GB T 15870-1995 硬面光掩模用铬薄膜.pdf

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1、GB!T 1 5870 1 995 前主口本标准非等效采用SEMI标准Semip286(硬面光掩模用铅薄膜。本标准第4章要求中4.6按Semip 2 86(硬面光掩模用锚薄膜制定，其余均按我国国情制定。本标准对国家标准GB7237一87(铅版中3.2的内容进行补充。与GB7237中3.2的重要技术改变之处为:增加磁溅射方法制作的错膜有关技术指标。本标准由中华人民共和国电子工业部提出。本标准由电子工业部标准化研究所归口。本标准起草单位:长沙韶光微电子总公司、电子工业部标准化研究所。本标准主要起草人:吴保华、王亦林、赵雨生、谈仁良。中华人民共和标硬面光用Chrome thin films for

2、hard surface photomasks 1 范围本标准规定了硬面本标准适用于硬面2 引用膜的要求、检验规则等内容。模用铅薄膜(以下简称铅C/T 15870 1995 下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本均为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。GB 191 90 包装储运图示标志GB 2828一87逐批检查计数抽样程序及抽样表(造用于连续批的检查)GB 2829 87 周期检查计数抽样程序及抽样表(适用于生产过程稳定性的检查)GB 7239 87 铅版锚膜和肢膜厚度的测试方法GB 7240 87 锚

3、版锚膜表面反射率的测试方法GB 7241 87 铅版光密度的测试方法GB/T 15871一1995硬面光掩模基板S1/T 10584 94 微电子学光掩蔽技术术语3 定义本标准采用S1/T10584中的定义。4 要求4. 1 锚薄膜光密度a)铅薄膜的光密度为2.5土0.3(白光hb)特殊要求，由供需双方商定。4.2 锚薄膜厚度a)真空蒸发成膜的低反射率(LRC)锚b)磁控溅射成膜的低反射率(SLRC)恪c)特殊要求，由供需双方商定。4.3 锚薄膜反射率a)高反射:R40%; b)中等反射:15%R40% ; c)低反射:R15%。4. 4 锚薄膜蚀刻时间国家技术监督局1995-12-22批准为

4、145nm士15nm;厚度为95nm土10nm;1996-08-01实GB/T 1 5870 1 995 a)真空蒸发成膜的低反射率恪膜蚀刻时间小于50s;b)融控溅射成膜的低反射率锚膜蚀刻时间小于70s。4.5 铅薄膜蚀刻均匀性a)蒸发铅膜:同板内为士3s，不同板间为士5s;b)溅射铅膜:同板内为士5s，不同板间为土10s。4.6 锚薄腰缺陷外观质量区内缺陷的大小和每种类型所允许的缺陷数量见表1和表2。圆形质量区范围见GB/T15871 1995(硬方形质量区范围见GB/T15871 1995(硬面光表l圆形质中图4所示。中图5所示。区内的缺陷缺陷尺基板错膜m 尺寸等级15. 0 5.110

5、 100mm AA 。(4in) A(主掩模2 。B 3 1 C( 127mm AA 。( 5in) A(主掩2 。B 4 1 C(试验)152mm AA 。(6in) A(主掩模)3 。B 6 2 C(试验)表2方形区内的缺陷缺陷尺基板错m 尺寸等级15. 0 5.110 100mm AA 。(4in) A(主掩模)2 。B 4 1 C(试验)127mm AA 。(5in) A(主掩模)3 。B 6 2 C( ) 152mm AA 。(6in) A(主掩模)4 。B 8 2 C(试革命)寸寸10以上。10 。15 。20 10以上。10 。15 。?n 5 试验方法5. 1锚GB/T 158

