SJ T 10741-2000 半导体集成电路 CMOS电路测试方法的基本原理.pdf
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1、ICS 31.L55备案号:2oo8119-2001SJ中华人民共和国电子行业标准SJ/T 10741-2000半导体集成电路CMOs电路测试方法的基本原理Semiconductor integrated circuitsGeneral principles of measuring methods for CMOS circuits2000-12-28发布2001-03-01实施中华人民共和国信息产业部批准前言本标准在原国家标准GB 3834-83半导体集成电路CMOs电路测试方法的基本原理的基础上进行修订。本标准与GB 3834相比,所考虑的主要性能参数基本相同,技术内容作了相应改动。删除
2、了有关开关电路的儿个参数。本标准的编制、修订有利于我国半导体集成电路行业的技术交流和经济交流。本标准代替GB 3834-83.本标准由信息产业部提出。本标准由中国电子技术标准化研究所归口。本标准起草单位:中国电子技术标准化研究所。本标准主要起草人:李燕荣、孙人杰。本标准首次发布时间:1983年。目次范围一(1)引用标准(1)定义,(1)要求(1)5静态参数测试,(1)5.1输入钳位电压1I K(1)5.2输入高电平电压vIH(2)5.3输入低电平电压vL(3)5.4输入正向闺值电压岭TF . (4)5.5输入负向闺值电压. . (5)5.6滞后电压玲(6)5.7输出高电平电压吮。,(6)5.8
3、输出低电平电压呢:。(7)5.9输入高电平电流IIH,。(8)5.10输入低电平电流IIL(9)5.11输出高电平电流IOH . (10)5.12输出低电平电流I0L . ( I I )5.13输出高阻态时高电平电流IOZH(12)5.14输出高阻态时低电平电流IOZL。一(13)5.15电源电流几。(14)5.16输出短路电流Ios (15)6动态参数测试. (16)6.1输入电容C,和输出电容Co 一(16)6.2动态电源电流I . (17)6.3建立时间t, (18)6.4保持时间t,。(19)6.5最高时钟频率f(21)6.6输出由低电平到高电平传输延迟时间LPLH (22)6.7输出
4、由高电平到低电平传输延迟时间LPHL (23)6.8输出由高阻态到高电平传输延迟时间tpzH (25)6.9输出由高阻态到低电平传输延迟时间tPZL (26)6.10输出由高电平到高阻态传输延迟时间tpHZ(28)6.11输出由低电平到高阻态传输延迟时间LPLZ一(29)6.12输出由低电平到高电平转换延迟时间LTLH(31)6.13输出由高电平到低电平转换延迟时间t丁HL(32)中华人民共和国电子行业标准半导体集成电路CMOs电路测试方法的基本原理SJ/T 10741-2000代替GB/T 3834-83Semiconductor integrated circuitsGeneral pri
5、nciples of measuring methods for CMOS circuits1主题内容与适用范围本标准规定了半导体集成电路CMOS电路(以下简称器件)电特性测试方法的基本原理。本标准适用于半导体集成电路CMOS电路电特性的测试。2引用标准GB/T 17574-98半导体器件集成电路第2部分:数字集成电路SJ/T 10734-%半导体集成电路文字符号电参数文字符号3定义本标准所有电参数符号和定义符合GB/T 17574和SJ/T 10734的规定。4要求4.1若无特殊说明,测试期间,环境或参考点温度偏离规定值的范围应符合器件详细规范的规定。4-2测试期间,应避免外界千扰对测试精度
6、的影响。测试设各引起的测试误差应符合器件详细规范的规定。4. 3测试期间,施于被测器件的电源电压应在规定值的土1%以内。施于被测器件的其他电参量的准确度应符合器件详细规范的规定。4.4被测器件与测试系统连接或断开时,不应超过器件的使用极限条件。4.5具有内部存储或滞后特性的器件,应规定预置条件。4.6测试期间,应避免因静电放电而引起器件损伤。4.7测试期间,非被测输入端不得悬空。5静态参数测试5. 1输入钳位电压VIK5.1.1目的中华人民共和国信d产业部2000-12-28批准2001-03-01实施一1一SJ/T 10741-2000测试带有附加钳位二极管的输入端输入钳位电压。5.1.2测
