CNS 14640-2002 Methods of test for metallic elements in highly purified water《超纯水中金属元素之试验法》.pdf
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1、1 印行年月94年10月 本標準非經本局同意不得翻印 中華民國國家標準 CNS 總號 類號 ICS 71.040.40 K61080 14640 經濟部標準檢驗局印行 公布日期 修訂公布日期 91年5月16日 年 月 日 (共40頁) 超純水中金屬元素之試驗法 Methods of test for metallic elements in highly purified water 1.適用範圍:本標準規定超純水中金屬元素(鈉、鉀、鈣、鎂、銅、鋅、鉛、鎘、鎳、鈷、錳、鉻、鋁及鐵)之試驗方法。 備考1:本方法亦適用於超純水以外之高度分析用水中所含之金屬元素試驗。 2:本標準中內之單位為公制,數
2、值為近似值。 2.共同事項 (1)通則:化學分析共同之一般事項,依CNS 9179化學分析法通則之規定。 (2)感應耦合電漿發光光譜分析法:感應耦合電漿發光光譜分析法(以下簡稱ICP發光光譜分析法)共同之一般事項,依CNS 12416發光光譜分析法通則之規定。 (3)電熱式原子吸收光譜分析法:電熱式原子吸收光譜分析法共同之一般事項,依CNS 11209原子吸收光譜分析法通則之規定。 (4)用語釋義:本標準所用之主要用語定義,依CNS 12586分析化學用語(基礎部門)之規定。感應耦合電漿質譜分析法,以下簡稱為ICP質譜分析法。 (5)定量範圍:電熱式原子吸收光譜分析法,ICP發光光譜分析法,I
3、CP質譜分析法及離子層析法之定量範圍,皆以試樣中之濃度(g/L或ng/L)表示。 (6)重現分析精密度:重現分析精密度,在各個試驗方法之定量範圍內,以重現試驗求得之變異係數(%)表示之(1)。 註(1):變異係數(%)= 100x式中,:標準差 x:平均值 (7)水:使用CNS 3699化學分析用水所規定之A1A3分析用水,惟在各項目中另有規定時,依其規定。 (8)試藥:有關試藥之共同事項如下。 (a)試藥,若有相當之中國國家標準時,應使用該試藥之最上級或適合於用途者,若無相當之中國國家標準時,應使用對試驗無妨礙者。 (b) 試藥類之溶液濃度,通常以g/L(化合物時,使用其無水物之質量)或mo
4、l/L(或m mol/L)表示。惟標準液濃度,以mg/mL,g/mL或ng/mL表示。 (c) 試藥類溶液名稱之後,括弧內所示之濃度,係指大概之濃度(但,不包括標準液)。例如,亞硫酸氫鈉溶液(100g/L)係表示約100g/L之亞硫酸氫鈉溶液。 (d) 液體試藥濃度,以與水之混合比試藥(a+b)表示之。此表示法,係指將試藥a mL與水b mL混合,依CNS 9179之規定,使用於氫氯酸,硝酸等。惟將此等試藥不予稀釋而直接使用時,僅以其試藥名稱表示。 2 CNS 14640, K 61080 (e)試藥類 之稱, 原則依 國立編譯 館參照國 際純化 及應用化 聯合 會(IUPAC)之無 機化 合
