DIN 32561-2012 Production equipment for microsystems - Tray - Dimensions and tolerances《微型系统用生产设备 托盘 尺寸规格和公差》.pdf

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1、Oktober 2012DEUTSCHE NORM Normenausschuss Feinmechanik und Optik (NAFuO) im DINPreisgruppe 7DIN Deutsches Institut fr Normung e. V. Jede Art der Vervielfltigung, auch auszugsweise, nur mit Genehmigung des DIN Deutsches Institut fr Normung e. V., Berlin, gestattet.ICS 39.020!$:“1912392www.din.deDDIN

2、32561Fertigungsmittel fr Mikrosysteme Werkstcktrger Anschlussmae und ToleranzenProduction equipment for microsystems Tray Dimensions and tolerancesEquipement production pour systmes microtechniques Porteur des pices Dimensions de raccordement et tolrancesAlleinverkauf der Normen durch Beuth Verlag G

3、mbH, 10772 BerlinErsatz frDIN 32561:2012-07www.beuth.deGesamtumfang 10 SeitenDIN 32561:2012-10 2 Inhalt Seite Vorwort . 3 Einleitung 4 1 Anwendungsbereich 5 2 Normative Verweisungen . 5 3 Begriffe 5 4 Anschlussmae und Bezeichnung . 5 4.1 Allgemeines . 5 4.2 Mae . 5 4.3 Bezeichnung 9 4.4 Feld fr Kenn

4、zeichnung . 9 5 Ausfhrung 9 Literaturhinweise . 10 DIN 32561:2012-10 3 Vorwort Dieses Dokument wurde vom Arbeitsausschuss NA 027-03-03 AA Fertigungsmittel fr Mikrosysteme“ im Normenausschuss Feinmechanik und Optik (NAFuO) im DIN erarbeitet. Es wird auf die Mglichkeit hingewiesen, dass einige Texte d

5、ieses Dokuments Patentrechte berhren knnen. Das DIN und/oder die DKE sind nicht dafr verantwortlich, einige oder alle diesbezglichen Patentrechte zu identifizieren. nderungen Gegenber DIN 32561:2003-09 wurden folgende nderungen vorgenommen: a) Anwendungsbereich przisiert; b) Begriffe berarbeitet; c)

6、 Differenzierung zwischen zwei Ebenen des Werkstcktrgers aufgenommen, wobei zwischen geringen und erhhten Genauigkeitsanforderungen unterschieden wird. Bilder, Tabellen und Bezeichnung entsprechend ergnzt und angepasst; d) Dokument redaktionell berarbeitet. Gegenber DIN 32561:2012-07 wurden folgende

7、 Korrekturen vorgenommen: a) Ma D in Bild 2 eingefgt und die Mabezeichnung des Maes O korrigiert, wobei die Legende entsprechend angepasst wurde; b) der Text zu 4.4 Feld fr Kennzeichnung“ wurde berarbeitet; c) Dokument redaktionell berarbeitet. Frhere Ausgaben DIN 32561: 2000-04; 2003-09; 2012-07 DI

8、N 32561:2012-10 4 Einleitung In dieser Norm wird der Werkstcktrger in zwei Ebenen definiert: Ebene 1 beschreibt einen Werkstcktrger mit geringen Genauigkeitsanforderungen fr Werkstckaufnahme und Transportaufgaben: die Positionierung der Werkstcktrger erfolgt ber seine Auenkanten; drei Ecken sind mit

9、 kleinen Fasen versehen, die vierte Ecke ist als Referenz zur Ermittlung der Werkstcktrgerorientierung strker angefast; die projizierte Breite der kleinen Fase definiert einen Rand, der fr Klemm- und Transportaufgaben genutzt werden kann. Die restliche Randbreite bleibt fr die mechanische Antastung

10、der vierten Referenzfase frei. Durch diese Manahmen wird die Nutzflche auf dem Werkstcktrger maximiert. Ebene 2 beschreibt einen Werkstcktrger fr erhhte Genauigkeitsanforderungen. Gegenber Ebene 1 kommen fr die Baugren 3 bis 12 folgende weitere Funktionalitten hinzu: Vereinzelung durch Stopperflchen

11、 beim Serientransport; przises Ausheben und Ablegen durch Auflageflchen; Position zum Anbringen einer Kennzeichnung festgelegt durch die Mae N und O; przise Positionierung in der xy-Ebene ber zwei Passbohrungen, in die maschinenseitig ein Zylinderstift und ein Messerstift zur przisen Festlegung der

12、Position und Orientierung eingreifen; zentrische Stopperflchen an allen vier Seiten; an allen Ecken Auflageflchen fr definierte z-Auflage von unten um 1 mm zurckgenommen. Diese Manahmen zur Erhhung der Positioniergenauigkeit fhren bei unvernderten Auenmaen in den jeweiligen Baugren zu einer Reduktio

13、n der Nutzflche gegenber Ebene 1. DIN 32561:2012-10 5 1 Anwendungsbereich Diese Norm gilt fr Werkstcktrger, die Werkstcke der Mikro- und Feinwerktechnik geordnet aufnehmen und zu deren Lagerung, Transport und Handhabung durch genormte Handhabungs- und Fertigungseinrichtungen eingesetzt werden. Diese

14、 Norm legt die einheitliche uere Gestaltung, Anschlussmae und Toleranzen, die Bezeichnung und das Feld fr die Kennzeichnung sowie die Ausfhrung dieser Werkstcktrger fest. 2 Normative Verweisungen Die folgenden zitierten Dokumente sind fr die Anwendung dieses Dokuments erforderlich. Bei datierten Ver

