JJG 28-2000 平晶检定规程.pdf

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1、JJG 28-2000 平晶检定规程V rification Regulation of Optical Flat :JJG28-2000; !代替JJG89-1986 !JJG28-1991! !JJG29-1991; 本规程经国家质量技术监督局2000年07月09日批准，并自2000年09月15日起施行。归口单位:全国几何量工程参量计量技术委员会主要起草单位:湖南省计量测试技术研究所本规程委托全国几何量工程参量计量技术委员会负责解释1 2 本规程主要起草人:郭德陈勇刘丽娟曾玻JJG 28-2000 (湖南省计量测试技术研究所)(湖南省计量测试技术研究所)(湖南省计量测试技术研究所)(湖南省

2、计量测试技术研究所)JJG 28-2000 平晶检定规程1 范围本规程适用于平面平晶、平行平晶和长平晶(以下统称平晶)的定型鉴定(或样机试验)、首次检定、后续检定和使用中检验。2 引用文献本规程引用下列文献:JB/T 7401-1994平面平晶JB/T 7402-1994平行平晶JJF 1001-1998通用计量术语及定义JJF 1059-1999测量不确定度评定与表示GB/T 15464-1995仪器仪表包装通用技术条件GB 903-1987元色光学玻璃使用本规程时，应注意使用上述引用文献的现行有效版本。3 概述平晶是以光波干涉法测量平面的平面度、直线度、研合性以及平行度的计量器具。平面平晶

3、分单、双工作面平晶。按用途又可分为标准平晶和工作平晶两大类。工作平晶分为1，2级，标准平晶分为1，2等(其外形见图1)。tx4S tx45 Q 双工作面平晶单工作面平晶图1平行平晶共分四个系列，每个系列中尺寸相邻的四块可组成一套(其外形见图2)。长平晶按尺寸分为210mm和310mm两种(其外形见图3)。3 JJG 28-2000 b 刻商标编号图2非工作面(可)出!7乙-/-77-/-/ / / / / L 图34 计量性能要求4.1 平行度平行平晶两工作面的平行度(见表1的规定)。表1系列两工作面的平行度(m)1 , II 0.6 E 0.8 N 1.0 4 JJG 28-2000 4.2

4、 工作面平面度4.2.1 平面平晶工作面的平面度4.2. 1. 1 工作平晶工作面的平面度在任意两个相互垂直的截面上的要求(见表2)。两个截面的平面度之差对于1级平晶不大于0.03m，对于2级平晶不大于0.05m，在有效直径外只允许塌边，但1级平晶在有效直径外0.5mm内不得有塌边。表2平面度(m)项目有效直径d 1级2级(mm) 规格(mm)d范围内(2/3) d范围d范围内(2/3) d范围内30 25 0.03 0.1 0.05 45 39 0.03 0.1 0.05 60 54 0.03 0.1 0.05 80 72 0.05 0.03 0.1 0.05 100 92 0.05 0.0

5、3 0.1 0.05 150 140 0.05 0.03 0.1 0.05 200 188 0.08 0.05 0.12 0.06 注:(2/3) d指直径为有效直径d的三分之二，且在平晶的中心部位区域。4.2. 1. 2 只有规格尺寸为150mm的1级平晶才可检定为标准平晶。1等标准平晶测量的扩展不确定度u(是=3或=0 .99)不大于0.010m，有效直径内的平面度不大于0.03m，任意两个截面平面度之差不大于0.015m，(2/3) d内的平面度不大于0.015m; 2等标准平晶测量的扩展不确定度u(走=3或=0.99)不大于0.020m，有效直径内的平面度不大于0.05m，任意两个截面

6、平面度之差不大于0.03m，(2/3) d内的平面度不大于0.03mo(2/3) d内的平面度应与总偏差方向一致，两个截面的偏差方向也应一致。4.2.2 平行平晶工作面的平面度不大于0.1m(距工作面边缘。.5mm范围内只允许塌边)，中间三分之二直径范围内的平面度不大于0.05m。4.2.3 长平晶工作面的平面度(见表3的规定)。5 JJG 28-2000 表3平面度(m)规格(mm)在工作长度内(在无自重变形时)在横向40mm内210 0.30 0.1 310 0.45 - 0.15 0.1 注.表示凹4.3 非工作面的平面度4.3.1 平面平晶非工作面的平面度不应超过3m。4.3.2 长平