5、物命 法 及機 化合 物命 法所 定化合 物 稱以及 CNS試藥稱。 (f)關於試藥類及廢液等之處理,應依關法令規則等,並充分意。 (9)玻璃器具類 : 原則 , 選 用 CNS 7300 7322 所規定之化分析用玻璃器具及 CNS 8862 8867 所規定之化分析用玻璃體積計 , 惟需要殊器具時 , 在各目,將其範 例圖 示或說 明, 再者, 若用 於加熱 操作 時,則 使用 石英玻 璃製 (或硼矽酸玻璃 )。使用於乾燥器之乾燥劑,原則為矽膠 (2)。 註 (2):使用 CNS 6727包裝用矽膠乾燥劑所規定之包裝用矽膠乾燥劑 A 型 1種。 (10)檢量線 (電熱式原子吸收光譜分析法,
6、 ICP 發光光譜分析法, ICP 質譜分析法,離子層析法 ):製作檢量線時,將試驗方法所示之定量範圍分為 4 6 階段,然後量取可與此情形致之標準液量。製作定量範圍內之檢量線。於電熱式原子吸收光譜分析法 , ICP 發光光譜分析法 , ICP 質譜分析法及離子層析法 , 試驗時 ,須使用新製作之檢量線 。 對於多數試樣連續試驗同目時 , 則在試驗過程 ,當,使用標準液確認指示值。 (11)試驗環境 : 本試驗 , 宜在室內清淨度 3 級以之環境 (1m3空 氣所含粒子之粒徑在 0.1 0.5 m 之 範圍內,並且 0.1、 0.2、 0.3 及 0.5 m 之粒子顆數分別為103、 236、
7、 101 及 35 以 )例如無塵室內實施。 (12)註,備考及圖:註,備考及圖,係每目別附加序號。 (13)結果之表示:試驗方法種以時,應加註試驗方法。 備考 : 試樣之採取及試驗之任何操作 , 均須付出最大意力 , 以避免污染試樣,亦須意所使用器具之材質或形狀及洗滌方法。 尤其須意避免來分析者之污染。宜使用無塵室用手套等。 3.試樣採取 (1)試樣容器 : 使用石英玻璃製 , 聚烯製 , 聚烯製 , 聚苯烯製等之氣密容器。 (2)試樣容器之洗滌 (a)將硝酸 (0.2mog108/L)使用 CNS 1837化試藥 (硝酸 )所規定之硝酸或高純度硝酸與 A1 分析用調製之 裝滿於試樣容器 ,
8、 蓋緊並放置 16 小時以後 , 以A1 分析用洗滌之。 (b)然後將試樣容器容量之約41量的 A1 分析用放入其 , 加栓激烈搖動混合約30 秒鐘以洗滌之。將此操作反覆實施 5 次。 (c)裝滿 A3 分析用 (或與待測之同等之 ), 蓋緊並放置 16 小時後 , 將捨棄 。 (d)再以與 (c)相同之裝滿後,密栓放置採取試樣。 (3)採取操作 (a) 以待測之,將精製裝置出口或主管路之試樣採取閥 (1)前端充 分洗滌後,裝設預先以 A1 分析用充分洗滌之試樣導管 (軟質合成樹脂製者 )(2)。 3 CNS 14640, K 61080 (b)將試樣容器之捨棄,以待測之實施第 3.(2)(b
9、)節之操作。 (c) 使試樣導管前端接觸試樣容器底部,而使試樣流出試樣容器容量之約 5 倍量後 , 取出試樣導管 , 試樣每 1L 加硝酸 (1+1), 使用高純度硝酸與 A3 分析用調製之 )1mL(3),以試樣充分洗滌栓塞後,密栓之。 註 (1):試樣採取閥,應使用耐蝕性材料。 (2):試 樣導管 之距 離長時 ,放 流試 樣採 取閥與 試樣 導管間 之滯 留完 全被取後 , 繼續放流約 5 分鐘 。 若為主管路時 , 則經常以約 1L/min 試樣採取閥放出為宜。 (3):對試驗鈉、鉀、鈣及鎂之試樣,不添加硝酸 (1+1)。 4.鈉 (Na):鈉之定量,用電熱式原子吸收光譜分析法, IC
