欢迎来到麦多课文档分享! | 帮助中心 海量文档,免费浏览,给你所需,享你所想!
麦多课文档分享
全部分类
  • 标准规范>
  • 教学课件>
  • 考试资料>
  • 办公文档>
  • 学术论文>
  • 行业资料>
  • 易语言源码>
  • ImageVerifierCode 换一换
    首页 麦多课文档分享 > 资源分类 > PDF文档下载
    分享到微信 分享到微博 分享到QQ空间

    SJ 1780-1981 普通二极型溅射离子泵.技术条件.pdf

    • 资源ID:227071       资源大小:83.40KB        全文页数:3页
    • 资源格式: PDF        下载积分:5000积分
    快捷下载 游客一键下载
    账号登录下载
    微信登录下载
    二维码
    微信扫一扫登录
    下载资源需要5000积分(如需开发票,请勿充值!)
    邮箱/手机:
    温馨提示:
    如需开发票,请勿充值!快捷下载时,用户名和密码都是您填写的邮箱或者手机号,方便查询和重复下载(系统自动生成)。
    如需开发票,请勿充值!如填写123,账号就是123,密码也是123。
    支付方式: 支付宝扫码支付    微信扫码支付   
    验证码:   换一换

    加入VIP,交流精品资源
     
    账号:
    密码:
    验证码:   换一换
      忘记密码?
        
    友情提示
    2、PDF文件下载后,可能会被浏览器默认打开,此种情况可以点击浏览器菜单,保存网页到桌面,就可以正常下载了。
    3、本站不支持迅雷下载,请使用电脑自带的IE浏览器,或者360浏览器、谷歌浏览器下载即可。
    4、本站资源下载后的文档和图纸-无水印,预览文档经过压缩,下载后原文更清晰。
    5、试题试卷类文档,如果标题没有明确说明有答案则都视为没有答案,请知晓。

    SJ 1780-1981 普通二极型溅射离子泵.技术条件.pdf

    1、中共二极型技术子件. .哇! S1780-81i1. .i 本标准适用于普通二极型溅射离子泵以下简称泵) -、技术要求1、泵的各项参数应符合5J177981普通二极型溅射离子泵列的规定.2、在下列条件下,泵应连续可靠地进行工作z(1)工作环境温度z540(2)工作环境相对湿度不大于90%;(3)泵不适宜抽除大量氢气、惰性气体及有害气体z泵不长期工作在压强为10-4.10-5托范围.3、泵体上所用法兰的结构型式及尺寸应符合下列标准的规定z5J1656-80 (金属密封超高真空法兰结构型式5J1657-80 铜垫密封超高真空法兰型式及尺寸系列5J 1658-80 铜丝密封超高真空法兰型式及尺寸系列

    2、4、泵的焊缝应光滑、平整、美观,其漏气率不大于z1 X 10-3 X P X 5 (托升/秒) 其中,p-极限压强(托); 5-名义抽气速率(升/秒)5、泵用磁铁应标志极性并装配牢靠、6、每个抽气组件的绝缘电阻不小于1000兆欧.7、在用户遵守保管、使用规则的条件下,制造单位应保证泵在港,站一年内性能良好.如在此期限内,产品因质量不良而正常工作时,制造单位应无偿地为用户修理或更换产品.-a 共事资第2页aSJ11111,.甲81要性能-、8、每台泵均须经检验合格后方能出厂.9、泵的试验分为交收试验和例行试租.lO、泵的交收试验项目为极限压强及外11、泵的例行试验项目为E( 1 ) 5J1779

    3、-81 ( , 子( 2 )产品图样规定的各项例行试验项目; 列规定的主( 3 )绘制泵在5X 10-5.10-9托压强范围内抽气速率与压强的特性曲线;( 4 )绘制泵在正常工作电压下的离子流与压强的特性曲线.12、试验方法按5JI781-81溅射离子泵试验方法的规定进行.13、泵试验所用的仪表,须经鉴定和进行校准.14、每台泵均应作交收试验,交收试验极限压强项目可用盲板进试。15、凡属下列情况之一者,应进行例行试验z( 1 )试制的新产品z( 2 )当产品在设计、工艺或使用的材料有较大改变时:( 3 )生产批量多于20台的产品,每种型号每年抽验两台(每年由一批产品) 三、标志、包啊、16、应

    4、在每台泵的明显位置装置产品铭牌.铭牌应包括下列内容z( 1 )制造厂名称:( 2 )泵的名称及型号:( 3 )主要技术性能za、抽气速率,b、极限压a;( 4 )产品编号及出厂日期.17、每台出厂的泵应用盲法兰将其进气口严密封盖,泵内处于真空存状态。18、每台出厂的泵应随附下列技术文件zSJ1780 81 ( 1 )装箱单及备附件明细表;( 2 )产品合格证;( 3 )技术说明书.共8页.3页19、泵的包装箱应牢固可靠,适合运输.要有防湖、防尘、防冲击措施,并应有强磁标志及符合GB191-73包装储运指示标志规寇的其它标.泵内引出电极应加以包装保护,以防在运输或拆箱时受到坏.20、泵在存放期间应放罩在通风良好的室内.


    注意事项

    本文(SJ 1780-1981 普通二极型溅射离子泵.技术条件.pdf)为本站会员(ideacase155)主动上传,麦多课文档分享仅提供信息存储空间,仅对用户上传内容的表现方式做保护处理,对上载内容本身不做任何修改或编辑。 若此文所含内容侵犯了您的版权或隐私,请立即通知麦多课文档分享(点击联系客服),我们立即给予删除!




    关于我们 - 网站声明 - 网站地图 - 资源地图 - 友情链接 - 网站客服 - 联系我们

    copyright@ 2008-2019 麦多课文库(www.mydoc123.com)网站版权所有
    备案/许可证编号:苏ICP备17064731号-1 

    收起
    展开