7、试电路图VIK的测试电路图如图1所示。图15.1.3测试条件测试期间,下列测试条件应符合器件详细规范的规定。a.环境或参考点温度;b.电源电压VDD;C.输入端流入或流出电流lIK;d.输出端开路。5.1.4测试程序5.1.4.1在规定的环境条件卜,将被测器件接入测试系统中。5. 1.4.2电源端VD。施加规定的电压值。5.1.4.3被测输入端流入或流出电流调整到规定值,其余输入端施加规定的条件。5.1.4.4在被测输入端测得价K05.1.4.5按本标准5.1.4.3 - 5.1.4.4规定,分别测试每个输入端。5.2输入高电平电压VIH5.2. 1目的输出电压为规定值时,侧试输入端所施加的最
8、小高电平电压。5.2.2测试电路图VIH的测试电路图如图2所示。SJ/T 10741-2000图25.2.3测试条件测试期间,下列测试条件应符合器件详细规范的规定。a.环境或参考点温度;b.电源电压VDD;c.输入端条件:d.输出端电压Voe5. 2. 4测试程序5.2.4. 1在规定的环境条件下,将被测器件接入测试系统中。5.2.4.2电源端VDD施加规定的电压。5.2.4.3非被测输入端施加规定的条件,非被测输出端开路。5.2.4.4被测输入端输入电压V,由VDD值逐渐下降,使输出端电压VD为规定的电压值时,该输入电压即为输入高电平电压VIH-5.2.4. 5按本标准5.2.4.3-5.2
9、.4.4的规定,分别测试每个输入端。5.3输入低电平电压VIL5.3.1目的输出电压为规定值时,测试输入端所施加的最大低电平电压。5.3.2测试电路图VIL的测试电路图如图3所示。SJ/T 10741-2000图35.3.3测试条件测试期间,下列测试条件应符合器件详细规范的规定。a.环境或参考点温度:b.电源电压VDD;C.输入端条件;d.输出电压Vv,5.3.4测试程序5.3.4. 1在规定的环境条件下,将被测器件接入测试系统中。5.3.4.2电源端踢D施加规定的电压。5.3.4.3非被测输入端施加规定的条件。非被测输出端开路。5.3.4.4被测输入端电压V,由Vss值逐渐上升,使输出端电压
10、Vo为规定的电压值时,该输入电压即为输入低电平电压V,L,5.3.4.5按本标准5.3.4.3-5.3.4.4的规定,分别测试每个输入端。5.4输入正向阂值电压VIT十。5.4.1目的测试有施密特触发器的器件,使输出端电压为规定值时,输入端所施加的较高闽值电压。5.4.2测试电路图VIT+的测试电路图如图4所示。SJ/T 10741-2000图45.4.3测试条件测试期间。下列测试条件应符合器件详细规范的规定。a.环境或参考点温度;b,电源电压VDD;c.输入端施加的电压VI;d.输出端电压Vo。5.4.4测试程序5.4.4. 1在规定的环境条件下,将被测器件接入测试系统中。5.4.4.2电源
11、端吓。施加规定的电压。5.4.4.3非被测输入端施加规定的电压,非被测输出端开路。5.4.4.4调节被测输入端输入电压VI,使输出端电压踢为规定的电压值。该输入电压即为输入正向闭值电压VIT+=5.4.4. 5按本标准5.4.4.3-5.4.4.4的规定,分别测试每个输入端。5.5输入负向闽值电压VIT_ e5.5.1目的测试有施密特触发器的器件,使输出端电压为规定值时,输入端所施加的较低闭值电压。5.5.2测试原理VIT_的测试电路图如图5所示。SJ/T 10741-2000图55.5.3测试条件测试期间,下列测试条件应符合器件详细规范的规定。a.环境或参考点温度;b.电源电压VDD;C.输
12、入端施加的电压V:d.输出端电压Vo 05.5.4测试程序5.5.4.1在器件规定的条件下,将被测器件接入测试系统中。5.5.4.2电源端VDD施加规定的电压值。5.5.4.3非被测输入端施加规定的电压,非被测输出端开路。5.5.4.4调节被测输入端输入电压V,使输出端电压肠为规定的电压值。该输入电压即为输入负向阐值电压VT_ o5.5.4.5按本标准5.5.4.3-5.5.4.4的规定,分别测试每个输入端。5.6滞后电压VT5.6.1目的测试有施密特触发器的器件,输入正向阐值电压和输入负向阐值电压之差。5.6.2测试程序5.6.2.1按本标准5.4和5.5的规定测得输入正向闭值电压VT+和输
13、入负向闺值VT_ o5.6.2.2由下式求出滞后电压价: VT=VT,一VT_5. 7输出高电平电压VDe5.7. 1目的输入端在施加规定的电压下,测试输出端为逻辑高电平时的电压。5.7.2测试电路图冷H的测试电路图如图6所示。SJ/T 10741-2000VDDVOH被测器件输入网络!犷图65.7.3测试条件测试期间,下列测试条件应符合器件详细规范的规定。a环境或参考点温度;b.电源电压VDD;C.输入端施加的电压VI:d.输出端施加电流10 .5.7.4测试程序5.7.4. 1在规定的环境条件下,将被测器件接入测试系统中。5.7.4.2电源端肠。施加规定的电压值.5. 7.4.3输入端施加
