GB T 16944-1997 电子工业用气体 氮.pdf

《GB T 16944-1997 电子工业用气体 氮.pdf》由会员分享，可在线阅读，更多相关《GB T 16944-1997 电子工业用气体 氮.pdf（4页珍藏版）》请在麦多课文档分享上搜索。

1、GB/T 16944-1997 前言本标准是根据SEMIC3. 28-92一一氯气纯度，10-(V/V) , 仇一一氧含量，1O-(V/V)，仇一一氢含量，10-(V/V) , 仇一一一氧化碳含量，10(V/V) , 仇一二氧化碳含量，10-(V/V)，1, 总短(以甲烧计含量，1O-(v/V) , 民水含量，10-6(V/V)。4.3 氧含量的测定按GB/T6285的规定进行测定。仪器检测限，0.1X 10-6(V /V)。标样:氮中含氧1X 10-6-5 X 10(V/V)。4.4 氯含量的测定按GB/T8981的规定进行测定。仪器检测限，0.1X10-6(V/V).标样g氮中含氧1X10

2、-5X10-6(V /V)。4.5 水含量的测定按GB/T5832.1或GB/T5832.2的规定进行测定。两种方法具有同等效力.仪器检测限，0.2X10-6(V/V)。仪器应经相应检定规程检定合格。4.6 一氧化碳、二氧化碳含量的测定按GB/T8984.1一1997的规定进行测定。仪器检测限，0.1X10(V/V)。标样a氮中含一氧化碳、二氧化碳备为1X 10-6-5 X 10-6(V /V)。4. 7 总短(以甲统计)含量的测定按GB/T8984. 3-1997的规定进行测定。仪器栓测限，0.1X lO-(V /V)。. ( 1 ) GB/T 16944-1997 标样氮中含甲烧1X 10-5 X 10-(V /V)。5 包装、标志、安全5. 1 包装、标志、安全按GB/T3864-1996第5章规定执行。5.2 在包装容器上标以黄色的电子用气氮字样。! 1刊