GB T 13979-2008 质谱检漏仪.pdf

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1、Ics 7104010N 60 a亘中华人民共和国国家标准GBT 1 3979-2008代替GBT 13979 19922008-07-28发布质谱检漏仪Mass spectrometer leak detector200902-01实施宰瞀鹳紫瓣訾胖瞥鐾发布中国国家标准化管理委员会仪1”GBT 13979-2008前言1范围2规范性引用文件3要求4试验方法5检验规则“6标志、包装、运输、贮存7质量保证目 次1112456刖 罱GBT 13979-2008本标准代替GBT 13979-1992氦质谱检漏仪。与GBT 13979-1992相比较，本标准的主要变化如下：标准名称“氦质谱检漏仪”更改

2、为“质谱检漏仪”；增加了前言；修改了“正常工作条件”中的“大气压力”；细分了绝缘电阻指标；提高了绝缘强度指标；补充了用分子泵的质谱检漏仪达到最佳工作压力的时问。本标准由中国机械工业联合会提出。本标准由全国工业过程测量和控制标准化技术委员会分析仪器分技术委员会(SACTC 124)归口。本标准起草单位：成都仪器厂、北京中科科仪技术发展有限责任公司、中国航天科技集团公司第五研究院总装与环境工程部、北京分析仪器研究所。本标准主要起草人：鞠世春、余永惠、李智、同荣鑫、张函迅。本标准所代替标准的历次版本发布情况为：GBT 13979-1992。质谱检漏仪GBT 13979-20081范围本标准规定了质谱

3、检漏仪(以下简称检漏仪)的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量保证等。本标准适用于以质谱分析法作为检测手段的检漏仪。2规范性引用文件下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。GBT 191 2008包装储运图示标志(ISO 780：1997，MOD)GBT 2829 2002周期检验计数抽样程序及表(适用于对过程稳定性的检验)GB 479312007测量、控制和实验室

4、用电气设备的安全要求第1部分：通用要求(1EC 61010-1：2001，IDT)GBT 11606 2007分析仪器环境试验方法GBT 15464 1995仪器仪表包装通用技术条件3要求31正常工作条件检漏仪工作条件应满足：a)温度：535；b)相对湿度：80；c)供电电源：电压(38038)V或(22022)V；频率(5005)Hz；d)大气压力：86 kPa106 kPa；e) 附近无强电磁场，无剧烈震动，无腐蚀性气体。32外观检漏仪的外观应满足：a)表面涂覆层应色泽均匀平整，无明显损伤、尖角、斑痕、脱落、起泡、龟裂和锈蚀；b)检漏仪上的开关、旋钮和调节机构应安装牢固、操作灵活。33安全

5、要求检漏仪应满足安全要求如下：a)绝缘电阻在正常工作条件下，检漏仪的绝缘电阻应大于20 MQ。b)绝缘强度在正常工作条件下，检漏仪应能承受1 500 V交流有效值连续l rain的电压试验，不应出现飞弧和击穿现象。c)泄漏电流在正常工作条件下，检漏仪的泄漏电流应不大于35 mA。1GBT 13979-200834检漏仪的错、缺相保护功能使用三相电源的检漏仪应当有错、缺相保护功能。35检漏仪漏率显示系统误差检漏仪漏率显示系统的误差应不超过土5。36检漏仪漏率音响报警功能检漏仪应有被检工件漏率音响报警功能。37检漏仪测试口压力测量和控制电路带有粗抽泵的检漏仪，在检漏口应当有压力指示仪表，压力指示仪

6、表误差应符合制造厂标准，并应具有在制造厂规定的压力范围内从粗抽自动(或手动)切换到检漏的功能。38检漏仪质谱室灯丝保护电路检漏仪中和质谱室相连的高真空抽气系统应当有压力指示仪表和质谱室灯丝保护电路，其参数范围应符合制造厂的规定。39达到检漏仪最佳工作压力的时间391使用油扩散泵的检漏仪，其高真空系统开机后压力达到制造厂规定的最佳工作压力的时间：a)加液氮的检漏仪应不大于05 h；b)不加液氮的检漏仪应不大于2 h。392使用分子泵的检漏仪，其高真空系统开机后压力达到制造厂规定的最佳工作压力的时间应不大于10min。310检漏仪的最小可检漏率用常规检漏方式的检漏仪在全抽速条件下，检漏仪的最小可检

7、漏率应不大于2 X 10。1 Pam3S_1(对空气)；用逆扩散检漏方式的检漏仪，检漏仪的最小可检漏率应不大于21010Pam3s“(对空气)。31 1 电源电压变化对检漏仪最小可检漏率的影响当电源电压由额定值变化10时，检漏仪的最小可检漏率仍应达到310的要求。312检漏仪的时间常数检漏仪的清除时间或响应时间应不大于3 S。313检漏仪的自身漏隙检漏仪的高真空系统，不应有用自身喷氦就可以检出的漏隙存在。314检漏仪的成套性按制造厂规定。315检漏仪运输、运输贮存条件检漏仪在运输包装状态下，按GBT 11606 2007 24试验项目中的交变湿热试验、低温贮存试验，高温贮存试验和跌落试验的项目

