GB T 16942-1997 电子工业用气体 氢.pdf

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1、GB/T 16942一1997前生一口本标准是根据SEMIC3. 1993(钢瓶装氢标准)(95年版)制定的，在技术要求上与之等同，试验方法与之等效。在将SEMIC3. 19-93转化为本国标准时，结合我国实际情况，删去了SEMIC3. 19-93中仅作为参考的说明和物理常数及注释等内容，试验方法中增加了抽样、采样和氢气纯度三条，除氮含量的测定采用SEMIC3. 19-93的方法外，其余各项杂质含量的测定分别采用我国相应的通用试验方法国家标准，同时对检测限和标样要求按SEMI标准规定进行了适当的调整。以主变动与SEMI标准无实质性差异，使标准技术内容更加完整。本标准由中华人民共和国化学工业部提

2、出。本标准由化学工业部西南化工研究院归口。本标准起草单位.化学工业部西南化工研究院。本标准主要起草人:陈雅丽、戴培述。!认1;中华人民共和国国家标准电子工业用气体氢GB/T 16942-1997 Gases for electronic industry-Hydrogen 1 范围本标准规定了电子工业用氢的技术要求、试验方法和包装、标志、安全等。本标准适用于以工业氢为原料经纯化制取的钢瓶装氢气。氢主要被用来提供还原气氛，作为外延工艺的载气以及等离子体蚀刻剂的配气原料。分子式:H2相对分子质量，2.016(按1991年国际相对原子质量)2 引用标准下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为

3、本标准的条文。本标准出版时，所示版本均为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。GB/T 3634-1995 氢气GB/T 5832.1-86气体中微量水分的测定电解法GB/T 5832.2-86气体中微量水分的测定露点法GB/T 6285-86气体中微量氧的测定电化学法GB/T 6681-86 气体化工产品采样通则GB/T 8984.1-1997 气体中一氧化碳、二氧化碳和甲烧的测定气相色谱法GB/T 8984. 3-1997气体中总短的测定火焰离子化法3 要求电子工业用氢技术指标应符合表1的要求。表1技术指标项目指标氧纯度.10-2 二注99. 999

4、 5 氮吉量.10-6三2 氧吉量，10-6运二o. 5 一氧化碳吉量，10-6罢王O. 5 二氧化碳吉量.10-6运二0.5 总怪(以甲烧计吉量.10-6运二0.5 水分吉量.10-6s王o. 5 颗粒供需双方商定V/V 国家技术监督局1997-08-13批准1998-05-01实施(j( t 4 试验方法4. 1 抽样GB/T 16942-1997 电子工业用氢按表2规定随机抽样检验，最大批量为100瓶，当检验结果有任何一项指标不符合本标准规定时，则自同批产品中重新加倍抽样检验，若仍有任何一项指标不符合本标准规定时，贝该批产品不合格。表2抽样表产品批量.瓶I 2B 915 1625 26-

5、50 51100 抽样瓶数，瓶1 2 3 4 5 6 4.2 采样电子工业用氢的采样应符合GB/T6681的规定。采样应用针形阀和金属管直接从样品瓶中采样，不得转移。进样前采用升降压法置换、吹洗瓶阀、针形阀及管道三次.4. 3 纯度氢气纯度按式(1)计算求得21 100一份1十仇+弘十仇+民+仇)X 10-4 . . . . ( 1 ) 式中，1一一氢气纯度，10-(V/V) , 1，一氧化碳含量，10-(V/V) , 仇-一三氧化碳含量，10-(V/V)，1，一-氮含量，10-(V/V) , 仇一一氧含量，10-(V/V);1，一总经(以甲烧计含量.10-(V /V) ; 仇一-水分含量.1

6、0-(V/V)。4.4 氮含量的测定4.4. 1 用配有氮离子化检测器的气相色谱仪测定氢中的氮-4.4.2 检测限，0.5X 10-(V /V)。4.4.3 操作参考条件4. 4. 3. 1 色谱柱将色谱分析用粒度为250600m的5A分子筛装入内径4mm、长约3m的不锈钢管内.子300C下通氢气活化3h;或采用等效色谱柱。4.4.3.2 载气流速;30mL/min氮.载气中氮组分的含量应比样品中氮组分的含量约低一个数量级。4.4. 3- 3 进祥体积=约3mLo 4.4.3.4 温度z检测器及柱加热箱均为室温，4.4.4 标样氢为底气，含氮O.5X 10-2. 5X 10-(V /V)。4.

7、4.5 操作步骤4.4.5.1 按仪器使用说明书及操作条件开启仪器直至稳定.4.4.5.2 用气体取样阀把标样注入色谱柱，记录峰面积Aoo4.4.5.3 按4.4.5.2的操作注入被测试样，记录峰面积Ai。4.4.6 结果计算4.4.6.1 氮含量按(2)式it算2仇生式中，1.-样品气中待测组分z的含量.10-(V/V)，( 2 ) 609 GB/T 16942-1997 民一标准气中组分z的含量.10-(V/V) , A 样品气中待测组分i的峰面积，mdgA，一一标准气中组分，的峰面积，mdo当半峰宽不变时可用峰高定量。4.4.6.2 取两次平行测定结果的算术平均值为测定结果，平行测定的相

8、对偏差不得大于10%。4.5 氧含量的测定按GB/T6285的规定执行。仪器检测限，O.IXI0-(V/V)。标祥:氧中含氧1X 10-5 X 10(V/V)。4.6 氧化碳和二氧化碳含量的测定按GB/T8984.1的规定执行.仪器检测限，0.IXI0-(V/V)。标样z氢中含一氧化碳、二氧化碳为1X 10-5 X 10-(V /V) 0 4.7 总经以甲烧it)含量的测定按GB/T8984.3的规定执行。仪器检测限，0.IX10-(V/V)。标祥:氢中含甲烧1X lO-5 X lO-(V /V)。4.8 水分含量的测定按GB/T5832.1或GB/T5832.2执行，要求仪器的检测限达O.2X 10-(V!V)。所用仪器必须经计量检定合格。5 包臻、标志和安全5. 1 包装、标志、安全按GB/T3634第6章规定执行.5.2 在包装容器上标以电子用气一氢字样。5.3 电子工业用氢出厂时应附有质量合格证，其内容包括2a) 产品名称gb.) 生产厂名称gc) 生产日期及批号，d) 产品的数量及压力，e) 本标准代号.5.4 电子工业用氢运输应符合危险货物运输规则的规定。、11