GB T 28854-2012 硅电容式压力传感器.pdf
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1、ICS 17,. lOO N 11 GB 中华人民共和国国家标准GB/T 28854-2012 硅电容式压力传感器SiIicon capacitive pressure sensor 2012-11-05发布卢飞产码防甲中华人民共和国国家质量监督检验检菇总局中国国家标准化管理委员会2013-02-15实施发布GB/T 28854-2012 目次E1112222223333455566677778mmmm口uuuuu范规细)详时程司)用件喧缸知耐喝备口围力度术能能响F能命件准能能响能封类验验用义名范压温技性性性影咂性寿u条前性性性影性坦问分检检引定命类名数量作作品本态定度载压境劳法境验本态定度载
2、压境时。则验厂式性和与分命参测工工产基静稳温过静环疲方环试基静稳温过静环E规检出型围范语类本求验。验于范规术分JJ基JJJ要JJJJJJJJJ试JJJJJJJJJJ检JJJJ=EA&A&FUFUFDFbnbnbtuponbtunbnbI勺町i勺勺勺守qtqt句,。前12345678GB/T 28854-2012 9 标志、包装、运输及贮存9. 1 产品标志.15 9.2 包装.9.3 运输.169.4 贮存附录A(规范性附录)传感器性能指标的计算方法A. 1 实际工作特性17A. 2 参比工作直线17A.3 满量程输出(YFS).18A.4 非线性(6_)A.5 迟滞(:H)A.6 重复性(:
3、R)A. 7 准确度(:)20A.8 零点漂移z) n A. 9 零点长期稳定性(rz). . 22 A.10 满量程输出漂移b.nA.11 热零点漂移(.nA.四热满量程输出漂移(同.nA.13 振动对传感器零点影响(ZO)nE GB/T 28854-2012 目。自本标准按照GB/T1. 1-2009给出的规则起草。本标准由中国机械工业联合会提出。本标准由中国机械工业联合会归口。本标准起草单位:沈阳仪表科学研究院、传感器国家工程研究中心、国家仪器仪表元器件质量监督检验中心、浙江中控仪表有限公司、吉林化工集团仪表有限责任公司、中国仪器仪表协会传感器分会、中国仪器仪表学会仪表元件分会。本标准主
4、要起草人:张治国、刘沁、李颖、匡石、徐秋玲、于振毅、丁云、卢宏、刘剑、张娜、刘波、殷波。皿GB/T 28854-2012 硅电容式压力传感器1 范围本标准规定了硅电容式压力传感器的术语和定义、分类与命名、基本参数、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输及贮存。本标准适用于硅电容式压力传感器(以下简称传感器)。2 规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。GB/T 191 2008 包装储运图示标志GB/T 2423. 1-2008 电工电子产品环境试验第2部分:试
5、验方法试验A:低温GB/T 2423.2-2008 电工电子产品环境试验第2部分:试验方法试验B:高温GB/T 2423. 3-2006 电工电子产品环境试验第2部分:试验方法试验Cab:恒定湿热试验GB/T 2423. 5-1995 电工电子产品环境试验第2部分:试验方法试验Ea和导则:冲击GB/T 2423. 10-2008 电工电子产品环境试验第2部分:试验方法试验Fc:振动(正弦)GB/T 2423. 22-2002 电工电子产品环境试验第2部分:试验方法试验N.温度变化GB/T 2829一2002周期检查计数抽样程序及表(适用于对过程稳定性的检验)GB/T 7665 2005 传感器
6、通用术语GB/T 7666二2005传感器命名法及代码GB/T 14479 传感器图用图形符号GB/T 17626.1-2006 电磁兼容试验和测量技术抗扰度试验总论3 术语和定义GB/T 7665-2005界定的以及下列术语和定义适用于本文件。3.1 基础电容base capacitance 正负压腔通大气(表压、差压型)或输入为零压(绝压型)时传感器单个电容的输出电容值。3.2 电窑偏差capacitance deviation 差动电容式传感器两个基础电容的差值。3.3 电容增量比capacitance increasing amount ratio 传感器承受满量程压力时,因压力增加而