14、规定的电压,输出端施加电流ID,5.7.4.4在被测输出端测得输出高电平电压VOH,5. 7.4.5按本标准5.7.4.3 5.7.4.4的规定,分别测试每个输出端。5.8输出低电平电压吃L5.8. 1目的输入端在施加规定的电压下,测试输出端为逻辑低电平时的电压。5.8.2测试电路图吃L的测试电路图如图7所示。SJ/T 10741-2000VDDVOL被测器件输入网络!匕图75.8.3测试条件测试期间,下列测试条件应符合器件详细规范的规定。a.环境或参考点温度:b.电源电压VDD;C.输入端施加的电压Vi.d.被测输出端施加电流10 .5.8.4测试程序5.8.4. 1在规定的环境条件下,将被
15、测器件接入测试系统中。5.8.4.2电源端VDD施加规定的电压值。5.8.4.3输入端施加规定的电压,被测输出端施加电流Io,其它输出端开路。5.8.4.4在被测输出端测得输出低电平电压VOL 5.8.4.5按本标准5.8.4.3-5.8.4.4的规定,分别测试每个输出端。5.9输入高电平电流IIH5.9.1目的测试输入端在施加规定的高电平电压VIH时流入器件的电流。5.9.2测试电路图IIH的测试电路图如图8所示。SJ/T 10741-2000图85.9.3测试条件测试期间,下列测试条件应符合器件详细规范的规定。a.环境或参考点温度;b.电源电压VDDIC.输入高电平电压VIH Id.输入低
16、电平电压VIL5. 9. 4测试程序5.9.4. 1在规定的环境条件卜,将被测器件接入测试系统中。5.9.4.2电源端叱。施加规定的电压值。5.9.4.3被测输入端输入高电平电压玛H调到规定的电压值:其余输入端输入低电平电压VIL调到规定的电压值.5.9.4.4在被测输入端测得输入高电平电流IIH5.9.4.5按本标准5.9.4.3-5.9.4.4的规定,分别测试侮个输入端。5.10输入低电平电流AL5.10.1目的测试输入端在施加规定的低电平电压VIL时流出器件的电流。5.10.2测试电路图IIL的测试电路图如图9所示。SJ/T 10741-2000图95.10.3测试条件测试期间,下列测试
17、条件应符合器件详细规范的规定。a.环境或参考点温度;b.电源电压VDD;c.输入低电平电压VIL;d.输入高电平电压VIH5. 10.4测试程序5. 10. 4. 1在规定的环境条件下,将被测器件接入测试系统中。5. 10.4.2电源端VDD施加规定的电压值。5.10.4.3被测输入端输入低电平电压VL调到规定的电压值;其余输入端输入高电平电压VIH调到规定的电压值。5.10.4.4在被测输入端测得输入低电平电流IIL05. 10.4.5按本标准5.10.4.3-5.10.4.4的规定,分别测试每个输入端。5. 11输出高电平电流IDH5.们.1目的测试输入端在施加规定的条件使输出为高电平时,
18、输出端流出器件的电流。5.11.2测试电路图IDH的测试电路图如图10所示。SJ/T 10741-2000图105.11.3测试条件测试期间,下列测试条件应符合器件详细规范的规定。a.环境或参考点温度:b.电源电压介D;c.输入端施加的电压V,;d.输出端施加的电压V05. 11.4测试程序5. 11. 4. 1在规定的环境条件下,将被测器件接入测试系统中。5.11.4.2电源端VDD施加规定的电压值.5.11.4.1输入端施加规定的电压。5.11.4.4被测输出端施加规定的电压吃;其余输出端开路。-5. 11.4.5在被测输出端测得输出高电平电流IOH ,5.11.4.6按本标准5.11.4
19、.3-5.11.4.5的规定,分别测试每个输出端。5.12输出低电平电流IOL5.12. 1目的测试输入端在施加规定的条件使输出为低电平时,输出端流入器件的电流。512.2测试电路图IOL的测试电路图如图11所示。SJ/T 10741-2000图115. 12. 3测试条件测试期间。F列测试条件应符合器件详细规范的规定。a.环境或参考点温度;b.电源电压VDD;C.输入端施加的电压VI:d.输出端施加的电压VOo5. 12.4测试程序5. 12.4. 1在规定的环境条件下,将被测器件接入测试系统中。5. 12.4.2电源端介D施加规定的电压值。5.12.4.3输入端施加规定的电压。5. 12.
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