7、晶非工作面的平面度在任意100mm内不应超过1.0m。4 .4 稳定性1等标准平晶和210mm长平晶两次周期检定的平面度之差应不大于0.010m，:2 等标准平晶和310mm长平晶两次周期检定的平面度之差应不大于0.020mo5 通用技术要求5.1 外观及表面质量平晶非工作面上应标有制造厂厂名(或厂标)、出厂编号、:标志，长平晶非工作面上还应刻有受检点位置的十字刻线。刻字、刻线应清晰。平晶表面应无破损，玻璃材质应透明，无明显的气泡和条纹，对于新制造的和修理后的平晶表面疵病的尺寸和数量见附录A。使用中的平晶工作面允许有不影响准确度和不损伤被测量具工作面的划痕和破损。5.2 外形尺寸5.2.1 平

8、面平晶的外形尺寸(见表4的规定)。修理后的平晶厚度尺寸H允许对基本尺寸减少3mmo 表4mm 主芝工D H t b 30 30士0.810 :1:1. 35 1+00 .4 68 45 45 :1: 0.8 15士1.351+0 0.4 10 60 60 :1: 0.95 20 :1: 1. 65 1+00 .4 10 6 JJG 28-2000 表4(续)手工D H t b 80 80士0.9520士1.65 1. 5+g.4 10 100 100 :t 1. 1 25 :t 1. 65 1.5+g.4 10 150 150 :t 1.25 30 :t 1. 65 2+00 4 10 200

9、 200 :t 1. 45 40 :t 1. 95 3+00 .4 10 5.2.2 平行平晶的外形尺寸(见表5的规定)。对于修理后的平晶，其规格尺寸不应小表5口1日1规格尺寸系列尺寸极限偏差I H 回凹15.00 40.00 65.00 90.00 15.12 40.12 65.12 90.12 15.25 40.25 65.25 90.25 15.37 40.37 65.37 90.37 H :t 0.01 15.50 40.50 65.50 90.50 15.62 40.62 65.62 90.62 15.75 40.75 65.75 90.75 15.87 40.87 65.87 90

10、.87 16.00 41.00 66.00 91. 00 D :t 0.8 30 30 40 50 b 68 68 8 8 H1 9 34 59 84 t 1+00 .4 7 JJG 28-2000 于Hl但四块平晶尺寸H的递差必须在o. 11 0 . 14 mm之间。5.2.3 长平晶的外形尺寸(见表6的规定)。两面角倒角为(0 . 5 :t 0 . 1) mm，三面角倒角为(1士0.15)mm。表6m口1厚度长平晶长度宽度新制的彦理后210 :t 1 40 :t 1 25 :t 0.5 二三23310 :t 1 40 :t 1 30士0.5二三275.3 长平晶十字刻线位置长平晶的非工作面

11、上有表示受检点位置的十字刻线，对于210mm长平晶有7个十字刻线，刻线间隔为30mm，两端十字刻线距端面为15mm;对于310mm长平晶两端十字刻线距端面为20mm刻线间隔为30mm，共有9个间隔，另外在对称中点位置增加1个十字刻线，共11个十字刻线。以非工作面向上，厂标刻字顺序为准，左边第1个十字刻线为零位十字刻线，从零位十字刻线至其他各十字刻线的距离对标称尺寸的偏差应不大于0.1mm，两端十字刻线距端面的距离对标称尺寸的偏差应不大于0.2mm，十字刻线在平晶上的位置应对称。5.4 两端面夹角平面平晶工作面与非工作面的夹角对于D30mm D100 mm平晶为1020之间，对于D150mm D

12、200 mm平晶为12之间。长平晶工作面与非工作面的夹角，在纵向两端厚度差应不大于0.1mm，在横向两端厚度差应在0.10.2mm之间。5.5 工作面与圆柱母线的垂直度平行平晶工作面与圆柱母线的垂直度不大于1006 计量器具控制计量器具控制包括首次检定、后续检定、使用中的检验、定型鉴定或样机试验。6.1 检定项目及主要检定设备检定项目和主要检定设备见表706.2 检定条件6.2.1 平面平晶、长平晶检定前必须放置在(20士们和湿度不大于80%RH的检定室内进行等温，等温时间不少于表8的规定。6.2.2 平行平晶检定前必须放置在(20士3)C和湿度不大于80%RH的检定室内进行等温，等温时间不少

