16 印张O.75 字数12千字2009年12月第一版2009年12月第一次印刷今峰书号:155066 1-39320 定价16.00元| . . l -EE- ,U -1 . | EEEE田EElIli- 如有印装差错由本社发行中心调换版权专有侵权必究举报电话:(010)68533533GB/T 16943-2009 打印1:1期:2010年3月10日