10、P 質譜分析法或離子層析法。 4.1 電熱式原子吸收光譜分析法:將試樣濃縮後,依電熱式原子吸收光譜分析法,以波長 589.0nm 測定鈉之原子吸光,以定量鈉。 定量範圍 : Na 5 50ng/L(1), 重現分析精密度 : 以變異係數表示 , 為 10 30%(1) 註 (1):係針對依第 4.1(3)節之步驟將試樣體積濃縮為約501時之原試樣者。因裝置,測定條件而不同。 (1)試藥 (a): A3 分析用,或精製成與其同等品質之 (不使用屬製蒸餾裝置 )。須對待測元素實施空白試驗,以確認是否合使用。惟 A3 分析用之鈉濃度,應為 10ng/L 以。 (b)硝酸 (1+1):使用高純度硝酸調
11、製之。 (c)鈉標準液 (100 g Na/mL):將 CNS 12983容量分析用標準試藥所規定之 氯化鈉 當量以 600加熱約 1 小時, 移入乾燥 器內放冷 。精 稱 其0.254g,以少量溶解後,使用將溶液洗移 1000mL 之量瓶,加標線。儲存於聚烯瓶。 (d)鈉標準液 (1 g Na/mL):量取鈉標準液 (100 g Na/mL)10 mL,移入 1000 mL 之量瓶,加標線。使用時調製之。 (e)鈉標準液 (10ng Na/mL): 量取鈉標準液 (1 g Na/mL)5mL,移 入 500 mL 之量瓶,加標線。使用時調製之。 (2)器具及裝置 (a)濃縮裝置:石英玻璃製,
12、減壓式,試樣容器之容量為約 1L 者。 (b)電熱式原子吸收光譜分析儀。 (c)發熱體:石墨製或耐熱屬製。 (d)鈉空陰極管。 (e)流動氣體:使用高純度氬氣 (純度 99.99vog108%以,氧及分分別為 20 及20 vog108 ppm 以 )(2)。 (f)微吸量管:按鈕式液體用微量體積計 20 50 L,或動入裝置。 4 CNS 14640, K 61080 註 (2):使 用耐熱屬製發熱體時,應添加高純度氫氣 (純度 99.999vog108%以 )於氬氣。 (3)濃縮操作:使試樣為弱硝酸酸性後,以減壓狀態實施如。 (a)加硝酸 (1+1)0.5 mL(3)(4)與試樣 500m
13、L 於預先求得質量 (精秤 0.1g)之濃縮裝置試樣容器 (5)。 (b)使濃縮裝置運作,將浴保持於 75 80,濃縮液量為約 10mL。 (c)精秤濃縮裝置之試樣容器質量 ( 0.1g),求出與原試樣容器質量之差,作為濃縮後之試樣體積。 試樣之濃縮倍數,求之濃縮後之試樣體積濃縮所用之試樣體積)mL()mL(。 註 (3):依第 3 節之註 (3)。 (4): 在採取試樣時 , 試樣每 1L 已添加硝酸 (1+1)1 mL 之場合 , 即省略之 。 (5):別意來分析者之污染。宜使用無塵室用手套。 備考 1:亦可在第 2(12)節所規定潔淨度 3 級以之無塵室 (或無塵工作枱 )內直接濃縮,以
14、取減壓濃縮。此時之操作 (*)如。 於石英玻璃製或氟化烯樹脂製等 (2*)之燒 杯 (500 mL) ,加入硝酸 (1+1)(3*)(4*)0.5 mL 與試様 200 mL,置於加熱板,以不沸騰之狀態加熱液量為約 50 mL,再加試樣 300 mL,繼續加熱濃縮液量為約 10 mL 後,放冷之。濃縮後之試樣體積及濃縮倍數,依第 4.1(3)(c)節之規定求之。 註 (*):依註 (5)之規定。 (2*):些 製品亦會 屬元素 溶 出,故先 實 施空白試 驗 ,而選用 對 試驗無影響者。 (3*):依第 3 節註 (3)之規定。 (4*):依註 (4)之規定。 (4)操作 (a)使電熱式原子吸