7、产生的电容增量的绝对值与其基础电容值的比。4.2. 1 传感器型号命名应按GB/T7666飞2005.的规定。/4.2.2 传感器的图形符号应按GB/T1447矿的规定。5均数、/5. 1 测量范时传感器测量范围应符选产品技术条件(详细规范)的规定。除另有规定外手传感器测量范围宜从下列数值中选取:GB/T 28854-2012 4 分类与命名4. 1 分类4. 1. 1 按感受压力类型按感受压力类型可分为:一差压传感器;一一表压传感器;一一绝压传感器。4.2 命名/ / / / 士5X10,士6X 10,士8X10。其中n为整数,n=O,士1,士2,士3,。测量范围的单位为:帕CPa)、千帕C
8、kPa)、兆帕CMPa)、吉帕CGPa)。5.2 工作压力传感器工作压力范围应符合产品技术条件(详细规范)的规定。除另有规定外,传感器工作压力范围宜从下列数值中选取:1 X 10 ,1. 5 X 10 ,1. 6 X 10 , 2 X 10 , 2. 5 X 10 , 3 X 10 , 3. 2 X 10 , 4 X 10 , 4. 2 X 10 , 5 X 10 , 6 X 10 ,7. 5 X 10 ,9 X 10。其中n为整数,n=O,士1,土2,士3,。测量范围的单位为:帕CPa)、千帕CkPa)、兆帕CMPa)、吉帕CGPa)。2 GB/T 28854-2012 5.3 工作温度范围
9、传感器工作温度范围应符合产品技术条件(详细规范)的规定。工作温度的下限值优先从下列数值中选取:一55.C , -40 .C , -25 .C , -20 .C , -10 .C,O.C。工作温度的上限值优先从下列数值中选取:50 .C , 60 .C , 70 .C , 85 .C , 90 .C , 100 .C , 125 .C , 150 .C ,175 .C。6 要求6. 1 产品技术条件(详细规范)应制定符合标准要求的产品技术条件(详细规范)。传感器应符合产品技术条件(详细规范)规定的所有要求。当本标准的要求与产品技术条件(详细规范)的要求不一致时,应以产品技术条件(详细规范)为准。
10、6.2 基本性能6.2.1 外观传感器外表应光洁、完好,不应有视觉可见的划痕及其他损伤;焊缝应均匀、光滑;标记应完整、清晰。6.2.2 外形及安装尺寸传感器的外形及安装尺寸应符合产品技术条件(详细规范)及产品图样的规定。6.2.3 电气连接传感器的电气连接应符合产品技术条件(详细规范)及产品图样的规定。6.2.4 重量传感器的重量应符合产品技术条件(详细规范的规定。6.2.5 基础电容传感器的基础电容标称值推荐从下列数值中选取:10pF, 25 pF, 50 pF,75 pF,100 pF, 150 pF。基础电容值的允差推荐从下列数值中选取z士5pF,士7pF,士10pF。6.2.6 电容偏
11、差电容偏差推荐从下列数值中选取:3pF,5 pF,7 pF。6.2.7 电容增量比传感器的电容增量比推荐从下列数值中选取:20%, 30% ,40% , 50% , 60% , 70% , 75% ,80%。电容增量比的允差推荐从下列数值中选取:士5%,士10%。6.2.8 绝缘电阻传感器的绝缘电阻推荐从下列数值中选取:注20Mn,二三50Mn,注100Mn,二三200Mn,注500Mn。测量用直流电压值推荐采用:100V , 250 V , 500 V , l 000 V。3 GB/T 28854-2012 6.2.9 绝缘强度对传感器施加50Hz正弦波交流电压1min,应元击穿和飞弧现象。