13、于10h。JJG 28-2000 表7检定类别序后续检定使新检定项目主要检定工具用平平长周中行面修号制期的平平平理晶检检晶晶后的定验1 外观及表面质量放大镜+ + + 十 i二总A 游标卡尺、立式2 外形尺寸光学计、6等或+ + A A A 3级量块、测长仪两端面夹角百分表、专用I 3 + + 正二台架、表式卡规4 十字刻线位置万能工具显微镜+ + i二总工作面与游标角度规A 5 + + 母线垂直度6 非工作面平面度平面平晶+ + i二i二队两工作面的平行度光学计或激光7 + 平面等厚干涉仪+ + + 三江标准平晶、8 工作面平面度平面等厚干涉仪、+ 十+ + A A A 平面等倾干涉仪长平晶

14、自重变形量平面等倾干涉仪、9 + + A 长平晶及专用硅码注:表中+表示应检定，表示可不检定，6，表示该类平晶有此项目9 JJG 28-2000 表8平晶类别平晶规格(mm)等温时间(h)30 , 45 10 60 16 平80 18 面平100 20 晶150 30 200 35 210 10 长平晶310 16 6.2.3 检定平面度前，平晶在仪器内等温的时间和室温变化见表9的规定。表9平晶类别平晶规格(mm)等温时间(h)24 h室温变化(t)1 h室温变化(t)30 , 45 , 60 0.5 2.5 0.5 平面平晶80 , 100 1 1.5 0.2 150 , 200 2 1.0

15、 0.1 1 , II系列0.5 2.5 0.5 平行平晶IIL N系列1 2.5 0.5 210 1 1. 0 0.1 长平晶310 1. 5 1.0 0.1 10 JJG 28-2000 6.3 检定方法6.3.1 外观及表面质量以黑色屏幕为背景，在815W日光灯照射下，借助46倍放大镜，目力观察。6.3.2 外形尺寸平行平晶中心长度尺寸H用6等或3级量块在光学计上进行比较检定，也可以用测长仪直接检定或用测量的扩展不确定度U(k =2或=0.95)不大于2.5m的其他方法进行。其他外形尺寸用游标卡尺进行检定。6.3.3 长平晶十字刻线位置在万能工具显微镜上检定。6.3.4 两端面夹角平面平

16、晶两端面夹角用1级百分表和专用台架或表式卡规检定。检定时，在任意直径方向两端的读数差(见表10的规定)。长平晶两端面的夹角用分度值为0.02mm的游标卡尺检定。表10口1口1平晶规格百分表i卖数差30 0.09-0.17 45 0.13-0.26 60 0.17-0.35 80 0.23-0.47 100 0.29-0.58 150 0.31-0.65 200 0.41-0.87 6.3.5 工作面与圆柱母线的垂直度用分度值不大于5的游标角度规进行检定。6.3.6 非工作面的平面度平面平晶采用不小于被检平面平晶直径的2级平晶检定，长平晶用D100mm2级平晶检定。11 JJG 28-2000

17、6.3.7 两工作面的平行度用光学计或测量的扩展不确定度U(是=3或=0.99)不大于0.2m的其他方法进行检定。检定时，在4个均匀的直径方向距边缘1mm的8个点上进行测量，每点测量两次取平均值，在8个测得值中，取其最大差值作为平行度。平行度也可以在激光平面等厚干涉仪上检定。检定时，将平行平晶放人干涉仪工作台上，调整工作台，使视场中出现平行平晶上下两工作面产生的干涉条纹，测量条纹的间隔和视场中平行平晶工作面直径D，则平行度为:式中:一一激光波长，nm; t1 =Dx -: a 2n n-平行平晶玻璃材质的折射率。6.3.8 工作面的平面度6.3.8.1 与标准平晶比较法(1) 平行平晶及D30

18、mm D100 mm的工作平晶用平面等厚干涉仪与2等标准平晶比较检定;D150 mm的1级平晶用平面等倾干涉仪与1等标准平晶比较检定，D150 mm 的2级平晶用平面等倾干涉仪与2等标准平晶比较检定;D30 mm D150 mm的1级、2级平晶也可在带标准平晶的平面等厚干涉仪上检定。平面度的检定应在任意相互垂直的截面上进行。6.3.8.2 多面互检法参加互检的平晶其外形尺寸、材料应一致。平面平晶被检两个截面应与刻字成450(见图的，长平晶只检一个截面。3 2 4 图4a)三面互检法D150 mm以上的1级、2级平面平晶及长平晶可采用三面互检法在等倾干涉仪上12 JJG 28-2000 进行检定

