GB T 16523-1996 圆形石英玻璃光掩模基板规范.pdf

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1、GB/T 1 6523 1 996 本标准等效采用SEMI标准的SEMIP4 92(圆形石英玻璃光掩模基板规范。本标准第3章要求全部按SEMIP4 92制定，标准格式按GB/T1. 1 1993(标准化工作导则标准编写的基本规定H嘀响。SEMI标准是半导体设备和材料国际标准，具有较高的科学性和先进性，内容全面，标准配套。本标准与已经转化为我国标准的SEMIP1 92(硬面光掩模基板)(GB/T15871 1995)、SEMIP2 86(硬面光掩模用铅薄膜)(GB/T15870 1995)、SEMIP3 90(硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范)(GB/T16527 1996)、SEMIP

2、6 88(光掩模对准标记规范)(GB/T16524 1996)及准备转化为我国标准的SEMIP21 92(掩模曝光系统准确度表示准则、SEMIP22 93(光掩模缺陷分类和尺寸定义的指南、SEMIP19 92(用于集成电路制造技术的检测图形单元规范等项标准形成一个微型构图标准系列。本标准附录A是提示的附录。本标准由中华人民共和国电子工业部提出。本标准由电子工业部标准化研究所归口。本标准起草单位:长沙韶光微电子总公司，电子工业部标准化研究所。本标准主要起草人:谈仁良、吴保华、王亦林、韩艳芬。中华人民共和国国家标准形石英玻璃光板规范Specification for round quartz ph

3、otomask substrates 本标准规定了圆形石英玻璃光掩模基板的技术要求、试验方法等内容。本标准适用于圆形石英玻璃光掩模基板。2 51 GB/T 16523 1996 下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本均为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。GB 191 90 包装储运图示标志GB 2828一87逐批检查计数抽样程序及抽样表(适用于连续批的检查)GB 2829 87 周期检查计数抽样程序及抽样表(适用于生产过程稳定性的检查)GB 7238 87 玻璃及铅版表面平整度的测试方法GB 9622.2

4、 88 电子玻璃平均线热膨胀系数的测试方法3 要求和3. 1 外形尺寸3. 1. 1 圆形石英玻璃光掩模基板的外形见图1和图2，外形尺寸见表1和表2。1996-09-09批1997-05-01实施GB/T 16523 1996 表1基板的外形尺寸直径D厚度8b 弦高h规格弦长JL 标准口lln口lax自llnmax mm 口lax口llnmax 125 124.7 125.3 2.17 2. 3 2.43 o. 1 0.6 122.19 123.48 32.5士2.5 2. 17 2.3 2.43 O. 1 O. 6 150 149.7 150.3 146.24 147.59 42.5士2.5

5、2.87 3. 0 3.13 O. 1 0.6 注z弦长l为参。+ 阳J D b 。45。图116523 1996 GB/T rnrn 大规格基板的外形尺寸表2规格直径队弦心距L，厚度(5，L 标准口unmax 盯lln口laxmm max 125 134.55 183.75 88.52 88.65 3.69 3.81 3.94 叶/J , D, 的.hhhhH斗152.4 177. 3 图2GB/T , 6523 , 996 3. ,. 2 基板的外形尺寸用准确度为0.02mm的游标卡尺和百分表测量;边缘尺寸用15倍测量显测量。3. 2 材料性能3. 2. , 使用环境温度:OOC3000C

6、。3.2.2 膨胀系数:100%石英材料z膨胀系数不大于5.5X 1。一7/K;低纯度石英:膨胀系数不大于7.5X10-7/K。3.2.3 透射特性:波长为200nm405 nm时，透射率由供需双方商定。3.2.4 基板的热膨胀系数按GB9622.2规定的方法进行测量;透射率用精度为1nm的uv-可见光分光光度计进行测旦。3.3 物理性能基板的物理性能见附录A(提示的附录)。3.4 平面度3.4. , 基板的一面，在规定的整个圆形质量区(见图3).大规格基板(184mm)的质量区见图2.平面度应符合表3的规定。L / 1 / 斗I I / / L/2 因3表3平面度规格L口1口1125 150

