SJ 1777-1981 CK-100~600超高真空金属油扩散泵.技术条件.pdf
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1、四CK一100600超高真空技术条件油扩吨-iz-JH咱BaE a 句tH,. . , . .aau ri-M 部标咽m本标准适用于5J177681 CK一100.600超高真空金属油扩散泵结构型式与参数系列规定的超高真空金属油扩散泵以下简称泵) -四、1.泵应在下歹列4条件下连摆可靠地工作F( 1 )环境温皮54Ot:巳z ( 2 )相对湿度不超过90%;( 3 )冷却水进水温度不超过25t:; ( 4 )油锅加热电源电压波动值不超过土5%.2.泵壳所有焊缝应光滑平菇,具有可靠的超高真空密封性能,气速率不大于10-3.5.P(托升/秒).式中吃为泵带挡板时的有效抽速;.P为泵的极3.泵的工作
2、介质为275硅油,在室温下的饱和蒸汽压应低于2XlO-10托.4.泵的进气口用密封圈应符合5J165980铜密封垫型式及尺寸和5J1660一80(铜丝密封圈型式及尺寸的规定:出气口用密封圈应合JB921一75(真空管路附件法兰用橡胶密封圈的规定.5.为了除气目的,对泵壳和真空测量规管进行烘埠,其最高烘超过以下规定:真空测量规管450 t:; 泵壳400 t: 6.油锅加热电炉和泵壳烘炜装置应有可靠的绝缘措施,对泵壳的绝电阻不小于5兆欧,并能耐50赫2000伏交流电压不被击穿.7.油锅加热电炉和泵壳烘炜装置应有良好的绝热保温措施.-九八-华八月-8来a页第2页5Jl177 81 8.用户在遵守保
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