KS D ISO 15470-2005 Surface chemical analysis－X-ray photoelectron spectroscopy－Description of selected instrumental performance parameters 《表面化学分析 X射线光电光谱法 选定的仪器性能参数的描述》.pdf

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1、 KSKSKSKS KS D ISO 15470SKSKSKS KSKSKS SKSKS KSKS SKS KS X KS D ISO 15470： 2005 2005 12 28 D ISO 15470： 2005 ( ) ( ) ( ) ： ： 2005 12 28 2005 1007 ： ： ( ) ( 02 509 72925) . 7 5 , . ICS 71.040.40 KS D ISO 15470：2005 X Surface chemical analysis X-ray photoelectron spectroscopy Description of selected i

2、nstrumental performance parameters 2004 ISO 15470 Surface chemical analysis X-ray photoelectron spectroscopy Description of selected instrumental performance parameters . 1. X . 2. . , . KS D ISO 18115 3. KS D ISO 18115 . 4. FWHM (full width at half maximum) XPS X 5. 5.1 , ( ) . 5.2 . , , . 5.3 . 1

3、. 5.4 X 5.4.1 X . X . 5.4.2 X X . , . a) D ISO 15470：2005 b) c) 5.4.3 5.4.2 X . , 5.4.2 , . . 5.5 Ag 3d5/2 5 % Ag 3d5/2 (FWHM) . Ag 3d5/2 FWHM 5.4.2 . 3eV . , . 10 1 . 5.6 Cu 2p3/2 . . Ag 3d Cu 2p Au 4f5/2 3/2 7/2 . Cu 2p Au 4f3/2 7/2 . X KS D ISO 15472 X . 5.7 ( 2 %) . 5.8 5.4.2 . . 5.9 (imaging) 5

4、.9.1 . 5.9.2, 5.9.3, 5.9.4 . 5.9.2 1 , 30 % . (line trace) FWHM . , . 50 100 % 50 % . 1. 30 % . 2. FWHM 12 88 % . . 3. . . 5.9.3 2 , 2 , 2 D ISO 15470：2005 . 90 , . , 90 . , 12 88 % . 1. FWHM 12 88 % . 2. , . 3. , 64 % . 4. . . 5.9.4 3 5 , . 90 . 12 88 % . 1. , FWHM 12 88 % . 2. , 1 . 5.10 XPS . , 5

5、.4.2 X ( ) C 1s . 5.11 XPS , . . 5.12 12 , 24 . . 3 X 2006 1 23 135513 7017 (02)60094567 (02)600948878 http:/ 607822 1 11( 10) (051)5571239 Fax. (051)557 0430 702012 2 1741( 3 ) (053)38415624 Fax. (053)384 1565 790 380 627( ) (054)2789611 Fax. (054)278 9662 406130 994( 16) (032)26002607 Fax. (032)26

6、0 0268 443766 906 5( 9 ) (031)25970009 Fax. (031)259 7010 200041 1 9( 304) (033)252 9423, 254 9423 Fax. (033)256 9423 361802 1508 1( 6 ) (043)23624513 Fax. (043)236 2454 305343 2314( 5 ) (042)86423013 Fax. (042)864 2304 330 816 43 5( 1204 ) (041)58905003 Fax. (041)589 0504 561841 1 337 2( 7 ) (063)2

7、1422347 Fax. (063)214 2238 506301 62115( 4 ) (062)95314357 Fax. (062)953 1438 641210 298 7 ( 6 ) (055)2121212 Fax. (055)212 1213 683804 7582( 2 ) (052)28966013 Fax. (052)289 6604 425020 541 3( 4 ) (031)48761914 Fax. (031)487 6195 730350 9230( 8 ) (054)4736954 Fax. (054)473 6955 480848 2 487 6( 3 ) (031)82981824 Fax. (031)8298185 KS D ISO 15470：2005 KSKSKSSKSKS KSKS SKS KSKS SKSKS KSKSKSSurface chemical analysisX ray photoelectron spectroscopyDescription of selected instrumental performance parameters ICS 71.040.40 KOREAN STANDARDS ASSOCIATION