JB T 5629-1991 半导体器件烧结炉 能耗分等.pdf
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1、中华人民共和国机械行业标准JBjT 5629-91 半导体器件烧结炉能耗分等1 主题内容与适用范围本标准规定了半导体器件烧结炉能耗分等。本标准适用于电子工业企业半导体器件容量大于或等于20kW的烧结炉以下简称烧结炉),单台或炉群。2 烧结炉能耗按可比单耗分一等、二等、三等三个等级。达不到三等指标的属等外。S 烧结炉能耗分等见表1。一等表1可比单耗指标kW , h/万只二等等一一一190 190-300 300-450 4 可比单耗按统计期内每万只合格半导件器件折合产量计算的平均单耗,称为可比单耗。按式( 1 )计算zbK =艺(1 ) 式中,bK-一可比单耗,kW.hj万只Fw-统计期内该炉台
2、、群总耗电量,kW.hJ Gz一一统计期内该炉台、群合格产品总折合产量,万只。4.1 统计期内总耗电量应包括炉子的升温、工件加热、保温、待料及炉子本体辅助设备等耗电。S 折合产量考虑产品工艺及外形尺寸不同的影响,经折算的合格产品产量,称为折合产量。其总折合产量按式(2 )计算sGz = GiKliK2j. (2) 式中,Gj-一统计期内某种合格产品产量,万只sKli-该种产品的工艺系数见表2)J 表2二极管及可控硅霉件;争:夺、片二极管项目铁封玻璃| 大中小功率! 陶窑5.玻璃超高频错管硅管KI 1 1 , 20 1 , 50 0 , 75 3 ,00 0 , 75 0 ,93 机械电子工业部
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