SJ 20744-1999 半导体材料杂质含量红外吸收光谱分析通用导则.pdf
《SJ 20744-1999 半导体材料杂质含量红外吸收光谱分析通用导则.pdf》由会员分享,可在线阅读,更多相关《SJ 20744-1999 半导体材料杂质含量红外吸收光谱分析通用导则.pdf(5页珍藏版)》请在麦多课文档分享上搜索。
本标准规定了半导体材料中杂质含量的红外吸收分析方法的术语、基本原理、仪器设备、样品制备、测量条件、测量步骤和测量结果的计算。本标准适用于在红外光谱区为透明的并在该区域产生杂质吸收带的任何半导体单晶材料红外分析方法。
- 1.请仔细阅读文档,确保文档完整性,对于不预览、不比对内容而直接下载带来的问题本站不予受理。
- 2.下载的文档,不会出现我们的网址水印。
- 3、该文档所得收入(下载+内容+预览)归上传者、原创作者;如果您是本文档原作者,请点此认领!既往收益都归您。
下载文档到电脑,查找使用更方便
5000 积分 0人已下载
下载 | 加入VIP,交流精品资源 |
- 配套讲稿:
如PPT文件的首页显示word图标,表示该PPT已包含配套word讲稿。双击word图标可打开word文档。
- 特殊限制:
部分文档作品中含有的国旗、国徽等图片,仅作为作品整体效果示例展示,禁止商用。设计者仅对作品中独创性部分享有著作权。
- 关 键 词:
- SJ 20744 1999 半导体材料 杂质 含量 红外 吸收 光谱分析 通用