19、。三面互检组合时必须选用一块已知平面度(平面平晶应为1级)的平晶参加互检，该平晶此次的检定结果与原己知的平面度之差应不大于0.015m，否则应重新检定。平面平晶互检时应注意直径截面方向要一一对应。用三面互检法检定，每块平晶每点的平面度偏差值由(2)式求出:A二(Ta创+Ta口-T bci ) 2 R = iTabi + T bci - T aci ) 2 C一(Ta口十Tbci- T abi ) ! 2 式中:人，鸟，C;一-A，B , C三块平晶在i点的平面度偏差值;(2) Tabi, Ta口，Tb口一-A，B , C三块平晶互检时，在i点的平面度偏差值之和。b)四面互检法1等、2等标准平面

20、平晶及长平晶在等倾干涉仪上用四面法检定，4块平晶依次组合6次互检，每块平晶的平面度偏差值按(3)式计算:A; = 2 (Tabi + Ta口+Tadi)一(Tbci+ T cdi + T bdi ) -6 R = 2(T，础+T bci + Tbdi)一(Ta口+T cdi + T，础)-6 c二2(Taci+ T bci + Tcdi)一(Tabi+ T，+ T bdi ) 6 D二2(T，+ T bdi + T，呻)一(T础+T bci + Ta口)6 并由公式(4)计算检定结果的残差:/).jki - i + Ki - Tjki 式中:/).jki一一平晶J和K互检时，在i点的残差;,

21、K一一分别为A，B , C , D四块平晶中的某两块;Tjki一一互检的某两块平晶在i点的平面度偏差值之和;儿，Ki一一一分别为平晶，K在i点的平面度偏差值。测量两平晶平面度之和时的标准不确定度Ul由下式计算:Ul-厚式中:2: /).主i一-6n个残差平方之和;(3) (4) (5) n一一截面被测点数。对于D150mm平面平晶，n = 5;对于210mm长平晶，n =7;对于310mm长平晶，n = 10。测量每块平晶的平面度的标准不确定度均可由公式(6)求出:13 JJG 28-2000 U2 =而L(6) 对于1等平面平晶、210mm长平晶，其平面度测量的扩展不确定度u(是=3或= 0

22、.99)应不超过0.010m;对于2等平面平晶、310mm长平晶，其平面度测量的扩展不确定度u(是=3或=0.99)应不超过0.020m。否则应重新检定。6.3.8.3 如果三种方法检定结果出现争议时，应以四面法互检的结果为准。四面法检定平晶数据处理见附录C。6.3.8.4 等厚干涉法和等倾干涉法见附录D和附录Eo6.3.9 长平晶横向40mm内平面度用D60mm1级平晶检定。6.3.10 新制造的和修理后的长平晶需检定其自重变形量，检定方法见附录F。6.4 定型鉴定或样机试验6 .4 .1 总则6.4. 1. 1 平晶制造厂对新研制的各型式的平晶都要申请办理定型鉴定或样机试验。6 .4.1.

23、2 未经许可，不得对己批准的型式作修改和补充。6.4.2 定型鉴定的技术文件根据JF1015-1990计量器具定型鉴定通用规范的要求，提供相应的技术文件。6 .4.3 定型鉴定项目和样品的抽样方法6.4.3.1 定型鉴定时，除包括本规程中的全部检定项目(见表7)外，还应对平晶材料的应力双折射、条纹度、气泡度进行试验，其试验方法和步骤应按附录B进行。必要时，还可对平晶的包装及储运基本环境条件进行试验，其试验可参照GB/T15464-1995 仪器仪表包装通用技术条件进行。6.4.3.2 定型鉴定的样品应从出厂检验合格的产品中随机抽取，抽样采用GB2829中一次抽样检查。6 .4 .3.3 定型鉴

24、定的项目分组，判别水平(DL)，不合格质量水平(RQL)和抽样方案见表11的规定。表11不合格类别技术条款RQL 抽样方案DL A 计量性能要求30 Ac= 0; Re= 1 B 附录B65 Ac= 1; Re=2 I C 通用技术要求100 Ac= 2; Re= 3 6.4.3.4 申请系列新产品的定型鉴定，每系列产品中选取二分之一有代表性的规格进14 JJG 28-2000 行试验。系列新产品的试验规格的选择，应由定型鉴定的技术机构根据申请单位提供的技术文件确定。6 .4 .4 样机试验的申请与新产品定型鉴定的申请一样。样机试验的试验项目和试验方法，应与已定型的试验项目和试验方法一致，其技

