GB T 12750-2006 半导体器件 集成电路 第11部分 半导体集成电路分规范(不包括混合电路).pdf
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1、ICS 31. 200 L 56 中华人民:H工-飞、本日国国家标准GB/T 12750-2006jIEC 60748-11: 1990 代替GB/T12750-1991 半导体器件集成电路第11部分:半导体集成电路分规范(不包括混合电路)Semiconductor devices-Integrated circuits一Part 11: Sectional specification for semiconductor integrated crcuits excluding hybrid circuits (IEC 60748-11:1990 ,IDT) 2006-08圄23发布中华人民共
2、和国国家质量监督检验检瘟总局中国国家标准化管理委员会2007-02-01实施发布G/T 12750-2006/IEC 60748-11: 1990 .u白咀目。画半导体器件集成电路分为如下几个部分:一-GB/T16464-1996半导体器件集成电路第1部分:总则(idtIEC 60748-1: 1984) 一-GB/T17574一1998半导体器件集成电路第2部分:数字集成电路CidtIEC 60748-2: 1985) 一-GB/T17940-2000半导体器件集成电路第3部分:模拟集成电路(idt IEC 60748-3: 1986) 一一IEC60748-4半导体器件集成电路第4部分:接
3、口集成电路一一IEC60748号半导体器件集成电路第5部分:半定制集成电路一一-IEC60748-11半导体器件集成电路第11部分:半导体集成电路分规程(不包括混合电路)本标准为第11部分,等同采用IEC60748-11:1990(半导体器件集成电路第11部分:半导体集成电路分规范(不包括棍合电路) (英文版)。本标准代替GB/T12750-1991(半导体集成电路分规范(不包括泪合电路门,本标准除等同IEC60748-11外,还将1995年和1999年的IEC两次修改单内容纳入本标准。本标准与GB/T12750-1991相比,存在如下技术性差异:一一为保持本标准中捞及到的IEC标准体系的统一
4、性和完整性,引用文件一律引用IEC原文。一一删除了GB/T12750-1991中的附录A加速试验程序。一-增加了规范性附录起草空白详细规范的指南和格式。一一表7中顺序按照IEC原文改为A、B和Do一-12.5.3.1条中增加相关系数的一个公式。一一表9中改变了采用LTPD的B、C和D组试验的抽样要求。为便于使用,本标准做了如下编辑性修改:a) 删除国际标准中的前言。b) 将IEC原文前言中的引用文件纳入本标准附录B的引用文件中。c) 按照GB/T1. 1的要求编制国家标准,将IEC原文中涉及到的表号和页码重新加以编排。d) 原文C组试验的铃没有标注原出处,现明确在C5分组。的为了达到表9中攒及
5、到的分组与B组分组的一致性,去掉不存在的B5a分组。本标准的附录A为规范性附录,附录B为资料性附录。本标准由中华人民共和国信息产业部提出。本标准由全国半导体器件标准化技术委员会归口。本标准起草单位:中国电子技术标准化研究所(CESl)。本标准主要起草人:王琪。I GB/T 12750-2006/IEC 60748-11: 1990 半导体器件集成电路第门部分:半导体集成电路分规范(不包括混合电路)1 范围本分规范适用于已封装2 总则本规范应与有规定了质量评所有用确能力批准程序尚如果需要一致性检本规范的IEC 607 2.2 温度推IEC 607 2.3 电压推IEC 607 2.4 与制造过2
6、. 4. 1 生产线生产线定义为1) 扩散;2) 芯片制备;3) 装配;后的最终加工和最终电5) 筛选适用时)。注:这些阶段不含质量评定程序。1) 扩散该阶段是从制造的初始阶段到划片前最后一道工序这一制造工艺操作。2) 芯片制备可以补充应用质量有效。该阶段是将晶园划分为芯片的制造工艺操作。就本规范而言,在制造厂方便时,可将这一阶段划人扩散阶段或者装配阶段。3) 装配该阶段是芯片粘接、引线键合和封装这一制造工艺操作。4) 最终加工和最终电测试该阶段是批放行前的最后一道制造工艺操作,包括:1 GB/T 12750-2006/IEC 60748-11: 1990 一一-电镀在内的引出端后处理(如果有
