KS B ISO 16063-15-2009 Methods for the calibration of vibration and shock transducers－ Part 15：Primary angular vibration calibration by laser interferometry《振动和冲击传感器的校准方法 第15部分 激光干.pdf

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1、 KSKSKSKSKSKSKSK KSKSKS KSKSK KSKS KSK KS KS B ISO 16063 15 15： KS B ISO 16063 15:2009 2009 12 15 http:/www.kats.go.krKS B ISO 16063 15:2009 : ( ) ( ) () () () ( ) : () () () : (http:/www.standard.go.kr) ： ：2009 12 15 2009-0819 ： ：() ( 02-509-7290) (http:/www.kats.go.kr). 10 5 , . KS B ISO 16063 15:

2、2009 15： Methods for the calibration of vibration and shock transducers Part 15： Primary angular vibration calibration by laser interferometry 2006 1 ISO 16063 15, Methods for the calibration of vibration and shock transducers Part 15： Primary angular vibration calibration by laser interferometry .

3、1 , ( ) . ( ) , KS B ISO 2041_2001 . 1 Hz 1.6 kHz 0.1 rad/s2 1 000 rad/s2( ) ( ) . 3. . 1 Hz ( 0.4 Hz) 0.1 rad/s2 3A 3B . 1A(8. - , A ) 1B(8. - , B ) 1 Hz800 Hz . 2A(9. , A ) 2B(9. , B ) 800 Hz1.6 kHz . 3A(10. - , A ) 3B(10. - , B ) 1 Hz 1.6 kHz . 1A, 1B 3A, 3B . 2A 2B ( .) . 1 1 3 KS B ISO 16063 11

4、 . 1 - , 2 3 -KS B ISO 16063 15:2009 2 . A B . A R (Michelson) - (Mach-Zehnder) . A 3 . B - . B ( , 360) . , , . 2 (KS B ISO 2041_2001 ) , . 4.11 11 . 2 . . ( ) . KS B ISO 2041_2001, KS B ISO 16063 1, 1： (ISO 16063 1： 1998, Methods for the calibration of vibration and shock transducers Part 1： Basic

5、 concepts) KS I ISO 266, 3 . a) 0.5 % 1 % b) 0.5 1 . ： 160 Hz, 80 Hz, 40 Hz, 16 Hz 8 Hz( 1 000 rad/s, 500 rad/s, 250 rad/s, 100 rad/s 50 rad/s) ( r.m.s. ) ： 100 rad/s2, 50 rad/s2, 20 rad/s2, 10 rad/s2, 5 rad/s2, 2 rad/s2 1 rad/s2 , (cut-off frequency) . k 2( ) KS B ISO 16063 1 . 4 KS B ISO 16063 15:

6、2009 3 4.1 4. 1. 3. . , . ( , ) . 4. 6 . ( 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8 10 ). 4.2 . a) ： 0.05 % b) ： 0.05 % . c) ： 0.05 % . 4.3 / 4.3.1 / . a) ： 2 % 1 . 2 3A 3B , . b) ： . A , 1 % . B , 2 m ( ) , (angular exciter) . c) ： 70 dB d) ： 0.05 % . 4.3.2 (Lorentz) . (air gap) . (1 Hz1.6 kHz) . 1 . 30 ( , ：1 rad). (6

7、0 , 1 rad) 14 . KS B ISO 16063 15:2009 4 1 2 3 4 5 6 1 ( ) 4.3.3 . “ ” . , 3 . . . KS B ISO 16063 15:2009 5 . - . , , 3A 3B(- ) . 4.4 (seismic block) 2 . , 2 000 . 0.05 % . , . 1 Hz 1.6 kHz 0.1 % . 4.5 - . (100 kPa 23 , 50 % ) , - 0.632 81 m . , 0 . 4.6 4.6.1 . (t) M(t) (t) ( ) fD(t) , (homodyne) (h