8、进行试验。其中高温55；低温一40；交变湿热：相对湿度95、温度40；倾斜跌落高度250 1Tim。试验完成后，将检漏仪置于正常工作条件下进行检验，应能正常工作。4试验方法41试验条件本试验方法应在31所规定条件下进行。42外观用目视和手感检查。43安全试验431绝缘电阻设备：500 V的绝缘电阻表。2GBT 13979-2008仪器的电源插头不接人电网，电源开关置于接通位置，用绝缘电阻表在电源插头相、中联线与地线之间施加500 V直流试验电压，稳定5 S后测绝缘电阻。432绝缘强度设备：耐电压测试仪；耐电压测试仪产生的试验电压应为正弦波形，其失真系数不大于5，频率为50 Hz士25 Hz。仪

9、器的电源插头不接入电网，电源开关置于接通位置，将耐电压测试仪的击穿电流置于5 mA档，在电源插头相、中联线与地线之间施加试验电压，试验电压应在5 s10 S内逐渐上升到1 500 V，并保持1 rain，然后在5 s10 S内平稳下降到零。433泄漏电流设备：泄漏电流测量仪。仪器置于绝缘工作台上，其电源插头与泄漏电流测量仪相联，泄漏电流测量仪接入电网并通电，仪器电源开关置于接通位置，将电压调至额定值的11倍测量，记录电流值；变换电源极性，重复测量，记录电流值，取最大值。44榆漏仪的错、缺相保护功能使三相电源发生错相及缺相，检查检漏仪保护电路的功能。45检漏仪漏率显示系统误差在放大器的校准点输入

10、适当的电压，检验在同一量程内及不同量程间输出指示值误差。误差按公式(1)计算：误差一(显示值一校准值)校准值100(1)46漏率音响报警功能调节报警点设置装置，由一端到另一端，用校准电压改变显示系统输出电压，检查漏率音响报警电路的功能和报警点的设定范围。47检漏仪测试口压力测量和控制电路在检漏仪测试口接经检定的压力计，校对检漏仪中的压力计，其参数范围应符合在制造厂规定的压力范围内从粗抽自动(或手动)切换到检漏的功能。例如，设定切换点为10 Pa，测试口粗抽至10 Pa时，检漏阀应自动打开。48检漏仪质谱室灯丝保护功能调节检漏仪的节流阀或抽速阀(或在测试口安装针阀)，以改变质谱室内的压力，检查灯

11、丝保护电路的功能。49达到最佳工作压力的时间试验试验前检漏仪已抽到最佳工作压力，然后停机8 h以上，但未超过24 h，系统保持在低压状态。检漏仪开机后，记下时问，按正常操作程序运行，测高真空系统压力达到制造厂规定值的时间。410最小可检漏率将校准漏孔装在检漏仪的测试口，并将检漏仪经调压器接人电源，用适当的电压表监视电源接人质谱室供电的一相，把电源电压调至220 V。当检漏仪质谱室已处于制造厂规定的最佳工作压力时，调好零位，调到氦峰，在显示系统的输出端接上记录装置。a)测信号：打开校准漏孔阀，3 rain后读取此时信号值叫，关闭漏孔阀，1 min后读取本底值U：，则由该漏孔产生的信号值u，为：U

12、，一u：一u。注：选择校准漏孔，使U。值不小于最小可检信号的50倍。b)测噪声：关闭漏孔阀3 min后，用记录装置记录整机噪声曲线20 min，然后依时间等分为20段，做出其近似直线。测定该曲线上相对于近似直线的最大绝对偏差，把20个最大偏差的平均值乘以3GBT 13979-20082，称之为噪声u：。注：在测量过程中，偶尔出现一次大的脉冲可以略去不计。c)测漂移：在上述噪声曲线的近似直线上，测定某1 rain输出漂移有最大斜率的漂移值为u：，如果该最大斜率小于最灵敏档满刻度的2，则以20 rain内的总漂移除以20作为漂移值醒。d)最小可检漏率按公式(2)计算：r rQo。一XQ。(2)U

13、o式中：Qk。最小可检漏率，单位为帕立方米每秒(Pam_s_1)；Qo为校准漏孔的漏率(注意温度系数的修正)，单位为帕立方米每秒(Pam3S_1)；U。校准漏孔所产生的信号，单位为毫伏(mV)；u。关漏孔阀时检漏仪的噪声和漂移绝对值之和，单位为毫伏(mV)。U。一I u：l+l u_l，如u。值小于检漏仪最灵敏档满刻度值的2，则以最灵敏档满刻度值的2为u。值，代入上式计算。411 电源电压变化对检漏仪最小可检漏率的影响改变电源电压为额定值的士10，重复410的测量，获得的两个值和410所得的值，取三值中最大的一个作为检漏仪的最小可检漏率。412检漏仪的时间常数试验检漏仪调整到正常运行状态，在检