7、); 一一除覆;一一标志;一一-最终电测试。5) 筛选(适用时)该阶段可作为装配和/或最终加工的组成部分。其定义见下面第8章。2.4.2 生产批一个生产批通常由在一周内在相同生产线上通过相同工艺制造的相同型号的器件组成囚2.4.3 制造过程的更改1) 重要更改的定义对按照己批准的规范供货的产品而言,能影响产品质量或性能,或会使产品从器件的一个结构相似组转到另一个(新的或已存在的)组(见第6章)的制造工艺或技术的任何变动均视为重要更改。检查长有责任确定变动是否属于重要更改。下面3)中给出了重要更改的一些示例。2) 重要更改的程序必须将任何重要更改的通知书及证明保持质量的试验数据递交国家监督检查机
8、构CNSDou 重要更改的示例a) 芯片烧接一一从合金粘接变为环氧树脂粘接。改换设备但未改变工艺,或者用预制金片代替镀金表面,均不能视为重要更改。b) 晶片钝化一一从氮化硅变为二氧化硅;一一钝化层的顺序改变。钝化层的淀积方法改变不能视为重要更改。c) 封装材料一一-从陶瓷变为塑料;一一从塑料A变为塑料Bod) 金属化一一金属化层从金变为铝。e) 芯片尺寸和/或芯片版图设计一保护层和/或阻挡层的采用。f) 键合一一从热压变为超声方法;一一从金键合丝变为铝丝。g) 质量一致性检验期间的功能验证一一-试验程序中任何试验步骤的减少。3 转包当巳批准的制造厂涉及IECQC 001002中11.1. 2有
9、关转包的条款时,制造厂应保证满足下述条件:2 一一转包的制造工艺可以是将筛选并入其内的扩散工艺或者装配工艺。装配后的筛选也可以单独转包。而最终加工仅能与整个装配工艺除可以单础转旬的电镀外(见上述2.4.1)J一起转包。GB/T 12750-2006/IEC 60748-11: 199Q NSI应确知认证电子元器件质量评定体系(IECQ)内器件的检查长z 已获取IECQ地区外任一制造过程的全部评定和检验文件,包括每个受检样本的检验记录; 定期核实按商定条件实施质量评定和检验的情况。当部分工艺从一个制造场所转移到IECQ地区内的制造厂时,应向认证器件的检查长提供转移程序井取得他的同意。NSI应得到
10、通知并收到有关文件。检查要求和制造程序的任何更改应向认证器件的检查长报告,而重要更改则应由检查长向NSI报告(见上述2.4.3)。批准的制造厂应按详细规范的规定对认证器件进行验收试验,在IECQ地区之外的工广只要得到NSI的监督,也可进行这些验收试验。此外,验收试验也可以转包给IECQ地区内已批准的试验室。4 制造的初始阶段本分规范中该阶段的定义如下。4. 1 双极型器件改变纯P型或纯N型单晶半导体材料的第一道工序。4.2 单极型器件(例如MOS、场效应器件)基片的第一次氧化或基片上的第一次淀积。5 质量评定程序5. 1 鉴定批准程序一般采用IECQC 001002的11.3. 1方法b),其
11、抽样要求应符合本规范表8和表9的规定。然而,只要所采用的抽样要求在有关的空白详细规范里有规定,则允许采用程序规则)11.3.1方法a)。5. 1. 1 检验批检验批的定义见IECQC 001002的12.20此外,从中抽取样品用于A、B和C组检验的批应由相同生产线(见上述2.4. 1和下述6.2. 1)生产的符合下述条件的器件组成z一-A组和B组:一个检验批包括由检验批代码所表示的一个月内或连续4周内生产的器件。一-C组z提交周期检验的样品应是以连续3个月检验批代码或连续13周检验批代码所表示的3个月内制造的器件。一-D组:提交周期检验的样品应是以连续12个月检验批代码或连续52周检验批代码所
12、表示的12个月内制造的器件。5.2 能力批准程序见IEC60747-10新版本3.10(在考虑中)。6 结构相似性程序6. 1 总则6. 1. 1 目的结构相似性程序用于减少应经受试验的检验批数量。6. 1.2 原则对适用于一组器件型号的某项试验而言,如果遵循本章所述的以及适用于该项试验的结构相似性一般和特殊的判别规则(见表口,则可对组内的一个型号进行该项试验,而获得的结果可认为代表组内所有的型号。那些岁u据的确定系基于这样的原则,即对代表型号验证的一致性和可靠性有关的那些型号至少提供了同样的一致性和可靠性保证。3 ,p. 襄1结构相似姓对应试验判别规则规则判别试验壳形时夕夕和线口配。装引出端
