DB35 T 1874-2019 五氧化三钛镀膜材料通用技术条件.pdf
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1、ICS 77.160 H 72 DB35 福建省地方标准 DB35/T 18742019 五氧化三钛镀膜材料通用技术条件 General technical specifications for titanium pentoxide coating materials 2019 - 12 - 19 发布 2020 - 03 - 19 实施 福建省市场监督管理局 发布 DB35/T 18742019 I 目 次 前言 . . II 1 范围 . 1 2 规范性引 用文件 . 1 3 型号规格 . . 1 4 要求 . 1 5 试验方法 . . 3 6 检验规则 . . 5 7 标志、包 装、运输
2、和贮存 . 6 附录 A(资料性附录) 项目技术审查规范 . 7 DB35/T 18742019 II 前 言 本标准按照GB/T 1.12009给出的规则起草。 本标准由福建阿石创新材料股份有限公司提出。 本标准由福建省工业和信息化厅归口。 本标准起草单位:福建阿石创新材料股份有限公司、福建省测试技术研究所、福建省产品质量检验 研究院、福州允能光电有限公司、福州荣德光电有限公司。 本标准主要起草人:张瑜、陈丹红、陈本宋、陈钦忠、任小英、郑建文。 DB35/T 18742019 1 五氧化三钛镀膜材料通用技术条件 1 范围 本标准规定了五氧化三钛镀膜材料的型号规格、要求、试验方法、检验规则、标
3、志、包装、运输和 贮存。 本标准适用于生产滤光片、冷光源涂层、增透膜、多层膜蒸发镀膜的五氧化三钛材料。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。 凡是注日期的引用文件, 仅注日期的版本适用于本文件。 凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T 153372008 原子吸收光谱分析法通则 GB/T 26125 电子电气产品 六种限用物质 (铅、汞、镉、六价铬、多溴联苯和多溴二苯醚)的 测定 YB/T 53202006 金属材料定量相分析 X射线衍射 K值法 3 型号规格 型号规格见表1。 表1 型号规格 型号 形状 规格 1 mm3 mm M
4、U3 颗粒 0.5 mm3 mm 4 要求 4.1 化学成分 4.1.1 含量 五氧化三钛含量应大于等于99%。 4.1.2 杂质限量指标 杂质限量指标见表2。 DB35/T 18742019 2 表2 杂质限量指标 杂质 K Ca Si Al Ni Fe Mg 限量/(mg/kg) 100 100 100 100 50 50 20 4.2 物理性能 4.2.1 外观 紫黑色或紫红色晶体,无蓝色、红片等偏色。 4.2.2 粒径分布 产品粒径分布见表3。 表3 粒径分布 品名 规格 d a /mm 规格分布要求/mm 占比 d1 10% 1d3 80% 1d3 d3 10% d0.5 10% 0
5、.5d3 80% MU3 0.5d3 d3 10% 注1: 1 mm 规格为 0.9 mm 方孔筛网、3 mm 规格为 2.8 mm 方孔筛网、0.5 mm 规格为 0.4 mm 方孔筛网。 注2: 占比为质量百分数。 注3: 1 mm3 mm 为通过 0.9 mm 方孔、但未通过 2.8 mm 方孔筛网的规格颗粒。 注4: 0.5 mm3 mm 为通过 0.4mm 方孔、但未通过 2.8 mm 方孔筛网的规格颗粒。 a MU3 产品粒径。 4.2.3 密度 密度( ):(4.50.3) g/cm 3 。 4.3 薄膜特性 折射率(550 nm):2.252.45。 4.4 有害物质指标 有害
6、物质指标见表4。 表4 有害物质指标 有害物质 Cd Pb Hg Cr6+ PBB 5 PBDE5 含量/(mg/kg) 100 100 100 100 100 100 DB35/T 18742019 3 5 试验方法 5.1 化学成分 5.1.1 含量 五氧化三钛含量按照YB/T 53202006进行测试。 5.1.2 杂质限量指标 杂质限量指标按照GB/T 153372008进行测试。 5.2 物理性能 5.2.1 外观 通过500 lm1 000 lm的日光灯光照强度下目测检验。 5.2.2 粒径分布 取三份样品测定,称样250 g,精确至0.01 g,按表3的规定使用相应目数筛网,三次
7、测试取平均值。 5.2.3 密度 采用阿基米德原理进行测试,使用排水密度仪(精度0.01 g或更优)进行测试,具体过程如下: a) 取5 g10 g五氧化三钛产品,用电子天平测量实际重量,用M表示; b) 把这些产品在排水状态下称取排水重量,用M 1表示; c) 用温度计测量b)步骤时水的水温,参考附录A确定 1的值。 密度的计算公式见公式(1): )M-M(1000 M 1 1 . (1) 式中: 五氧化三钛产品密度,单位为克每立方厘米(g/cm 3 ); M 取样材料重量,单位为克(g); 1某一温度下水的密度,单位为克每升(g/L); M1取样材料排水重量,单位为克(g)。 5.3 薄膜
8、特性 5.3.1 成膜条件 五氧化三钛使用应符合以下条件: a) 使用设备:通用蒸发镀膜机,或其他类似成膜设备; b) 镀膜基片:80 mm80 mm0.3 mm两面抛光的B270平板玻璃; c) 真空度:镀膜开始的本底真空是小于等于4.010 -3 Pa; d) 基片温度:(3002) ; e) 氧气导入:有; f) 镀膜真空度:1.010 -2 Pa1.410 -2 Pa; g) 镀膜速率:0.3 nm/s0.4 nm/s; DB35/T 18742019 4 h) 镀膜厚度:(50050) nm。 5.3.2 性能测试要求 5.3.2.1 熔料要求 熔料要求见表5。 表5 熔料要求 电子
9、枪光斑大小 熔料初始真空度 Xs 调至最小值;Ys 调至最小值 4.010 -3 Pa 5.3.2.2 熔料电子枪束流控制过程要求 熔料电子枪束流控制过程要求见表6。 表6 熔料电子枪束流控制过程要求 电流/mA 50 100 150 200 250 时间/min 1 1 1 1 5 5.3.2.3 预熔标准 五氧化三钛预熔应符合以下条件: a) 熔料过程中溅料总时间小于等于2 min; b) 单点束流溅料时间小于等于30 s; c) 熔平后无溅料;最差放气量小于等于2.010 -2 Pa。 5.3.2.4 测定条件 五氧化三钛薄膜测定条件如下: a) 测定设备:紫外可见分光光度计; b) 测
10、定方法:入射角0透过率测定。 5.3.3 测试结果 按公式(2)计算镀膜层单面透过率( T2),按公式(3)计算镀膜层单面反射率( R2),按公式(4) 计算镀膜层折射率( N)。 1/1/1 1 1 2 TT T . (2) 式中: T2 镀膜层单面透过率; T 紫外可见分光光度计测试镀膜玻璃总透过率的最低值,紫外或可见波段; T1 玻璃层单面透过率,取值为95.742%。 22 1 TR . (3) DB35/T 18742019 5 式中: R2镀膜层单面反射率; T2 镀膜层单面透过率。 2 2g 1 )1( R RN N . (4) 式中: N 镀膜层折射率; Ng 玻璃折射率,取值
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