12、测量用交流电压有效值应从下列数值中选取:100V , 250 V , 500 V , l 000 V。6.3 静态性能6.3. 1 零点输出传感器的零点输出应符合产品技术条件(详细规范)的规定。6.3.2 满量程输出传感器的满量程输出应符合产品技术条件(详细规范)的规定。6.3.3 满量程输出对称性(适用时)传感器测量组件为双结构时,其满量程输出对称性应符合产品技术条件(详细规范)的规定。6.3.4 非线性(适用A类)传感器的非线性应符合产品技术条件(详细规范)的规定。非线性误差推荐从表1中选取。表1传感器非线性、符合度、迟滞、重复性、准确度等级准确度等级非线性符合度迟滞重复性准确度%FS %
13、FS %FS %FS %FS 0.025 ;0.015 ;0.015 ;0.01 ;0.01 土0.0250.04 ;0.02 ;0.02 ;0.02 主二0.02土0.040.05 ;0.03 ;0.03 ;0.02 ;0.02 士0.050.075 主二0.04主三o.04 ;0.035 ;0.035 士o.075 o. 10 ;0.05 ;0.05 ;0.05 ;0.05 土o.10 0.25 主o.15 ;0.15 主主O.10 ;0. 10 土0.250.5 主二0.25;0.25 ;0.25 ;0.25 士0.501. 0 ;0.5 ;0.5 ;0.5 ;0.5 土1.06.3.5
14、 符合度(适用B类)传感器的符合度应符合产品技术条件(详细规范)的规定。符合度误差推荐从表1中选取。6.3.6 迟滞传感器的迟滞应符合产品技术条件(详细规范)的规定。迟滞误差推荐从表1中选取。6.3.7 重复性传感器的重复性应符合产品技术条件(详细规范)的规定。重复性误差推荐从表1中选取。6.3.8 准确度传感器的准确度应符合产品技术条件(详细规范)的规定。准确度误差推荐从表1对应的准确度等4 级或更高级别中选取。6.4 稳定性6.4.1 零点漂移(适用时)GB/T 28854-2012 在规定的时间内传感器的零点漂移应符合产品技术条件(详细规范)的规定。规定时间推荐从下列时间中选取:1h ,
15、 2 h , 3 h , 4 h ,8 h , 24 h , 48 h , 72 h , 96 h ,120 ho 漂移量推荐选取:小于0.05%FS,小于O.l%FS,小于0.25%FS,小于0.5%FS。6.4.2 零点长期稳定性(适用时)在规定的时间周期刊个月或12个月)内,传感器零点长期稳定性应符合产品技术条件(详细规范)的规定。6.4.3 满量程输出漂移(适用时)在规定的时间周期(6个月或12个月)内,传感器满量程输出漂移应符合产品技术条件(详细规范)的规定。6.5 温度影晌6.5. 1 热零点漂移传感器在工作温度范围内的热零点漂移应符合产品技术条件(详细规范)的规定。传感器的热零点
16、漂移推荐从表2对应准确度等级或更高级别指标范围中选取。表2热零点漂移和热满量程输出漂移准确度等级热零点漂移热满量程输出漂移% FS/C % FS/C 0.025 士0.0025 土0.0025 0.04 士0.004士0.0040.05 士0.005土0.0050.075 土0.01士0.010.1 土0.01士0.010.25 士0.025土0.0250.5 士0.05士0.051. 0 士0.1土0.1一6.5.2 热满量程输出漂移传感器在工作温度范围内的热满量程输出漂移应符合产品技术条件(详细规范)的规定。传感器的热满量程输出漂移推荐从表2对应准确度等级或更高级别指标范围中选取。6.6
17、过载(适用时)传感器承受过载能力应符合产品技术条件(详细规范)的规定。推荐过载值从下列数值中选取z测量上限的1.5倍,2倍,2.5倍,3倍,5倍,7.5倍,10倍,15倍。GB/T 28854-2012 6. 7 静压6. 7. 1 双向静压(适用时)产品技术条件(详细规范)应给出传感器能承受的最大静压压力(简称静压)。静压大小与差压测量范围相关。在承受最大静压压力后,传感器的零点输出变化误差应符合产品技术条件(详细规范)规定。6.7.2 零点静压影响(适用时)传感器零点静压影响应符合产品技术条件(详细规范)的规定。6.7.3 满量程静压影晌(适用时)传感器满量程静压影响应符合产品技术条件(详
