GB 50073-2001 洁净厂房设计规范.pdf
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1、中华人民共和国国家标准士口、WJl净厂房设计规范CoJc for design of clean rm GIl 50073-2001 主编部门:i I华人民共和国信息产收部批准古I、J:中华人民共和囚建设部施行口i词:2 0 0 2年1JJ 1 ,1 3-2-1 关寸发布田家标准古净)房设计规范的通知建标201111231 jc 根据1,家蚕X七J发.:(-)L九:年1程建设6.6.-+、(J.().6,7.2.2、7.3.1、7.1. 2、7.3.3(1、4i叫家坏;在制l、传iJlQJ的i且讪,.(i t灶台fJ 992 款7.4.1、7.4.2、7.4.3,7.4.4、7,4.5(2款)
2、、4901j)的坦求,内iILUJO世部会liiH某部门共问修将I. I、B.1.3、8.1.5,8,1.9(2、3款)、H.4. 1、i(JJ 1房设I建造有l运i r ir,实际怕况.进行了!、泛的调奇研究和必要的测试 .1斗吁认真心、纣; 占J付一房设lI规范甘73-,84执行111;l;ll来的经验.等效采用国际标准ISOl4644I iA净学垃相关受控环境,第部分节气沾咛v度窍生JO的1312争度等级f泛征求了全间有关单位的意地叮最),ilJ我部会l口1有关部门审查定稿v丰规范片。草和4个附录Jt主;内容有h总WtJ 丰ifi、空气洁净11等级、自、体设t、建筑、空气净化、约在州氓、
3、气体管道、电气等uf、规范(t执iJ过相巾希望各行、v各啦!肯结什lW1:民.认总结纶验,如发Jl高变修改和补充之j2-2 9.2.6 ( 1款)、9.2.7.9.3.=- 9.3.4. 9.3 , 5 , 9.3.(,. 9.4.1、9.4.3、9.5.2、9.5.3、。.5.4. 9.5.5. 9.5,6、9.5.7为强制性统文,必须严格执行原国家标捕洁净!房改f规范)iGl甘73-84)同时废止J丰规范由中华人民共和同信息产、v部负责管理,中国电了工程设计院负责具体解释作、注1过市HJ、J在定额研究所细织中国I划ili版社出版发fIIJ 、F1 中华人民共和国建设部二00年I.)j I川
4、处.i古将J总见和111关资料寄交北京市悔it1;0( )j寿路27月巾|叫电fl程设计院沽净厂房设计规范管理址1(邮编100840 传真。10- 68217S42 E.mail w、时ceed欧阳旺Ii旧旧.以供今斤修订l讨泰号U本规范主编单位、参编单仰和主要起草人:主编单位,巾国电+.1程设川院参编单位.信息产业部第十一设计研究院中|叫石油化工集团上海医药UVi士对院中国建筑科学树究院主要起草人:如l存宏陈霖新张利群王唯因缪德导中郝锡泽赵海俞渭雄周春海晃阳贺继们的l在肖红梅樊励冉i罩易啊!黄德明郭兴周冷捷敏冯佩明目、址、lIU324千二illooto lte j Z 4 1、fU)fi;M
5、ff吓级eui i -32一气巳i丰i1:i I斗ZRI ;1; J l;.t,i l.,liA-和l总lI(liIi Ji飞2-51 . .: I1-1(1) Ii );-扫HJ: I引ft协J,J飞2-54飞人lIii协f七扣忡忡斗(r化3-2-5 3 -:2。4 、I . .1 叫11:rJ飞机斗吗;:(弘于】叶JttfjL .1-2-(J 3 -2-6 股用:L. 3-2-(, 92附-kfll1l的飞2(,气l气1千l川装修.-. 3 2-7 62,;、Lih化.,.3-2一7(l. 1阳i见L飞2-7h l l山/fti、11、X控制 马2-70气irii流JI_!冉iliNtl
6、.飞2-70斗1、JMt处用. 3-2 抖。5:RH1I且川、防jn. . . . 3-2-8 (J . 风fT阳附lT- 3 2 比7 ( *打I;K. 3-2-8 7. 1 脚川在- 1-2 8 哨,/.)、气F缸、-177 车准拍拍12N 32将7.-+ ml;/j约在手U:k*设备3- :2 -9 H 气1牛仔j且.,. 3-2-Y 何l愤网;E-129 抖。2管道材料1111问fJ . _. :l. 2-Y 抖3科逍边援, e !eee-e 1-2 9 8斗安宇:技术。. 飞2-l)y 1也元(. 3-2一109. J 配电川- 3 2 l( 9.2 ,起明. . . 3-2-1(1