6、70 1995 密度测试铭薄膜光密度的测试方法按GB7241 87第3章。5.2 锚薄膜厚度测试铅薄膜厚度的测试方法按GB7239 87第3平。5.3 铅薄膜反射率测试锚薄膜反射率的测试方法按GB7240 87第3章、第4章。5.4 铭薄膜蚀刻时间测试锚薄膜在100级超净台或超净工作环境中，在APT914设备和下列腐蚀液中进行腐蚀，记录铭膜蚀刻时间。腐蚀液配方硝酸锦错:20Og;冰乙酸:99%，35mL;去离子水:加至1000mL;叮叮/飞L1:LJiJ、.l_.l飞/。5. 5 铅薄膜蚀刻均匀性检查锚薄膜按本标准5.4规定的条件和腐蚀液中腐蚀，每片锚薄膜之间的蚀刻时间差应符合4.5的规足。5

7、.6 铅薄膜缺陷的检查铝薄膜缺陷的数量用40倍大视场立体显微镜检查，缺陷尺寸大小用500倍测量显微镜测量。6检检验分交收检验和例行检验。6. 1 交收检验6. 1. 1 产品入库前应逐批进行交收检验;产品出厂时，需方有权对交收检验的结果进行复查。6.1.2 交收检验应按GB2828中的一次正常检查方案进行抽样，交收检验的项目及AQL值应符合表3的规定。样品应从一批中的不同盒内抽取。表3交收检验检项目技术要求条号试验方法AQL IL 条号铭4. 6 5. 6 2. 5 络度4. 2 5. 2 2. 5 络薄膜蚀刻时间4.4 5.4 S-4 2. 0 6. 1. 3 交收检验项目有项不合格，则该批

8、交收检验为不合格，但允许进行100%筛选后，再次提交检验;若再次提交检验仍不合格，则交收试验为不合格。GB/T 15870 1995 6.2 例行检验6. 2. 1 有下列情况之一者，应进行例行检扭Za)产品定型;b)产品结构、材料、工艺有较大改变时;c)正常生产情况下，每年进行一次;d)产品停产一年以上，恢复生产时。6.2.2 例行检验应在交收检验合格批中随机抽取，例行检验应按GB2829中一次抽样方案进行抽样，例行检验项目及RQL值应符合表4的规定。并在该批不同盒内分别抽取样品。表4例行检验检项目技术要求试验方法DL 条号条号络陷4.6 5.6 络度4. 2 5. 2 络光密度4. 1 5

9、. 1 络射率4. 3 5. 3 锚时间4. 4 5. 4 锚刻均匀性4. 5 5.5 6.2.3 例行检验项目中，如有一项不合格时，即判定该批产品例行检验为不合格。7 标志、包装、运输、贮存7. 1 包装和标志RQL 20 20 15 15 15 15 7. 1. 1 应在100级的环境中进行内包装，设计的内包装盒应能防止玻璃与玻璃相接触，并能避免基板在装运过程中受到沾污。基板装运时应将有涂层的一面朝向盒子的同一端。在每只盒子上应标明这个方向，包装盒应标明:警告:只能在净化间条件下打开和处理气每盒上均应贴上合格证，合格证上应注明:a)产品名称、批号;b)产品级别、锚膜厚度;c) , d)锚膜

10、类型及规格尺寸Fe)检验日期及检验员签章。7. 1. 2 内包装盒分10片、15片、20片和30片四种包装。7. 1. 3 外包装采用钙塑瓦楞纸或硬纸板制作的箱子包装，包装箱上应附有标签，并标明za)产品名称、型号;b)产品等级;c)生产日期;d)制造单位名称、地址。7. 1. 4 包装箱外璧应有符合GB191规定的标志，标有保持干燥、向上、小心易碎等字样和标* C/T 15870 1995 7.2 运输产品可用任何运输工具运输，但不得与腐蚀性物质混装运输。在运输过程中应防理、防震、防损伤。7. 3 贮存产品应存放在温度为5C25C、相对湿度不大于60%，干净、无有害气体的库房内。从出厂之日起，贮存限期一年。