JJG 101-1981 接触式干涉仪检定规程.pdf

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1、接触式干涉仪检草规程JJG 101-81 回去:j十l止总局颁布计主tUI!XI!Li:出)，(北京利l.ifl电1116:7.)北京计量印刷广印刷新华书店北京发行所友行各地新华书店经岱开才，S50XI1681/32fM 1/2 字数12千字印数10001-25000M11112月第一版1川年4月第二次印刷统一书号15210131:Q!捻川11元接中华人民共和国计量器具检寇规程触式干涉JJG 101-81 1事国家计量总局北京仪Verification Regulation of Contact Type Interferometer 血事-SSSS旷aEVFHJV呻HCUA咱也V叫去品vav

2、-3Haw内xu-dm飞略一长叫dww嘈BE、，wvumGM H./飞晶啼均阻规制崎T山替制崎代制州酬2 品、-Av品、.品E言接触式干涉仪检定规程本检定规程由上海市标准计量局组织报批，经国家计量总局于1981年4月29日批准，自1982年1月1日起施行.归口单位z中国计量科学研究院起草单位z上海市计量技术研究所主要起草人z周方德本规程技术杂文由起草单位负责解释.目录一概述. . 0 ,. ,e. C 0 .0.01:1. (1) 二、检定项目和检寇工具。，. , 1111 (1 .1 .=0 &. 0 .=0 10 1:1 &011 0.e 111111. ，) 式中:n-一从刻度尺上零点起

3、31IJ受检点的分度数pf一一刻度尺的分度1n;，-一被检仪器所附干涉滤光片的波f主FA且一甲波长的误差(不应超过20A) 22.2检定方法:检定前先将零级干涉带调查刻皮尺-50外4条干涉带处，以2等量块配亮!法检定.检定工作应在分度值为0.2，0.1, 0.05m情况下分别进行.分度f直为队2!_tm时，受栓点为士50分度;分度假为0.1m时，受检点应为士20分度p分皮直为0.05m时，受检点应为土40分度.分度数可按下列公式计算zn=主旦(2) 2i 式中:n一-K条干?步带!可限所包含的分度数2一一干?步滤光片波长Ft一咀分度直FL一采用向干涉带间隔数，建议技表2选择.共13页第10页J

4、JG 101一81表2分度假(;Lm)0.05 0.2 K 8 32 检定O.2!lm分度佳时，可选用尺寸为1，1.01，1.02，1.03，1.04, 1.05mm的量块.检定时将装有球形测I1J冒的测量头与球捞工作台测头相接触，并找到最高点，然后按以下次序进行检定za 用lmm-l是块叶零以1.01mm量块检定+50分度$b 用1.01mm一棋对零以1.02mm量块检定+50分皮p? 用1.02mm量块对零以1.03mm量块检定+50分度pd 用1.03mm量块对零以1.04mm量块栓定+50分度ze 用1.04mm壁块对零以1.0smm量块检:+so分度.检定-50分度时则反之.将每次检

5、走时的读数代人下列公式z = 1:ri二旦旦工LJn-l 式中:-主变检点的示值误差5r(一一每次读数f1f;(3) :;r;-一读数值的总和(采用偏差值并带E负号)J Ln一一是，百一块量块的实际尺寸.当检定王佳段时为最大的一块量块的实际尺寸F当检定负f段时为最小的一块量块的实际尺寸L1-最初用来琦零的一块量块的实际尺寸.当检定正值段时为最小的一块量:块的实际尺寸F当检定负位段时为最大的一块量块的实际尺寸n一一使用量块的块数.平分皮值为0.1叫1分皮值为。.OS!lm时，检定方法与上述相同.也忘的每一字桂点则己革快向对盘及尺寸见表3.:JJC 101 81 。.20.1 。.05。.9970

6、.999 1 , 001 1 003 1 , 005 1 , 007 卖13页棠11贾表3+40 士50E甲年一中创甲_._-卢卢串明白=.，.，甲、r中卢甲= .1.甲_.血23 干涉滤光片的特性23.1要求z23.1，1没民f.0= S3005700 (每年最犬变化不应超过20) 230102半宽度90.23.1, 3透过卒二月0);6e Z3，2.检良方;二:zii1测量误差不超过10的分)r.无度计或其他仪器共13页第12页JJG 101-81 i革行;金定24 平面测帽的平南度24.1要求:平面剖植和刃形浏阳工作表面的;三百i皮，当直径或长度小于等于4mmj叶9不应大于队06m;立径

7、:交反应大子.(D1ill时，不应犬于O.0911111(不允许因乡主O.2mm范围内允评J_边.24.2检定方法z平wi皮用:在径:与白的m的2空手tt击进行检定.25 平rm浏阳如刃形帽的工作表的主的垂直皮25.1要求2平团军1l旨和刃苦的工作与到妇至于L轴线的垂直度不应大于3 25.2检定方法:由测装在!玲i5!(如飞刊所三f;)_f:，把阶梯辅放在V型铁上，然后用lj;学j泪f5(5(fN曰:检:用工作面，使视场内出现的反射十字结像对在任一示C呈上，的二分之一即为其垂直1弘因526 测帽工作表面的中心线与套孔轴线的同轴皮26.1要求z测帽工作表面的中JL线与套孔轴线的问轴度不应犬于O.

8、lmm.26.2检定方;z将削i自装在阶梯轴b然)音Ji寻阶梯轴放在工具显微镜的无中J心夹具上，转动Pf-槌轴m像法检定取转动时最大偏移量的二分之一NP为其同轴度.27 平行平品的平面度和平行皮27.1要求:平皮不JE超过。.06m;平行度不应超过o.Htm.27.2捡起方法:平llil支H11级平品检;部平行度在本仪器上边行栓完eJJG 101-81 共13页第13m一-_.，.，.-，-.-_-白?中一=.=-一一四、检定结果的处理28 经检定，符合本规程斐求的接触式干涉仪填发合格证书，不符合本规程要求的填发检立告呆通知书.29 接触式干涉仪的检立周期可根据使用的具体情况确完，一般不应超过年.一飞-一喃