7、 q. 1 通伯. . 3-2一101 .4 fI#J控制.,3- 2-IU 吵气的包防护政接地. 3-2- () 附_,Jtj i占净厂房1:/1作|闪的火灾危阶I分类举例3-:2 附录B净化常调系统设I对维护住用的要求. . 牛电-3 2 川附录Ci古l争京或f占净Jdy人1,i_ (1近代沾净!x.;t Ilj按注:程序进行净化的房间明2. O. 5 物剌净此同室rn01n fr cleantn民m川eriAl物料。进入洁净识主前接;正程序进行净化的启间,2, 0.6 fl? 1rtiud出E.(HI给屯的和T尺j测且仪响应吁最T被刷粒子等级的J球体直汗。叫高傲粒T- j数、泥散穿1仪黯
8、采用吗醺光学直挂2. O. 7 越洋和airortlt. p;Htide 片112气活净度分级的气,气中悬浮粒子尺寸苗圃fO. 1 r ;1 rn嗣同体和l液体帖子2. O. 8 蚓微料rut nlbnc prtick H衍可且自f小下O.lllll的位L2.0.9 懒树rlIlar()partlCl 具;j坷世自径太flm的4脏手h2. 0.10 和径怜(1)pfH1 iclc町而且lobl111)1l粒子粒径频率分布利i觑阳分衔,是ti1i手的民散,2. O. 11 俞寸、浓度pl!rtidl rn T c(ntraliO!I 4户命体制气中悬浮粒于的颗费支2.0.12 18净!爱ceAn
9、lines爪1单(也体蒋lf气J在轮转#由于的数量来浅分的泊严争得度2. O. U 气流流尽J臼ITpatt俨对书内亏,气的时L动1FZE刷什布址忖俞理设计-2.11.14 t(1.rJ讲tUIlldirtocti(JIl川IluflowHt单Ji 111恰平1tr难线并H横断函t风血致的气流g2.0.15 可l-(it在向流、,02rt 川juIlidinlllOnll lrflow j J水平而iifU(的唯IJ流2. !)_ 16 水平咿川流hori.mnlill 1I川hrectionalairfluw 叮*f-幽平门的单1;流。2.0口11向榄fl() !l-U nidlrcctin
10、孔airfiow N干、符市讯扣Jt吭,U义的Ul2.0.18 t能古由ml:u.d川rf!o、向t和川t:11向流拙击的气流44 2.0.19 fM争1作岖dCi!n workl吨盯止指沽净亨内离地向高度(J.H-l. 5m(除I特咪粤求外)自J1/ 城回2.0.20 字气时;淋字ilr c. h()w.-r 利111高速d,rpYL流吹揣井消除i芷人梢ft宰人目和IIU耐着粒子的小字。2.0.21 气问j布10( k 世n征;,1;(1平lP,入,阿i阳伞钊战邻亨?iJ段气流却n克拉i例的说茸的理时qi1. 2. O. 22 的路前pllS:; hox (Lii;/,争字陆摘设凹的传递物料
11、和1捕民的11门向恻装1,f、自E叫时开府的M扇2. 0.23 的净l作台defticlPncy puticuli!l t: air fi!ter) 在领走凤酷下对校任大于等于.3m柿子的铺集效率在99川t;J._L足气流阻力在250PaU f的生气过油器由2.0.30 超岗费支tE气过滤器飞JLP:(ultra low阳Jltt r川川n;J. lr fi trr) 在额在风量下,对粒硅0.l. 0, 2,fll粒子的捕集效字在忖999-at-及气流阻力在2(1010以卡的?气过滤器n2.0.31 吨水punty watcr 对电解质杂质含量(常口电阻斗良表征和非电解质杂盾(生11微挝、有饥
12、物、细菌和榕解与体等含章均有要求的水也2. O. 32 陆静电环绕ESD (ontrolled environmenl 能防止静电危害的特定环境在边环绕中小易产生静电,静电产生后昂于捐散或消除,静电噪声难出传播2. O. 33 表面电阻!iurface resistance 在材梅的表而t两咆锐问所加在lJIt电压与流过南极间的艳志也流之商。1-.0.34体积电阳明lumert旦LHanetA材料的相对罔表团放胃的网电植间所加在俯A电压与流过两电极间的稳电摊主商,该l也1M习、包括前材料表面的电流2.0, 35 表面电阻率surfare resistivity 在材料表面匪的直由电场强度与幢i
13、电斑战衔I宜之离。且量晴为Il/2. O. 36 体担电阳率vnme resitivity 在材料内层的盲流电场强度勺瞌忐电流密度之阳,J:最刑为。.cmo 2.0.37 专用消防口ire-iring access 调防人员J;失火而进入建筑物的专用人U斗rH-!封闭,使用时时j消防人员从在外打斤,2, O. 38 r!净时间cl f;:nlflrss v(covtry har:I(!tT川i古净京被污乡去后,净化空调Jf-辑开始运行至恢直到稳定的规、岖内1JrJ争I可级的时间2. tJ, .9 斗鸭山即写hlGBJ16的规定设置。般规定51t fJr净r-riJ的佳筑平刷阳?问布局ft具有过
