GB T 16595-1996 晶片通用网格规范.pdf
《GB T 16595-1996 晶片通用网格规范.pdf》由会员分享,可在线阅读,更多相关《GB T 16595-1996 晶片通用网格规范.pdf(7页珍藏版)》请在麦多课文档分享上搜索。
1、ICS 29.045 H 21 华目目目11: -、GB/T 16595 1996 0:+ 三ESpecificatioo for a uoiversal wafer grid 1996-11-04发布1997-04-01 国家技术监督局发布一、f一一一一一一 中华人民共和国国家标准晶片通用网格规范GB/T 16595-1996 睡中国标准出版社出版北京复兴门外三旦河北街16号邮政编码,100045电话,68522112中国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷新华书店北京发行所发行各地新华书店经售版权专有不得翻印 开本880X1230 1/16 印张1/2字数10千字1997年4月第一版1997年4月第
2、一次印刷印数1-1500 晤书号,155066. 1-13652 标目308-35GB/T 16595-1996 前言本标准等效采用半导体设备和材料国际组织SEMIM17-90晶片Jj用网格规范),结合我国的实际情况制定的,用于定量描述圆形半导体晶片上非均匀分布的表面缺陷。本标准适用于定量GB/T12964、GB/T14139中品片的表面缺陷.在引用标准中,SEMIM17中引用的凡已转化成我国标准的国外标准,都引用现行的我国标准。与本标准配套的规范有GB/T16596-1996确定晶片坐标系规范。本标准由中国有色金属工业总公司提出。本标准由中国有色金属工业总公司标准计量研究所归口。本标准由中国
3、有色金属工业总公司标准计量研究所负责起草.本标准主要起草人s吴福立。本标准1996年11月首次发布。中华人民共和国国家标准晶片用网格规吧. 手吕Specification for a universal wafer grid GB/T 16595-1996 1. 1 本标准规定了可用于定量描述公称圆形半导体晶片表面缺陷的网格图形。网格规定包含1000个面积近似相等的网格单元,每个网格单元相当于受检表面固定优质区总面积的0.1%。根据晶片表面上有缺陷的面积百分比(或有效的面积百分比),可定量其非均匀分布的表面缺陷例如,滑移。1. 2 把透明的网格覆盖到品片缺陷图形上或把被观测的晶片缺陷图形映到网
4、格上,定量有缺陷的面积,计算含有缺陷的网格单元的数量。该单元数除以10相当于有缺陷面积的百分比.也可将该网格叠加在CRT显示器、照片或计算机绘制的图上。使用时,网格的直径必须与所覆盖的晶片图形或图像尺寸成比例.1. 3 网格以晶片中心来定位。根据GB/T12964或SEMIMl规定的品片公称直径,使用固定优质区的概念。1.4 外延层上滑移和其他非均匀分布的缺陷,最大允许值已在GB/T14139、SEMIM2和SEMIMll 中规定,按照GB/T6624、GB/T14142和YS/T209进行观测。2 引用标准下列标准所包含的条文,通过在本规范中引用而构成为本规范的条文。本规范出版时,所示版本均
5、为有效.所有标准都会被修订,使用本规范的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。2.1 我国标准GB/T 1554 1995 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法GB/T 6624-1995 硅抛光片表面质量目检验方法GB/T 12964-1991 硅单晶抛光片GB/T 14139-93 硅单晶外延片GB/T 14142-93 硅外延层晶体完整性检验方法GB/T 14264-93 半导体材料术语YS/T 209-94 硅材料原生缺陷图谱2.2 SEMI标准SEMI MI-94 硅单晶抛光片规范SEMI M2-94 硅单晶外延片规范SEMI Ml1-94 先进电路用硅单品外延片规范3 定义腐蚀法本标
6、准中使用的定义分别由GB/T14264和SEMIMl提供。国家技术监督局1996-11-04批准1997-04-01实施1 , L GB/T 16595-1996 4 网格单元布局4. 1 网格单元平面图4. 1. 1 规定了两种网格s一种用于不带主参考面的晶片(如品片的主基准面是一个缺口),另一种用于带主参考面的品片.网格由18个同心圆分割,根据每个圆的直径确定所包含的径向分割单元数,由各个圆环面积确定同心圆的相对直径,用网格外径乘以对应的相对直径,可求出任一圆的实际直径(见表1)。表1网格单元平面图圆序号分割单元数夹角分割单元总数所包含面积比相对直径CO) N ,囔01 4 90.0 4
- 1.请仔细阅读文档,确保文档完整性,对于不预览、不比对内容而直接下载带来的问题本站不予受理。
- 2.下载的文档,不会出现我们的网址水印。
- 3、该文档所得收入(下载+内容+预览)归上传者、原创作者;如果您是本文档原作者,请点此认领!既往收益都归您。
下载文档到电脑,查找使用更方便
5000 积分 0人已下载
下载 | 加入VIP,交流精品资源 |
- 配套讲稿:
如PPT文件的首页显示word图标,表示该PPT已包含配套word讲稿。双击word图标可打开word文档。
- 特殊限制:
部分文档作品中含有的国旗、国徽等图片,仅作为作品整体效果示例展示,禁止商用。设计者仅对作品中独创性部分享有著作权。
- 关 键 词:
- GB 16595 1996 晶片 通用 网格 规范