8、eterodyne) ( 3 8 10) 1 2 ( 3 8 10) . M(t) (t) , fD(t) (t) . A B . , A , B . , 2 m . KS B ISO 16063 15:2009 6 1A, 1B( 3 4 ) 2A, 2B( 5 6 ) , (light detector) . . 3A, 3B( 7 8 ) , 2 . 9 . 1/4 (retarder) 90 2 . , 2 , (Wollaston) 2 . 2 5 % , 5 % 90 5 . , . 2 . 3. , 210 2rad . . 2.510 2rad (1 Hz 1 rad/s2 )

9、 , 10 % 90 20 (10.2 1 ). . 1A, 1B, 2A, 2B, 3A 3B , , ( ) - ( 10 ) ( ) . A (4.6.2 ) B (4.6.3 ) . ( fmax) (1) (max) . sRfmaxmax= (1) R ： (A 4.6.2 B 4.6.3 ) s ： A s /2 , 2 s /4 . B s g , g 2 s g/2 . 4.6.2 A ( - ) 1A 2A , - (4.6.1 ). , (： 3 5 ) R KS B ISO 16063 15:2009 7 (180 ) 2 - (180 ) . - 2 . , (pho

10、todetector) ( .) . 2 (： ) (/2 /4 ). - ( ) ( , B ) . , ( ) . 3A , - , . 7 9 . . . - ( ) . /8 2 /4 . 2 , 90 ( , ) . - . . 45 , 2 . 2 , 2 90 . . 4.6.3 B ( ) (： ) (4.6.1 ). 1B 2B , ( 2, 4 6 ). , ( 2 400 grooves/mm 3 000 grooves/mm - )( 12 13 ). ( 2 ). He-Ne 1 ( ) 2 . 1 . , , . . 3B , ( 8 ). . 1 . 1 . .

11、KS B ISO 16063 15:2009 8 (0.5 % ) , s (7. ). 4.7 4.7.1 . ( ) 1A,1B( , 4.7.2), 2A, 2B( , 4.7.3) 3A, 3B( , 4.7.4) . 4.7.2 ( 1A 1B) . a) ： 1 Hz (20 MHz .) b) ： 0.01 % . 4.7.3 ( 2A 2B) . a) ： 800 Hz 1.6 kHz b) ： 12 % c) ： 24 dB . d) ： 70 dB . e) ： 60 dB . 800 Hz 1.6 kHz ( .) . . 4.7.4 - ( 3A 3B) - 2 . 3

12、. . 10 bits . 8 bits . 2 , ( ) . , 3. . (10.3 ) . , . . KS B ISO 16063 15:2009 9 10 Hz 1 000 rad/s2 4 Mbytes 20 kHz . 10.4 ( 3A 3B) . 4.8 r.m.s r.m.s. . a) ： 1 Hz 1.6 kHz b) ： 0.1 % r.m.s. ( ) 2 . 1A, 1B, 2A 2B r.m.s. . 3A 3B 4.7.4 r.m.s. ( ). 4.9 1 % 5 % , . a) ： 5 1 Hz 1.6 kHz b) ： 0.5 % 5 % 10 %

13、4.10 ( ) 1 Hz 2 MHz . 4.11 . , / ( ) ( A ). . (4.6 4.7 ) , 1B, 2B 3B . , 3. . 11 . 5 . a) ： (233) KS B ISO 16063 15:2009 10 b) ： 75 % . 6 ( r.m.s. ) . a) ( 1A, 1B, 3A 3B) 0.1 rad/s2, 0.2 rad/s2, 0.5 rad/s2, 1 rad/s2, 2 rad/s2, 5 rad/s2, 10 rad/s2, 20 rad/s2, 50 rad/s2, 100 rad/s2, 200 rad/s2, 500 rad/s2, 1 000 rad/s2(1 000 rad/s2 ) b) 1 Hz 1.6 kHz 1 000 rad/s (KS I ISO 266 ) 1/3 . 7 6 A1, B1, A2, B2, A3 B3 (A B ) R(“ ”) . s (2) . Rs=