13、数封装门类I .&.L. I . I I . .L_. I I _ .L. _._ I _ .L., I功能和内部|芯片|芯片I-H,t.I.b I芯片制I ., I工作电|工作温li | | i扩散线i|密度il i 电特性i功耗连线|粘接j面积比l1造工艺11源电压|度范围l! | i |(6.2.l)| i6.2.14)i i i判据(6.2.18)(6.2.10)1(6.2. 11) 1(6.2.12)1 .-.-. 1(6.2.13)1- 1 6.2.15)1(6.2.16)1 :-_ 1 (6.2.17) qd -qru -nhu 、。,-oh 封装|封装i外引线|最终材料|方法|
14、材料i加工标志方法尺寸主要的 浸洗液 盐雾 可焊性 引出端强度X 密封 湿热(空封器件 冲击一振动一稳 态加速度i 耐焊接热 温度快速变化 湿热非空封器件)1 贮存 电耐久性 相关性验证(适用时)25C和最高、最低温度下的附加动态特性25C和最高、最低温度下的附加功能和静态特性特殊的电试验 注z表中的表示该项判别规则对于所对应的试验来说是强制性的。因时 与molNoom目nog盆工. 4 也o结掏相似性程序不能用于A组检验中的电气试验和目检。6. 1. 3 应用条件1) 依次规定的试验和测量本章中描述的结构相似性程序适用于单项试验。当依次规定几项试验时,应根据下述原则:GB/T 12750-2
15、006/IEC 60748-11 : 1990 对分组内一系列试验的结构相似性编组而言,其判别规则取决于全部试验中最本质的试验。注:该原则用于自/C5分组时,最本质的试验即为温度快速变化飞2) 应用于质量评定程序结构相似性程序专门应用于质量评定程序,详细应用条件在第7章给出。6. 1. 4 结构相似性一般规则1) 可选一个型号作为一组型该周期内生产的型号;2) 对组内所有有关型的一组型号满足了试验提供最的如果一个器5) 如果器件按相同筛6. 2. 1一一-6.2.3一一封装6. 2. 6一一外引6.2. 7一一-最终加满足上述各条全部6. 2. 1 生产线器件应在相同的:一一扩散线;一一和/或
16、装配线;(见2.4.1)上制造的。6.2.2 外壳外形和尺寸端强度试似性有下详细规范里规定的外壳外形和尺寸应相同。6.2.3 封装族(见IEC60191-4规定的标准形式号在各周期可以不向,仅取决于试验应选用能为该项只能按其经受的从封装族的角度来考虑结构相似性,电路应安装于符合下述判别规则的外壳内:一一相同工艺的封装门类;一一相同的引出端形式和标称截面;一一相同的单一形式、相同的标称尺寸和相同的引出端数。5 GB/T 12750-2006/IEC 60748-11: 1990 6.2.4 封装材料封装材料应相同。6.2.5 封装方法用于空封的外壳密封方法或用于非空封的材料和方法应相同。6.2.
17、6 外引钱材料用子外引线及涂层的材料应相同(另见6.2.7)。6.2.7 最终加工不包括标志方法(另见6.2. 8)和最终电测试(见2.4. 1的4),对一个完整器件进行的最终加工过程应相同口6.2.8 标志方法标志的方法和外壳上采用的涂层应相同。6.2.9 引出端数只要组内器件的最多和最少引出端数之差符合下述要求,就可柑成单独一组。一一引出端数不多于24的外壳,差不大于4;-一一引出端数多于24的外壳,差不大于8。6. 2. 10 内部连线和内引线键合的材料内部连线的材料和标称截面应相同。形成内引线键合的材料和方法也应相同。6. 2. 11 芯片桔接芯片粘接所用的材料和方法应相同。6. 2.
18、 12 芯片面积比一组器件内最大与最小芯片面积比应不超过206. 2. 13 芯片制造工艺应按相同工艺生产芯片,即:一一基本技术和基本工艺相同(如肖特基、NMOS、CMOS等); 一一-盹化类型相同;一一版图设计规则和设计数据相同;一一执行基本功能的单元相同;一一-金属化方法和材料相同;一一基片材料和性能相同。6. 2. 14 密度器件的密度为单元数与芯片面积之比,按下式给出:D一元数c一芯片面积单元的定义并不重要,只要应用结构相似性规则时,组内各型号均采用相同的定义即可。有关型号的密度与受试器件密度之比应小于206. 2. 15 工作电源电压族规范和/或详细规范规定的工作电源电压应相同。6.