7、 184 3.4.2 基板的平面度接GB7238规定的方法3. 5 外观要求3. 5. , 基板质量区内的内部缺陷见表4。D=L一12rnlllQ 平度m 5 2 5 3 10 5 3 GB/T 1 6523 1 996 表4区内的内部缺陷不透明点气泡m m 二:2二三23.5.2 区内的表面缺陷见表5。表5区内的表面缺陷残余物划痕总缺陷数亮点总缺陷数个/cm2个/cm2m m 二二1.0。二2。基板正无1.0 12 0.015 5 基板反二三3.0 无二三3.0 无3.5.3 区外的缺陷见表6。表6质量区外的缺陷寸缺陷边缘碎屑口1盯1径向深度二三0.76边条痕二三0.76其他供需双方商定3.

8、 5.4 基板的缺陷用40倍大视场立体显微镜检查，缺陷尺寸用500倍测量显4 基板检验分交收检验和例行检验。4.1 交收检验4. ,. 1 检验批:检验批应由同一工艺条件生产，不同规格，同时交付的产品组成。4. ,. 2 基板入库前应逐批进行交收检验。总缺陷数个/cm20.007 75 不透明点总缺陷数m 个/cm2二三2.0 。12 0.015 5 二三100.046 5 总数无无查。4. ,. 3 交收检验均应在制造厂质量部门进行，必要时用户亦可派人共同进行。制造厂提供试验的必要条件，并对试验结果负责。4. 1.4 用户有权对交收检验的结果进行复查。4. ,. 5 交收检验应按GB2828

9、中规定的一次正常检查方案进行抽样，交收检验的项目、检查水平(lL)及合格质量水平(AQL)应符合表7的规定。表7交收试验检验项目要求和测量方法章条号外形尺寸3. 1 外观要求3. 5 4.2 例行检验4.2. 1 有下列情况之一者，应进行例行检验:a)产品定型pb)产品结构、材料、工艺有较大改变时Fc)正常生产情况下，每年进行一次;d)产品停产一年以上，恢复生产时;IL AQL E 1.5 E 1. 5 GB/T 1 6523 1 996 e)交收检验结果与上次例行检验有较大差异时pf)国家质量机构提出进行例行检验要求时。4.2.2 例行检验必须在交收栓验合格的批中随机抽取。例行检验按GB28

10、29中一次抽样方案进行，例行检验项目判别水平(DL)及不合格质量水平(RQL)应符合表8的规定。表8例行检验检目要量方法章条号DL 外形尺寸3. 1 材料性3. 2 平面度3. 4 外观要求3. 5 4.2.3 例行检验项目中，有一项不合格，则该批产品例行检验为不合格。5 标志、包装、运输、贮存5. 1 包装和标志RQL 20 15 15 20 5. 1. 1 基板应在100级的环境中进行内包装，设计的内包装盒应能防止玻璃与玻璃相接触，并能避免基板在装运过程中受到沾污。基板装盒时应将平面度合格的一面朝向盒子的同一端，且在每只盒子上应标明这个方向。包装盒上应标明:警告:只能在洁净间条件下打开和处

11、理。每个内包装盒均应贴上合格证，合格证上应注明:a)产品名称、编号;b)产品规格尺寸pc)数亘;d)检验日期及检验员签章。5. 1.2 外包装箱采用钙塑瓦楞纸或硬纸板制作，外包装箱上应标明:a)产品名称、型号;b)产品编号;、真.J_.世z:M骨日飞;J :J二IH步j1J;d)制造厂名称、地址、商标。5. 1. 3 包装箱外壁应标有符合GB191规定的保持干燥、向上、小心易碎5.2运产品在运输过程中应防湿、防震、防损伤，不得与腐蚀性物质混装运输。5. 3 贮存5.3.1 产品应存放在相对湿度不大于60%，干净，无有害气体的库房内。5. 3.2 产品从生产之日起，贮存期一年。和标志。基板弹性?自松比密度折射G/T 16523 1996 附录A(提示的附录)基板的理性能z6.7 X 104 N/mm27. 4 X 104 N/mm2(6. 7 X 103 kgf/mm27. 4X 103 kgf/mm2) 0.18 0.19 2. 18 g/cm32. 20 g/cm3 1. 46