JB T 5576-1991 真空蒸发装饰镀膜设备.技术条件.pdf
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1、TB 中华人民共和国机械行业标准JBjT 5576-91 真空蒸发装饰镀膜设备技术条件1991-07-16发布1992-07-01实施一一一-一一一一一呵.一一一一一一-一一一一一一机械电子工业部发布中华人民共和国机械行业标准JB/ T 5576-91 真空蒸发装饰镀膜设备技术条件1 主题内容与适用范围本标准规定了问歇式页空电阻蒸发装饰镀膜设备的技术要求、试验方法,检验规则及标志、包装、运输等要求。本标准适用于压力在10-2 1. 0 - 3 Pa范围的非卷绕式的用于装饰件哀而蒸铝膜的问歇式真空!:J.l_蒸发装饰镀膜设备(以下简称设备。2 引用标准GB 11161 真空镀膜设备通用技术条件3
2、 技术要求3.1 正常工作条件应符合GB1161中3.1的全部规定。3.2 特征参数3.2.1 设备的主要技术参数应符合GB11164中表1的规定,其中真空指标符合B档的规定。3.Z.2 设备的沉积拟应是低电压大电流电阻蒸发源,主要电参数应符合表1规定。表1也参乡t电压(V)每个月2发源加热部电流(A)数内4 - 20 100- 200 蒸发源加热器数量按产品说明书或用户与制造厂所订协议约束3.2.3 设备的电阻蒸发器的工作状况应稳定,易于调节控制,电源变压器和蒸发变压器之间的连接部分要接触可靠,以确保蒸发器正常工作。3.3 结构要求3.3.1 应符合GB11164芳3.3条的全部规定。3.3
3、.2 根据设备要求,电阻蒸发器的结构,可选用鸽材料制的加热器,并必须保证在额定功率下能够提供足够的热量,tt日料持续不断蒸发,同时,加热器的几何形状应无明显改变。3.4 制造质量3.4.1 设备主要零部件的材料应符合相应的材料标准的规定,且应具有质量合的证书。如证书不全或制造部门有疑问时应由制造厂检验部门负责复验。3.4.2 镀膜室内壁表面及各密封表面的粗糙度应达到Ra3.2m。3.4. 设备的零部件的机械加工质量及设备的焊接件的质量均应符合制造厂技术文件的规定。3.4.4 生?导的装配质冠应符合制造厂技术文件的规定,装配时对工作时处于真空的各表面应进行有效的真空前市处Jjll:J:川、1干1
4、为,.各I1专动件装配时应平稳、无抖动,威氏动密封等需用i闰1ftJ旨的动峦封处应充满真空lliIJ斤。机械电子工业部1991-07-16批准1992-07-01实施J B j T 5576- 91 3.4.5 1汪汪镀1i:)m热过程1-1,设备应能il二前边织工作,包括的王Jj件转云)II如,元-1二、i:;i、松、抖等现象。3.4.6 出备听配用的白1lJiJli与外购的字部件都j也符合相应的J;:i,j,标准的规定,f:应具有质量合格证或经jj!Jj主厂检验部门检验合格后方可自己入设备使用。3. 4.7 i :全j余轩可靠。装置中纹路的f11:(f应慰于1二、7月Jlj)r、fJicJ
5、二位伤。;民Ji111件IL!.气可阳的绝f苯电阻值,不得低于2MQ。3.4.8 设备的外观质量应做到没叮=11:刀j白-t-I二百型的尖ff、1主fJ、凸j国民;1丑恼不平表面。零部件结合币的边沿应整齐均匀不应有明显错位。金属:苓件的镀!应丰il、无变质、脱洛及生锈等现象。所有紧回件应有防腐层,设备的;在漆表面!应光沾、:美观、r-WI、无剥搭起皮等现象。3.5 安全防护3.5.1 关键部件的水冷系统中应有断水或水压不足的报警装置。并与电iIZ、真空系统、传动系统相关联部分有联锁保护机构这些保护机构的动作应灵敏可靠。3.5.2 对装设电动阀门的设备,真空镀膜室充气阀与高真空间及高真空间与予抽
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