SJ 1778-1981 CK-100~600超高真空金属油扩散泵.试验方法.pdf
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1、中华人民第四业部,. .吨CK 100 ,. 800 ,山皿w方法空油扩散 准SJl778 81 : t. .,.J 本标准适用于SJ177681300毫米时,内径公差为土3毫米.测试罩法兰应符合被试泵法兰的密封连接要求.罩上,距法兰1/2内径高的平面上,装有两个虽180。对称分布的,轴线垂直罩壁向外的测量管接头,其中一个接超高真空测量规管,另一个备用,接头导管对空气的流导不小于25升/秒.接头与测规管的连接为SJ165680 (金属密封越南真空法兰结掬型式规定的铜垫密封连接.12.拥气速率测试罩如固4所示。为不锈钢制平顶园筒,内径与泵口直径相同,内径300毫米时,内径公差为土3毫米。高度为内
2、径的3倍。在罩内距法兰1/2罩高的平面上装有一薄隔板,隔板中心有一小孔,小孔直径为测试罩内径的测试罩反微词阀:350.400t; 且且直克t阙因1极魏试验装霆SJ1118 .81 共T页第S页2抽气速率试验装置上部(隔板以上),距隔板1/2罩内径高的平面上装有两个虽180。分布,轴线垂直罩壁向外的接头,其中一个接超高真空测量规管p 1;另一个接控制充气流量的微调阀。接微调阀的接头,沿接头轴线D 3极向罩内载有根供充气用的直角弯管,弯管坚直部分沿测试罩轴线向0.05-0.1倍.测试罩法兰应符合被试泵法兰的密封连接要求。共守黑第4页SJ1778 81 上,弯管出气口距罩1页1/2罩内径,弯管内径不
3、大于10毫米.下部(隔板以下)距法兰1/2罩内径高的平面上,装有两个试罩上部接头方向一致,轴线垂直罩壁向外的接头,其中一个接超高真空测量规管,另一个备用。E司图4拍气试厚连接测量规管的接头导管对空气的流导不小于25升/秒。接头与管的连接为5J1656 80 (金属密封超高真空法兰结掬型式规定的铜垫密封连接.13.极限压强和抽气速率试验装置用前级管路如图5所示.导管内径d不小于被试泵的出气口直径.测量前级压强的规管装在被试泵出气口附近,其开口平面与气流运动方向平行.调节前级压强的充气量规管的距离应大于2倍导管内径d.SJ1718 81 共7页第5页撞撞筑栩栩图5前级管14.测量极限压强和抽气速率
4、用的测量规管及超高真空计,测量范围应在5x 10- 1 X 10- 1 0托.15.调节抽气速率测试罩压强用的微调阀,对压强的调节范围为5X10-5, .5 X 10-9托.微调阀前装有空气过滤器.四、16,极限压强按图1规定的试验装置和图3规定的测试罩进行.泵的极限压强允许用盲板法兰进行叫嚣.17 .通过前级管路上的充气阀向泵内放入干燥空气1分钟,依次启动前级泵和被测泵,当压强低于5X 10-6托时,按第7条规定的温度范围对真空测量规管、测试罩(或盲板法兰、泵壳进行烘烤除气,在下连续烘烤12小时.18.停止烘烤后,当测试罩和泵壳温度降至15.25c时,测量泵的压强.按照规定要求对真空测量规管
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