19、 2. 16 工作温度范围族规范和/或详细规范规定的工作温度范围应相同。6. 2. 17 功能和电特性判擂6 该判据意味着应满足下述两个要求:1) 在一个结构相似性编组里,所有的器件型号都应规定在同一空白详细规范及同一族规范(适用时)里。2) 适用时,对代表型号及有关的型号均有效的特定功能或电特性判据,按空白详细规范和/或族规洒的要求。GB/T 12750-2006/IEC 60748斗1:19906. 2. 18 功耗有关型号与受试器件功耗之比通常应小于1.2。然而,该比值也可以提高,只要有关型号结温的升高不超过50C即可。7 组和分组各组试验应按下表(表2表的:表2分组组I类E类E类A X
20、 B X 仁Cb X Db 筛选X a 一年进行一次,但可焊性每3个月一次。b 提交该组试验的样品应预先通过A组和B组试验。包含在分组里的特性在空白详细规班里规定,并在IEC60748号标准有关部分的1II额定值和特性中己强制性地列人。表3A组z远批AQL 分组检验或试验试验条件I类H类和E类IEC 60747-10 Al 外部目检的4.2.1. 1 1. 0 0.4 A2 除另有规定外,250C下功能验证O. 15 O. 1 A2a (不适用于I类)O. 4 最高工作温度下的功能验证a按详细规范规定A2b (不适用于I类最低工作温度下的功能验证a0.4 A3 25C下的静态特性0.65 0.
21、25 A3a 最高工作温度下的静态特性因1. 5 0.4 A3b 最低工作温度下的静态特性a2.5 0.4 A4 除另有规定外,25C下的动态特性1. 5 0.65 见相关标准A4a (不适用于I类)1. 0 最高工作温度下的动态特性aA4 b (不适用于I类1. 0 最低工作温度下的动态特性aa 如果制造厂能定期证明两个极限温度下的试验结果与25C下的试验结果相关(见12.日,则制造厂可以使用T.mb=25C下的试验结果。在这种情况下,与另一个分组的试验重复时,则不需要重复该出验。7 GB/T 12750-2006/IEC 60748-11 : 1990 分组检验或试验B1 尺寸B2c I电
22、额定值验证B4 I可焊性B5 I (仅适用于空封器件)密封细检漏粗检漏非空封器件温度快速变随后:B8 I电耐久性放行批证明记录表4B组:连批I类情况见总规范IEC60747-102.6) 引用标准IEC 60747町10,4.2.2和附录B见相关标准IEC 60749 II ,2.1 J 60749田,7.3或7.4赞全氟化碳液体沸点超过50C,例如:全氟-N-乙祷祷全氟化碳液体沸点超过150C,例如:全氟-磷酸三丁脂胶为主要成分。条件适用时,按规定按规定可于Qc试验严格度60h 10次循环细规班的规定,给出计数a 空白详细规范可允许减少A3、A3a和A3b分组试验项目至一个分组的最小要求。8
23、 分组l检验或试验C1 I尺寸C2a 环境温度下的电特性C2b 最高和最低工作温度下的电特性aC2c I电额定值验证:瞬态能量额定值bC3 I引出端强度C4 C5 耐焊接热温度快速变化ba)空封器件温度快速变随后:b)非空温度随后斗主芝一一用于一一叩用于非封器件随后:电测试C8 I电耐久性C9 I高温贮存(若详细规范中规定)Cl1 I标志耐久性CRRLI放行批证明记录特将为强加速湿热代替。拎恰在详细规范中自行规定。GB/T 12750-2006/IEC 60748-11 : 1990 表5C组z周期引用标准IEC 60747-10的4.2.2和附录B见相关标准见相关标准见相关标准IECP旦旦旦
24、!;,jl,;,冗引WIEC60749 N ,2 条件按规定按规定,如极限温度下测量按规定,如静电敏感器件(见IEC60747-1) 按相应封装规定,如拉力或转矩按规定严酷度1盟.24h . 、皿类为56d,1类、A3分组c问,1000 h,条件按本规范12.3 及(适用时)12.4的规定时间和温度按分规范或详细规范规定方法1按空白详细规范的规定,给出计数检查资料a 适用时,应在本规范C2b分组定期验证相关性(见本规范A2a、A2b、A挝、A3b、A妇、A4切。b 在连续3次通过该试验后,周期可放宽为一年一次。c 空白详细规范可允许减少A3分组试验项目。9 GB/T 12750-2005/IE
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