14、气的灵活忡ctI卒?JT问门末m犬-;:fuJ及k跨度位同!不官采用内埔承重体系回5. 1. 2 洁净r-JJ-;-国护站构的材料庄细吨满且i扳回陆热、防火、阶湘、少产仨等赏我5. 1. 3 扩1净厂由主体暗构的耐久性也可在内装备利装修水1栩协调I1阶共有防火、控制削度变如何不均生11l(lIf f4-: t挂t,厂房食f3缝4、宜穿腿洁净托吁实1.4 _l;. I才风货和l咒匕怦结隋敷时守耐性字号技术夹龙:技水夹迫也地向咛。军手越楼臣的啄向臂辑:瓦晴败时,吁设胃技术哇fl其形式、仪l和构造山满足以il!、营蝇的亚运装、价修和防火要求5.I,5,(.JJ在打肘1产和洁净叶户的擂台怜!的,其中白
15、布陆和构造处月,) J,i越免人流、物流魁帕夜防火方而对!占1争牛产带来不幸1的影响5 , 2 防火和疏散5. I 哩声控制4.4. I 洁净重内的暖声级(主态I,非单向流洁净室不庄大亨州dll(川I尊向梳理合iJIi洁净鑫不应大于65dJ!(川,442 14l111川、(,盹JI圳l向阳!例山水HI似圳和lfhJL缀.得顿馆向饰怕小11人j在1.I_: 1的观屯俨表-1. _ 2 噪声颂词酷的限制值空态)叶l物r11. I , ; f , ,:, 十川!仁:川、户/J 1:, r 1. t随.11:、1l. 山斗F川J炖, 咛l二I;. 、I:, C_ I .1 1主Li监生一一三1王三4工
16、五二二乙:与i4.4.3 洁净房的平剖面设计应考虑噪声控制要求。洁净室的罔护结构庄具高良好的南声性能.并使各部分隔商量栩撞近。4 , 4. 洁净章内的各种设备国应;l用低暖声产品。对于辐射噪声值超过洁净重允件值的设备l应设置专用俑声设施(阻隔声阁、隅声罩等)。-. 4. I(tft I系吮噜芦走ili :J: ft ir的时.lU民收闹yU、淌l、陆你可机制ff?他;lf1fY币内的刊l礼系吭除i攸州风钊川进口陆吨股i才,4.4.6 i和比J仙系?先叼根细宇内f-it u提,1,皱哽斗之.l管内风血11!. F 91J 吼:.i;川(i M41为111mS. f:川川1I (i业I吨轩1-J1
17、 刊111S (f Jr, , 11 ,l川的主叫特),J:-,ms 2 时奇微摄控制要求的洁净厂房设计时应考虑在结构选型、隔罐罐设置、擎扳与地面&lJi帽连接处,应拨,由锺植刷要求设计。洁净室与周围辅助性自房内有强烈振动的设备E其连接管道.应采取主动用领措施。3 应确定洁净房内外各类撮源时洁净房精密设备、精密仪黯仪襄位置处的鲸合振动影响,以决定是否采取被动隔摄播施。4.5.2 精帘设备精帘仪器仪袤的fi忡,震动的应由牛产I艺和时备:L!总imij且似吁吁户!且和设备制造内部门难以提供容许标功的H.t J在削伽J:ii规植川,RJ22执行!4,5飞衍珩i!:怕帘伐异非仪表的被动阳铁设计山具备F
18、矶)没何微振控制,., -, 5 3 , 4 , 5 , 1 问l四纷dW,对Jt纺什a;响的保动数据设备仪器仪丧的咱可、规棉反轮廓Mf回民衍仪据仪t;的质剧院、质f扫雪及,Q献惯件知。没衍、(,拙仪k的民户:外哇崎i阳、附属装费、管iJll守胃没) 1 L向fL削1内的尚她(业尚在生创灿数)产气过滤器(1-问I1. . .,(-(今何liLi6 lqAt L忡川机,),1议111 J浓郁1也圳J叫进fr恰漏.安惧M产阶1:;, )J )、I,_(,ij怡、IT, 以1怡漏+11山挨。6_ 4. 1 叫较大mlit1山;(1,1- Ji.: f!J (1ft -:;叫寿忱的新风川集中注i 军墙
19、壁、楼板和顶棚时应世套管,管道导们在管占间(,if.采取T稚的密纣措施固E法设置套臂的部位也应采取有效的密剖捎施7.2给水7.2. 1 沾净J-m内的给水系统阿/根据华产生活和消肺等仔项用水M水血、水i1;!,7_k臣和水l!的要求分别吐量管i茧的性iI附阳有余量叮U适用I艺变动。1. 2. 2 木质要求锁商的蝇水供水管道应采用描环供水方式,并应符合HY规定I 循环酣加水量为使周水量的30%-100阳回2 平曾流速为1.S-3m/s 3 不循环的支管长度应尽量绍,其长度不大于6倍管径。4 供水干臂上应设有清ilt口。5 曾遭系统各组成部分必须曹封,不得有涉气现象。7.2.3 膏材迫拌hi符古下
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