JC 226-1981 QSG3透明石英玻璃坩埚.pdf
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1、中华人民共和国建筑材料工业部飞子.斗.十1十+部标准厂十一十一十一十一十一十一十一十一十+牛牛JC 226一81QSG3透明石英玻璃柑锅、_、_+_十_十,十_、_、夕本标准适用于半导体工业拉制单晶用的高纯透明石英玻璃柑竭。本增祸采用天然石英熔制成坯体,并在其内表面涂一层高纯人造石英玻璃层一、技术要求1.物理、化学性能指标(1)化学成分a内涂层化学成分铝、钙、镁、钦、铜、铁、钻、镍、锰、硼、钾、钠、锤十三个杂质元素的总含量不得大于。.001000其中:铝(5X10-4%;铜簇0.1X10-,%;铁簇0.5X10-4%;硼提0. 1 X 10-4;钾(1X10-,%;钠成1X10-4%0b.堵涡
2、坯体化学成分铝、钙、镁、钦、铜、铁、钻、镍、锰、硼、钾、钠、锉十三个杂质元素的总含量不得大于。.Ol0oo其中:铝镇60 X 10-4 % ;铜簇0.1X10-400;铁蕊5X10-月 %;硼镇0. 3 X 10-4写;钾(4X10-4%;钠镇4X10-4%0(2)热稳定性试样在1100 C至20C温度急变下试验三次,不产生裂纹。(3)抗结晶性试样在1200C温度下恒温半小时,不允许出现直径大于3毫米的析晶白点,0. 5-3毫米的析晶白点,每100平方厘米不得超过10个。(4)涂层厚度应均匀,折合重量应符合表1规定。表1外径D毫米涂层重t克外径D毫米涂层重t克80 1064.590 11145
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