25、术指标不得低于已定型的型式。7 检定结果处理经检定符合本规程要求的平晶，出具检定证书;对于1，2等标准平晶和长平晶，检定证书中应给出检定结果及其扩展不确定度。不符合本规程要求的平晶发检定不合格通知书，并注明不合格项目。8 检定周期工作平晶根据使用情况确定检定周期，最长不超过1年。标准平晶和长平晶检定周期为1年，5年后可延长至2年。15 JJG 28-2000 附录A平晶表面疵病的尺寸及数量A.l 平晶工作面的表面疵病(见表A的规定)。A.2 平晶的工作面表面疵病不应密集。对非工作面表面疵病未超过表A规定时，在限定D20mm范围内，D (0.40.7) mm的粗麻点允许3个，宽度为0.040.0

26、7mm 的粗擦痕总长度允许20mmo 表A平面平晶(mm)平行平晶序单D30 D45 D60 D80 D100 D150 D200 名称各非各非各非各非各非各非各非号位工工工工工工工工工工工工工工I H 皿凹作作作作作作作作作作作作作作面面面面面面面面面面面面面面D (0.015 1 0.2) mm麻点个20 31 43 57 73 112 150 22 22 30 38 总数量D (0.015 2 O. 7) 个25 39 mm麻点54 72 92 140 188 总数量D (0.1 3 0.2) mm 个3 4 5 7 粗麻点(其9 14 19 3 3 4 5 中)D (0.4 4 0.7

27、) mm 个粗麻点(其3 4 5 7 9 14 19 中)宽度为0.006 5 0.02 mm nnr 50 78 108 142 184 280 376 56 56 76 96 擦痕总长度三三16 JJG 28-2000 表A(续)平面平晶(mm)平行平晶序单D30 D45 D60 D80 D100 D150 D200 名称各非各非各非各非各非各非各非号位工工工工工工工工工工工工工工I E E 凹作作作作作作作作作作作作作作面面面面面面面面面面面面面面宽度为6 .010.07 50 78 108 142 184 280 376 mm擦痕总日宜I1长度宽度为O.Ol 7 0.02 mm mrr

28、. 5 7.8 10.8 14.2 18.7 28 5.6 5.6 7.6 9.6 粗擦痕(其中)宽度为8 .040.07 mm粗擦痕Imm 5 7.8 10.8 14.2 18.4 28 (其中)注:长平晶表面疵病参照D150mm平面平晶的表面疵病要求17 附录BB.1 中部应力双折射试验B. 1. 1 试验目的JJG 28-2000 平晶材料的试验方法确定平晶材料的中部应力双折射是否符合GB903-1987无色光学玻璃中2.2.3.1的要求，即中部应力双折射以最长边中部单位长度上的光程差B(nm/cm)表示时，应达到2类(小于或等于6nm/cm)。B. 1. 2 试验设备B. 1.2.1

29、试验设备可采用普通检偏器偏光应力仪或半影检偏器偏光应力仪。B. 1.2.2 测量范围不小于300mm的游标卡尺。B. 1. 2.3 试验设备的主要光学元件技术指标要求:一一干涉滤光片的峰值波长为(540:t 5) nm，半宽度6nm，在可见光区不允许有次峰。一-14波片的光程差为(135士们口m。一一偏振片的偏振度不低于0.99。B. 1. 3 试验要求B. 1.3.1 平晶按尺寸大小在实验室的恒温时间(见表B.1的规定)。表B.1时间厚度(mm)(h) (0 , 10) (10 , 20) (20 , 40) 边长或直径(mm)(0 , 50) 2 2 4 (50 , 100) 2 4 8

30、(100 , 150) 4 8 16 B. 1. 3.2 折射液与平晶的折射率之差不大于0.0150(40 , 60) 16 24 B. 1. 3.3 采用普通检偏器时，对总光程差测量的扩展不确定度U(走=2或户二0.95)为3nm;采用半影检偏器时，总光程差测量的扩展不确定度u(走=2或=0.95)为1 nm。B. 1. 4 试验步骤B. 1.4.1 采用普通检偏器偏光应力仪时，通过检偏器观察平晶，如发现干涉暗带为两条，则干涉级次N=O。转动检偏器，两条干涉暗带向中部靠拢，直至最暗。读取度盘转角，按下式计算总光程差:式中:8max -总光程差，nm; N一一干涉级次;JJG 28-2000