15、收光譜分析儀為可運轉之狀態,以微吸量管將第 4.1(3)節所濃縮之試樣定量 (例如 , 50 L)入發熱體 , 實施乾燥 , 灰 化 , 原子化(6),以波長 589.0nm 測定鈉之原子吸光,讀取 (7)指示值 (8)。 (b)不入試樣,依照 (a)操作, 作為空白試 驗,讀取指 示值 (8), 以修正 (a)之試樣指示值。 (c)檢 量線求 得鈉濃度 (ng Na/L),使用濃縮倍 數算出試 樣之鈉 濃度 (ng Na/L)。 檢量線 : 階段式取鈉標準液 (10ng Na/mL)2.5 25 mL 之各種液量 , 移 入 100 mL 之量瓶,加標線。 對此等溶液實施 (a)之操作 ,
16、讀取指示值 。 另 外 , 對本操作所用之實施 (a)之操作,作為空白試驗,讀取指示值,以修正各鈉標準液所得之指示值。製作鈉濃度 (ng Na/L)與指示值之關係線 , 作為檢量線 。 檢量線之製作 , 係 5 CNS 14640, K 61080 在測定試樣時實施。 註 (6):乾燥,灰化,原子化之條件,因裝置而不同。 亦因試樣入量而不同。 (7):必要時,反覆實施 (a)之操作 3 次以,確認指示值為致。 (8):吸光度或其比例值。 備考 2:取第 4.1(3)節之試樣濃縮步驟,亦可使用微吸量管,將試樣之定量 (例如 , 50 L)入發熱體乾燥 , 再入試樣之定量乾燥之。將此操作之次數增加
17、總計 10 次以內,以完成濃縮後,經灰化,原子化過程實施定量。 3: 測定鈉濃度為 50ng/L 以之試樣時 , 在 第 4.1(3)節之操作量取500 mL 以之當試樣量,濃縮約 10 mL 後實施試驗。 4.2 ICP 質譜分析法:經由試樣導入部將試樣噴霧於感應耦合電漿,測定於鈉質量電荷數之離子電流,以定量鈉。 定量範圍 : Na 50 5000ng/L(9), 重現分析精密度 : 以變異係數表示 , 為 5 20%(9) 註 (9):因裝置,測定條件而不同。 (1)試藥 (a):依第 4.1(1)(a)節之規定。 (b)硝酸:高純度硝酸。 (c)鈉標準液 (50ng Na/mL):將 第
18、 4.1(1)(d)節之鈉標準液 (1 g Na/mL)量取 10 mL,放入 200 mL 之量瓶,加標線。使用時調製之。 (d)混合標準液 (50ng Na, 20ng Mg, 10ng Cu, 20ng Zn, 5ng Pb, 5ng Cd,10ng Ni, 10ng Co, 10ng Mn, 10ng Cr, 50ng Al)/mL : 量取第 4.1(1)(d)節 之鈉標準 液 (1 g Na/mL)50 mL,第 7.1(1)(c)節之 鎂標準液 (1 g Mg/mL)20 mL,第 8.1(1)(c)節之銅標準液 (1 g Cu/mL)10 mL,第 9.1(1)(c)節之鋅標準
19、液 (1 g Zn /mL)20 mL,第 10.1(1)(c)節之鉛標準液 (1 g Pb/mL)5 mL,第 11.1(1)(c)節之鎘標準液 (1 g Cd/mL)5 mL,第 12.1(1)(c)節之鎳標準液 (1 g Ni/mL)10 mL,第 13.1(1)(c)節之鈷標準液 (1 g Co/mL)10 mL,第 14.1(1)(c)節之錳標準液 (1 g Mn/mL)10 mL,第 15.1(1)(c)節之鉻標 準液 (1 g Cr/mL)10 mL,第 16.1(1)(c) 節之鋁標 準液 (1 g Al/mL)50 mL, 放入同個 1000 mL 之 量 瓶 , 加硝酸 1