15、weisungen gilt nur die in Bezug genommene Ausgabe. Bei undatierten Verweisungen gilt die letzte Ausgabe des in Bezug genommenen Dokuments (einschlielich aller nderungen). DIN ISO 2768-1, Allgemeintoleranzen Toleranzen fr Lngen- und Winkelmae ohne einzelne Toleranzeintragung DIN ISO 2768-2, Allgemein

16、toleranzen Toleranzen fr Form und Lage ohne einzelne Toleranzeintragung 3 Begriffe Fr die Anwendung dieses Dokuments gelten die folgenden Begriffe. 3.1 Werkstck Bauteil oder System der Mikro- und Feinwerktechnik 3.2 Benennung Hilfsmittel, das geeignet ist, Werkstcke fr deren Lagerung, Transport und

17、Handhabung geordnet aufzunehmen und sich zum Zweck der automatischen Bauteilzufhrung an Fertigungsmodule adaptieren lsst 4 Anschlussmae und Bezeichnung 4.1 Allgemeines Toleranzen mssen ISO 2768-1 und ISO 2768-2 entsprechen, sofern sie in dieser Norm nicht anders definiert sind. 4.2 Mae Grenzabmae fr

18、 Mae ohne Toleranzeintragung: DIN 32561:2012-10 6 Der Werkstcktrger nach Ebene 1 ist nach Bild 1 und Tabelle 1 zu fertigen. Legende A Breite der Nutzflche B Seitenlnge C Dicke des Randes D Hhe der Werkstcktrgeroberflche ber Bezugsflche F Seitenlnge der groen Anfasung I Seitenlnge der kleinen Anfasun

19、g Bild 1 Ebene 1, Werkstcktrger fr geringe Genauigkeitsanforderungen DIN 32561:2012-10 7 Tabelle 1 Anschlussmae und Toleranzen Ebene 1 Mae in Millimeter Typ A B C F I 0,02 1 21 25 4 2 1 2 46 50 4 2 1 3 69 75 9 3 1 4 94 100 9 3 1 5 119 125 9 3 1 6 142 150 9 4 1 8 192 200 9 4 1 12 292 300 9 4 1 ANMERK

20、UNG Fett hervorgehobene Typen sollten bevorzugt verwendet werden. Das Ma D, die Hhe des Werkstcktrgers und seine Toleranzen (Grenzabweichung Ebenheit und Koplanaritt) sind in Abhngigkeit von der Anwendung frei whlbar. DIN 32561:2012-10 8 Der Werkstcktrger nach Ebene 2 ist gem Bild 2 und Tabelle 2 zu

21、 fertigen. Legende A Breite der Nutzflche B Seitenlnge C Dicke des Randes D Hhe der Werkstcktrgeroberflche ber Bezugsflche E Absatz der Auflageflche F Seitenlnge der groen Anfasung G Seitenlnge der Auflageflche I Seitenlnge der kleinen Anfasung J Breite der Stoppernut K Tiefe der Stoppernut L Durchm

22、esser der Passbohrungen M Abstand der Passbohrungen N Lage der Mitte der Kennzeichnung relativ zu den Passbohrungen O Lage der Mitte der Kennzeichnung relativ zu den Passbohrungen Bild 2 Ebene 2, Werkstcktrger fr erhhte Genauigkeitsanforderungen DIN 32561:2012-10 9 Tabelle 2 Anschlussmae und Toleran

23、zen Ebene 2 Mae in Millimeter Typ A C E F G I J K L M N O 0,02 0,02 0,05 0,02 0,02 0,02 0,02 0,02 H7 0,02 0,02 0,02 3 66 9 1 3 8 1 20 0,5 3 70 58,25 1 4 91 9 1 3 8 1 20 0,5 3 95 77 1 5 115 9 1 3 10 1 20 0,5 4 119 95,25 1,25 6 140 9 1 4 10 1 20 0,5 4 144 114 1,25 8 188 9 1 4 12 1 20 0,5 5 193 151 1,5

24、 12 288 9 1 4 12 1 20 0,5 5 293 226 1,5 ANMERKUNG Fett hervorgehobene Typen sollten bevorzugt verwendet werden. Die Seitenlnge, Ma B, entspricht den Angaben fr Ebene 1 (siehe Tabelle 1). Das Ma D, die Hhe des Werkstcktrgers und seine Toleranzen (Grenzabweichung Ebenheit und Koplanaritt) sind in Abhn

25、gigkeit von der Anwendung frei whlbar. 4.3 Bezeichnung Bezeichnung eines Werkstcktrgers des Typs 4 (T 4), Ebene 2: Werkstcktrger DIN 32561 T 4 E 2 4.4 Feld fr Kennzeichnung Wenn eine Kennzeichnung zwischen Hersteller und Besteller vereinbart wird, ist diese auf dem Rand rechts neben der Stoppernut a

26、nzubringen. Dabei darf die Dicke C des umlaufenden Randes nicht berschritten werden. Der Mittelpunkt der Kennzeichnung soll sich an der in Bild 2 durch die Mae N und O festgelegten Position befinden. 5 Ausfhrung Oberflchen und Werkstoffe in Absprache zwischen Hersteller und Besteller. DIN 32561:2012-10 10 Literaturhinweise Handhabung- und Fertigungseinrichtung der Halbleiterfertigungstechnik: Book of SEMI-Standards: Equipment Automation/Hardware Volume, Semiconductor Equipment and Materials International: 805 East Middlefield Road, Mountain View, CA 94043