31、8 = N十一旦318一A一一测量用单色光波长，nm; 一一检偏器偏转角，C)。(B.1) 如发现有成对多条干涉暗带，则将干涉滤光片撤离光路，记下两条黑色暗带间的干涉条纹数N;再将干涉滤光片置人光路，转动检偏器，使最靠近平晶中部的两条暗带向中部靠拢，直至最暗。读取度盘转角，按公式(B.1)计算总光程差maxOB. 1.4.2 采用半影检偏器偏光应力仪时，通过检偏器观察平晶的两条干涉暗带，转动检偏器，使两条暗带向中部靠拢，直至最暗，确定干涉暗带的收缩中心与半影检偏器的中心重合，并使半影检偏器的分界线与平晶的干涉暗带方向垂直。然后转动半影检偏器，直至两半视场亮度相同，读取度盘转角，按公式(B.1)

32、计算总光程差maxoB. 1. 5 试验结果B. 1. 5.1 按下式计算平晶每厘米长度上的光程差此(nm/cm): 式中:max-最大总光程差，nm; L一一测量方向的长度，cm。=Sm皿-n L (B.2) B. 1. 5.2 按GB903-1987元色光学玻璃中的2.2.3.1的规定，确定平晶材料的中部应力双折射的类别。B.2 条纹度试验B.2.1 试验目的确定平晶材料的条纹度是否符合GB 903-1987元色光学玻璃中2.2.4.1和2.2.4.2款的要求，既每300cm3平晶材料中允许有长度小于12mm的条纹影像10根，但彼此相距不得小于10mm;观察方向数为2。B.2.2 试验设备

33、B.2.2.1 技影条纹仪B.2.2.2 投影条纹仪的技术指标为:一一在正常工作时技影屏上照度不小于201x。一一检测边长或直径小于150mm的平晶时聚光镜的组合焦距为4060 mm。检测边长或直径小于300mm的平晶时则组合焦距为80100mmo 一一-应带有直径为(1:l:0.05) mm、(2士0.05)mm、(4:l:0.05) mm的光阑各一个，并能快速定位。一一滤光片系厚度为1mm的有色玻璃，其牌号为AB4、ABs、AB6、AB7AB16、19 LBl1、QB22各一块，并能快速转换。B.2.3 试验要求JJG 28-2000 B.2.3.1 折射液与被检平晶的折射率之差不大于0.

34、001，并保持清洁。B.2.3.2 检测时，液槽沿通光方向的液层厚度不大于40mmo B.2.3.3 平晶与投影屏间的距离为(250i: 10) mm;光阑与投影屏间的距离为(750士30)mmo B.2.4 试验步骤B.2.4.1 用辐射状分划板校正仪器，使仪器处于正常状态。B.2.4.2 选择适当的液槽和折射液，将液槽置于载物台上，倒入适量折射液，放人被检平晶，检测时载物台转动i:45。角，以便正确判断被检平晶内条纹的程度。B.2.5 试验结果按GB903-1987元色光学政璃中2.2.4.1和2.2.4.2款的规定，进行条纹度的分类定级，应达到2类B级。B.3 气泡度试验B.3.1 试验

35、目的确定平晶材料内部含有的气泡程度，从而按GB903-1987无色光学玻璃中2.2.5.1和2.2.5.2款的规定对平晶的气泡度分类定级。B.3.2 试验设备B.3.2.1 专用气泡度仪B.3.2.2标准气泡样品，尺寸为10mm X 10 mm x 10 mm，内含气泡的直径(见表B.2)。表8.2标样编号气泡直径标样编号气泡直径标样编号气泡直径1 0.05 5 0 .4 9 0.8 2 0.1 6 0.5 10 0.9 3 0.2 7 0.6 11 1.0 4 0.3 8 0.7 12 1. 2 B.3.3 试验条件B.3.3.1 折射液的折射率与被检平晶的折射率之差不大于0.0010B.3