20、 mL, 加標線。使用時調製之。 (2)裝置 (a) ICP 質譜分析儀 備考 4:亦可使用具備與感應耦合電漿同等性能者,作為離子源。 5:試樣 之噴霧,亦 可使用超音 波噴霧器或 具備同等性 能者。此時, 可將定量限向移位之程度 。 惟須意記憶效果 , 充分實施洗滌 。 (3)操作 (a)使 ICP 質譜分析儀為可操作之狀態 , 經由試樣導入部將試樣噴霧於感應耦 6 CNS 14640, K 61080 合電漿,讀取於鈉質量電荷數之指示值 (10)。 (b)使用實施 (a)之操作 , 作為空白試驗 (11)以修正 (a)之測定試樣所得指示值(10)。 (c)檢量線求得鈉濃度 (ng Na/L
21、),算出試樣之鈉濃度 (ng Na/L)。 檢量線:階段式量取鈉標準液 (50ng Na/mL)0.1 10 mL(12)之各種液量,移作 100 mL 之量瓶 , 加標線 。 對此等溶液實施 (a)之操作 , 讀取指示值 。 另外 , 對本操作所使用之實施 (a)之操作 , 作為空白試驗 , 讀取指示值 , 以修正各鈉標準液所得之指示值 。 製作鈉濃度 (ng Na/L)與指示值之關係線,作為檢量線。檢量線之製作,係在測定時實施。 註 (10):於待測元素質量荷電數之離子電流值或其比例值。 (11):在定量限值附近之定量,之測定值為不可忽視時,依述操作求得來裝置之空白試驗值,以修正測定試樣所
22、得之指示值。 依第 4.1(3)節之規定將濃縮濃縮倍數為約 5 倍及 10 倍後,分別實 施 (a)之操 作,求得指示 值。將所得 指示值標繪 在橫軸為濃縮倍 數 , 縱軸為 指示 值之圖 , 求得連 接此 兩點之 直線 的延長 線與縱軸相交之點 。 將相當於此縱軸交點 (橫軸之 0)之指示值 , 作為空白試驗值。 (12):擬同時定量鈉、鎂、銅、鋅、鉛、鎘、鎳、鈷、錳、鉻及鋁時,使用混合標準液 (50ng Na, 20ng Mg, 10ng Cu, 20ng Zn, 5ng Pb,5ng Cd, 10ng Ni, 10ng Co, 10ng Mn, 10ng Cr, 50ng Al)/mL,
23、以各個屬元素之試驗條件製作檢量線即可。 備考 6:若使用依照第 4.1(3)節之規定濃縮之試樣,則可降低定量限。 4.3 離子層析法:以濃縮管柱將試樣之鈉濃縮後,依離子層析法定量。 定量範圍: Na 50 1000ng/L(13),重現分析精密度:以變異係數表示,為 520%(13)。 註 (13):因裝置,測定條件而不同。 (1)試藥 (a) : CNS 3699 所規定之 A2 分析用或 A3 分析用,或者同等品質之其他精製。 實施空白試 驗,以確認 是否可使用 。試藥之調 製及操作時 使用之。 (b) 溶離液 : 溶離液 (14)係依裝置種類及填充於分離管柱之陽離子交換體種類而不同,故預
24、先以註 (17)之操作確認分離狀態。 (c) 再生液 : 再生液 (15)係用干擾抑制管 (suppressor)時使用之 , 惟因裝置種類及干擾抑制管種類而不同 。 預先與分離管柱組合而實施註 (17)之操作以確認再生液之性能。 (d) 鈉標準液 (5ng Na/mL):將第 4.1(1)(e)節之鈉標準液 (10ng Na/mL)量取 50 mL,移入 100 mL 之量瓶,加標線。使用時調製之。 (e) 陽離子混合標準液 (5ng Na, 10ng K)/mL : 量取第 4.1(1)(d)節之鈉標準 7 CNS 14640, K 61080 液 (1 g Na/mL)5mL 及第 5.
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