14、漏仪测试口装上校准漏孔，当漏孔输出的氦在显示系统上建立信号后。a)算出37的信号值，突然关闭检漏阀(或漏孔阀)，用秒表测出信号降到原值37时所需的时间为清除时间；b)算出63的信号值，关闭漏孔阀，待指示稳定后，突然打开漏孔阀，用秒表测出信号上升到原值63时所需的时间为响应时间。413检漏仪自身漏隙检漏仪调整到处于正常运行状态，用喷氦法对检漏仪自身的高真空系统进行检漏。414成套性目视检查。415运输、运输贮存检漏仪在包装状态下，按GBT 11606-2007中第8章、第15章、第16章、第17章的方法进行。5检验规则51每台检漏仪须经制造厂的检验部门检验合格并签发产品质量合格证才能出厂。52检

15、验分类检漏仪的检验分出厂检验和型式检验。521出厂检验检漏仪应逐台做出厂检验，检验项目按本标准第32311、313、314进行。522型式检验5221产品在下列情况之一时，应按32315要求进行型式检验。a) 新检漏仪和老检漏仪转厂生产试制定型鉴定；b)正式生产后，如结构、材料、工艺有较大改变，可能影响检漏仪性能时；c)正常生产时，定期或积累一定产量后，应周期进行一次检验；4GBT 13979-2008d) 产品长期停产后，恢复生产时；e) 出厂检验结果与上次型式检验有较大差异时；f) 国家质量监督机构提出进行型式检验要求时。5222型式检验的样品应从出厂检验合格的批中随机抽取。5223型式检

16、验应按GBT 2829-2002的规定进行，采用一次抽样方案。检漏仪的检验项目、不合格分类、不合格质量水平(RQL)、判别水平(DL)按表1规定进行。批质量以每百单位检漏仪不合格数表示。表1不合格 检验项目及章条 不合格 判别 抽样方案序号 要求 试验方 质量水平 水平 样品量 判定数组分类项 目 章条 法章条 (RQL) (DL)(n) (Ac，Re)1 A 安全要求 33 43 30 (0，1)2 检漏仪的错、缺相保护功能 34 443 检漏仪漏率显示系统误差 35 454 检漏仪漏率音响报警功能 36 465 检漏仪测试口压力测量和控制电路 37 476 检漏仪质谱室灯丝保护功能 38

17、487 达到最佳工作压力的时间 39 49B 65 (1，2)I 38 检漏仪的最小可检漏率 3 lO 410电源电压变化对检漏仪最小可检漏率9 3 11 411的影响10 检漏仪的时间常数 312 4121l 检漏仪的自身漏隙 313 41312 运输、运输贮存 315 41513 检漏仪外观 32 42C 100 (2，3)14 检漏仪成套性 314 4145224若型式检验不合格，应分析原因找出问题并落实措施，重新进行型式检验。若再次型式检验不合格，则应停产整顿，检漏仪停止出厂，待问题解决，型式检验合格后方可恢复出厂检验。5225若型式检验合格，经出厂检验合格的批，作为合格品可以出厂或入

18、库。若入库超过12个月再出厂，则应重新进行出厂检验。6标志、包装、运输、贮存61标志611检漏仪标志检漏仪应有如下标志：a)制造厂名称；b)检漏仪型号；c)检漏仪名称；d)商标e)制造日期、检漏仪编号；f)GB 47931 2007中513“电源”规定的标志。5GBT 13979-2008612包装标志检漏仪包装箱上应有如下标志：a)制造厂名称及地址；b)检漏仪型号；C)检漏仪名称；d)商标；e)检漏仪质量，单位为kg；体积：长宽高，单位为minxmmXmm；f) 包装储运图示标志“易碎物品”、“向上”、“怕雨”等应符合GBT 1912008规定；g)发货、收货单位名称及地址。62包装621检漏仪包装检漏仪包装应符合GBT 15464-1995中防潮、防震包装规定。622随机文件包括：a)装箱单；b)使用说明书；c)合格证；d)附备件清单。63运输检漏仪在包装完整的情况下，可用一般交通工具运输。运输过程中应按印刷的运输标志的要求进行运输作业，防止雨淋、翻倒、曝晒及剧烈冲击。64贮存检漏仪在运输包装状态下，应贮存在环境温度为040、相对湿度不应大于85，且空气中不应含有腐蚀性气体的室内。7质量保证在用户遵守保管和使用规则的条件下，检漏仪自发货之日起12个月内，因制造质量不良而不能正常工作时，制造厂商应无偿为用户修理或更换零部件(不包括易损易耗件的调换)。