36、.3.2 测量时，被检平晶上的照度不低于5000 lxo B.3.4 试验步骤20 mr口标样编号气泡直径13 1.4 14 1. 6 15 1.8 16 2.0 JJG 28-2000 B.3.4.1 调整照度，使平晶内直径为0.05-2.0mm的气泡依次可见。B.3.4.2 对照标准气泡样品判断和记录平晶内的气泡直径和个数。B.3.4.3 量取被检平晶的尺寸并计算其体积。B.3.5 试验结果B.3.5.1 平晶的气泡度类别根据其直径或最大长边所含最大气泡的直径，按GB903一1987无色光学玻璃标准第2.2.5.1款中的气泡度分类图，确定平晶材料的类别。应达到u0类。B.3.5.2 平晶的

37、气泡度级别根据每100cm3平晶内含有气泡的总截面积(扁长气泡取最长轴与最短轴的算术平均值为直径计算截面积)，按GB903-1987元色光学玻璃标准第2.2.5.2款中表12的规定，确定平晶材料的级别。应达到B级。平晶的气泡度级别也可根据100cm3平晶材料中所含的气泡数量，按GB903-1987无色光学玻璃标准中的附录A的规定，确定其级别。应达到B级。21 JJG 28-2000 附录C四面法检定长平晶数据处理表C.l检定干涉干涉环直径(mm)干涉E- .,= 2 2 位置环级环级. Ki = (Li/ Fi= 温度备注E一z (mm) 序N1D1= 数KiKi-KO . i /2 (t)

38、d1 d 2 Ln) Kn .K i d1 - d2 。6.10 3.23 2.87 0.525 。30 +1 5.75 3.60 2.15 1. 295 0.770 0.016 - 0.754 -0.222 60 +1 6.33 3.05 3.28 1.686 1.161 0.032 一1.129- 0.333 90 +1 6.48 2.09 3.58 1. 817 1.292 0.048 -1.244 -0.367 19.5 组120 十16.40 2.98 3.42 1. 746 1. 221 0.064 一1.157-0.341 主口150 十15.92 3.55 2.37 1.358

39、 0.833 0.080 - 0.753 -0.222 180 。6.29 3.17 3.12 。.6210.096 0.096 。检定干涉干涉环直径(mm)干涉E- .,= 2 z 位置环级环级.K i = (Li/ F-温度备注E一1 (mm) 序N1D1 = 数K，Ki-KO Ln) K .i/2 (t) d1 d 2 .Ki d1 - d2 。6.02 3.46 2.56 0.418 。30 。6.75 2.61 4.14 1.093 0.675 0.032 - 0.643 -0.190 60 十16.15 3.30 2.85 1.518 1.100 0.065 1.035 0.305

40、 () 90 +1 6.38 3.01 3.37 1.724 1.306 0.098 一1.208-0.356 19.8 组120 十16.22 3.29 2.93 1.547 1.129 0.130 0.999 0.295 I口150 +1 5.53 3.93 1. 60 1. 163 0.745 0.162 - 0.583 -0.172 180 。6.32 3.22 3.10 0.613 0.195 0.195 。22 JJG 28-2000 表C.l(续)检定干涉干涉环直径(mm)干涉E,= l:. -l:. K, = 2 z F. = 温度位置环级环级(L;I E;一备注(mm) 序N

41、1D1 = 数K;K;-Ko Ln) Kn l:.;/2 (C ) d1 d 2 l:. K; d1 - d2 。6.20 3.33 2.87 0.525 。30 。6.84 2.61 4.23 1.141 0.616 0.030 - 0.646 一0.19160 +1 6.17 3.38 2.79 1.496 0.971 0.061 一1.032-0.如4口90 +1 6.28 3.28 3.00 1. 574 1.049 - 0.091 -1. 140 -0.336 20.5 组120 +1 6.01 3.56 2.45 1.383 0.858 - 0 .121 0.979 0.289 主

42、口150 。6.70 2.82 3.88 0.960 0.435 一0.1520.587 -0.173 180 。5.97 3.65 2.32 0.343 - 0.182 一0.182。检定干涉干涉环直径(mm)干涉E- l:. -1 z 位置环级环级l:. K; = (L;I F,= 温度备注D1 = E;一(mm) 序N1数K;K;-Ko l:.;/2 (C ) d1 d 2 Ln) Kn l:.K; d1 - d2 。6.51 3.33 3.18 0.645 。30 。6.96 2.79 4.17 1.109 0.464 0.004 - 0.460 -0.136 60 +1 6.04 3