18、细规范)的规定。6.7.4 单向静压(适用时)传感器的单向静压应符合产品技术条件(详细规范)的规定.6.8 环境性能6.8.1 低温试验(适用时)试验后传感器应符合产品技术条件(详细规范)规定的性能要求。6.8.2 高温试验(适用时)试验后传感器应符合产品技术条件(详细规范)规定的性能要求。6.8.3 温度变化(适用时)试验后传感器应符合产品技术条件(详细规范规定的性能要求。6.8.4 振动(适用时)振动过程中和试验后传感器应符合产品技术条件(详细规范)规定的性能要求。6.8.5 冲击(适用时)试验后传感器应符合产品技术条件(详细规范)规定的性能要求。6.8.6 湿热(适用时)试验后传感器应符
19、合产品技术条件(详细规范)规定的性能要求。6.8.7 电磁兼容性(适用时)试验中及试验后传感器应符合产品技术条件(详细规范)规定的性能要求。6.8.8 高温电寿命(适用时)试验中及试验后传感器应符合产品技术条件(详细规范)规定的性能要求。6.9 疲劳寿命(适用时)试验后传感器应符合产品技术条件(详细规范)规定的性能要求。6 7 试验方法7.1 环境条件7. 1. 1 参比大气条件温度:18.C22 .C; 相对湿度:50%80%; 大气压力:86kPa106 kPa。7. 1. 2 一般试验的大气条件温度:15.C35 .C; 相对湿度:30%85%; 大气压力:86kPa106 kPa. 注
20、:每项试验期间允许的温度变化率,不大于1.C/h. 7. 1. 3 其他环境条件除上述大气条件外,试验尚应在下述环境条件下进行:磁场:除地磁场外,元其他外界磁场;机械振动z元机械振动。7.2 试验前准备7.2.1 连接方式按照6.2.3的规定连接好被测传感器与其激励电源、压力源和读数装置。7.2.2 预置时间C/T 28854-2012 被测传感器及测试仪器应在试验环境下放置1h以上,达到温度平衡,通电预热时间不少于30min 或按产品技术条件(详细规范)的规定。7.3 基本性能7.3.1 外观用目测方法检查传感器的外观,结果应符合6.2.1的规定。7.3.2 外形及安装尺寸用卡尺、千分尺、千
21、分表、标准规或其他标准量具仪器检测传感器的外形及安装尺寸,结果应符合6.2.2的规定。7.3.3 电气连接目测检查被测传感器的电气连接,应符合6.2.3的规定。7.3.4 重量用天平或其他标准称量仪器称量传感器的重量,结果应符合6.2.4的规定。7 G/T 28854-2012 7.3.5 基础电容对于B类电容输出型,在不加载荷的情况下,用电容表测试传感器输出端的电容值。对于差动电容式则得到两个基础电容值Cj、Cz。测量结果与基础电容标称值的偏差应在6.2.5规定的允差范围内。电容表的分辨力应不小于0.01pF。7.3.6 电容偏差差动电容式传感器的电容偏差为传感器两个基础电容Cj、Cz的差值
22、,按公式(1)计算,结果应符合6.2.6的规定。ICj一C川、之.( 1 ) 法(pF); 法(pF)。-_ 应符合6.2.i的规f走。/I一Co I , -:. n / y-l-L一voI XI0% ./. . ( 2 ) / / Ic -1 Co I 0 VVVU -7 件(详细规范)规定的直流制邮报制器全部引出线并接晦锁制服(应与外壳元连接)与壳7.3.9 绝缘强度 在被测传感器不施加激励电源的条件下,将传感器全部引出线并接,用绝缘强度测试仪器在传感器引出线与壳体之间,施加产品技术条件(详细规范)规定的交流电压,持续时间为1min或按详细规范的规定,应无击穿和飞弧现象,结果应符合6.2.
23、9的规定。7.4 静态性能7.4. 1 试验方法对B类电容输出型,通过符合产品技术条件(详细规范)规定的测试系统或者测试电路把电容传感器的电容信号转换为电压(电流)输出信号实施检测。给传感器施加不少于3次的预压,使被测传感器压力升到测量上限值,待压力稳定后降压至测量下限值。然后在传感器测量上、下限的全量程范围内选择均匀分布的5个1l个试验点,测量与输入压GB/T 28854-2012 力点对应的传感器输出,并且重复三次或三次以上的升、降压循环.通过上述试验获得的数据,按附录A的计算方法可确定下列静态性能指标。7.4.2 零点输出所加被测量为零时测量传感器的输出值,结果应符合6.3.1的规定。对
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