43、.74 2.30 1.337 0.692 0.008 - 0.684 -0.202 们90 +1 6.22 3.62 2.60 1. 431 0.786 0.012 0.774 0.228 19.2 组120 十16.26 3.54 2.72 1.472 0.827 0.016 - 0.811 -0.239 主口150 +1 5.93 3.92 2.01 1.258 0.613 0.020 0.593 0.175 180 。6.56 3.32 3.24 0.669 0.024 0.024 。23 JJG 28-2000 表C.l(续)检定干涉干涉环直径(mm)干涉E- fl.,= fl. K;

44、 = z z F;士温度位置环级环级(L;I E一备注z (C ) (mm) 序ND士数K;Ki-KO fl.;12 d d2 Ln) Kn fl. K, d - d2 。6.42 3.62 2.80 0.500 。30 。6.94 3.03 3.91 0.975 0.475 0.020 一0.455-0.134 四60 +1 5.95 4.08 1. 87 1.223 0.723 0.039 - 0.684 -0.21但口90 +1 6.14 3.90 2.24 1.320 0.820 0.058 0.762 一0.22519.4 组120 +1 6.25 3.72 2.53 1.408 0

45、.908 0.078 0.830 -0.245 主口150 十15.84 4.16 1.68 1.180 0.680 0.098 一0.582-0.172 180 。6.57 3.46 3.11 0.617 0.117 。检定干涉干涉环直径(mm)干涉E-fl. -fl. K, = z z F;= 温度位置环级环级(L;I E一备注z (mm) 序N1D1 = 数K;K;-Ko fl. ; 12 (C ) d1 d 2 Ln) Kn fl. K; d1 - d2 。7.32 2.85 4.47 1.274 。30 十16.73 3 .47 3.26 1.678 。.4040.062 0.342

46、 -0.101 们60 +1 7.12 3.07 4.05 2.046 0.772 0.125 一0.647-0.191 口90 +2 6.04 4.15 1.89 2.228 0.954 0.188 0.766 -0.226 19.2 组120 十26.02 4.24 1. 78 2.202 0.928 0.250 一0.678-0.2 1口150 +1 7.11 3.10 4.01 2.025 0.751 0.312 0.439 一0.130180 十16.73 3.54 3.19 1.649 。.375。24 检定位置(mm)平晶A。30 0.139 60 0.215 90 0.240

47、120 - 0.194 150 0.110 180 。注:D o =3.96 mm，= 0.590m JJG 28-2000 表C.2工作面元自重变形平面度(m)平晶B平晶C。- 0.085 0.053 - 0.112 - 0.093 - 0.120 - 0.116 - 0.144 - 0.099 -0.111 - 0.064 。U=0.010m 平晶D。0.050 - 0.092 - 0.104 - 0.099 - 0.063 。25 JJG 28-2000 附录D等厚干涉法D.l 在等厚干涉仪上检定平晶时，应调整干涉条纹的间隔，使被检区域出现3或5条干涉条纹。D.2 平面度F的大小，由通过

48、直径的最大弯曲量b与条纹间隔的比值乘以/2( 为所用光源波长)来确定(见图D.l)，即A-2 b-a 一F (D.l) 图D.lD.3 评定平面度时，当所检定二截面出现的平面度符号相同时，取其中绝对值最大值为平面度(见图D.2(a)，符号相反时，则取两者绝对值之和为平面度(见图D.2(b)。D.4 工作面呈凸形时，平面度取正号;工作面呈凹形时取负号。符号的判别按下述方法确定:在图D.3的a或b轻轻加压，如果条纹变密，加压处是接触点(或低级条纹所处位置)j如果条纹变宽，则加压另一端是接触点。当条纹的曲率中心与接触点同侧，则表明呈凸形，测得值取正号;反之，则表明呈凹形，测得值取负号。26 t一一一-一一-J二-r-/ / / / / J/ / / / ( a) 凸表面JJG 28-2000 图D.2图D.3一/二, , , , (b) 凹表面D.5 检定结果减去标准平晶的平面度，方为被检平晶的平面度。当被检工作平晶直径小于或等于100mm时，应按下式计算标准平晶在该区域的平面度，即/:,.F = I至2)X FOh 96 1 O CD.2) 式中:d一一被检平晶有效直径，mm; F96一一标准平晶在9