SJ 2797-1987 电子级氩.pdf

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1、中华人民共和国电子工业标电子级SJ2797 87 本标准适用于半导体材料、分立器件和使用要求电子级氨分为两级，代号为z电路生产工艺过程中使用的电按其电子E级篮代号为sDZAr-Ez 电子I级氨代号为IDZAr 1. 1. 1 电子级翻应符合表l中的要求z1电指标序号指标名称E 级I 级一一一宣武含章，IJ&二=99.9994 99.9990 一一一一一一一 2 氧含量，ppm 0.5 一一一-_.-一一一一-一一一一一-一-3 氮含量.ppm弄3 5 4 轼含量.ppm 。.2一一-一-一飞-一一一5 甲炕含量，ppm4 。.51 .氧化碳十二氧化6 。联合嚣.ppm; 水份含量.ppm 1

2、3 8 颗粒含蠢，个/升43 (注。.2Im) 3 ( ;:0.5 11m ) 晶._-一-，_一-一一用干控大革径尤用干ill火、精接和9 用途举例质石主单品和化学气烧结与刻蚀等相沉积等注s表l中气丰食主孟均为体积比.电子工1981.05-18发布1 88-10-01实2 SJ2197 81 1. 2 电子级氧的含( C，;在)应按下列公式计z C氮100;gC; 式中:C氢.一一电子级氧体积百分积百 2. 1 中杂表2规定的方法进行检验z2 电子中方法序号杂质种奖检验方法标准号检验方法名称SJ280 7 -87 电子级气体中痕量氧的测定方法氢气敏色消法SJ2804 0 1-87 电子级氧中

3、痕量远的测定方法变温浓缩包谱法(一)2 氮SJ230402-87 电子级氢中7IZ最烈的测定方法之温浓缩6包谱法(二)3 氧GB6285-86 气l:、中微登载的定电化学法干一一一SJ 2800-87 电子级气体中痕电最甲珑的测定4 甲乡已方ij、主焰色谱法u 一氧化碳电子级气体中痕量一氧化碳的5 SJ 2801-87 测立方法生焰转化也谱法二氧化碳电子级气体qq民主益二氧化碳的6 SJ 2802-87 百:17二二方法字:IU转化色谱法SJ 2799 -87 电子级气体中痕量水份的定7 水份立j 目书47二点j去GB 5832 . -86 气iF中52量是7.k份的测应电解法SJ 2798-

4、87 电子级气体中注:粒的洲足方法8 颗粮3与1注射;去注，1 0. 5ppm以下棋含量测定方法标准待;二，( O. Sml江l、颗粒测定方法标准待定.翩翩2-SJZ797 .87 一一-一一一一一3 3.1 电子级剑出用气单位的检验部门投技术指标经常检验，应符合本标准3.2 电子级组的检验(取样)点在地化装置ZE用气设备的特拉.见下图所示， 纯化装置用气设备i到检验(取样点位置3. 3 tj险验点前的气改变肘，必如检验28项各种指标，应符合本标准的规窥-3.4 约化装置茧用气设备的sm:赂、4皆在f和过滤器更挽与维修后，检验表1中4与8两项指标，所符合本标准巾的规注:.3.5 检验用的仪器与检验点之iJ括un!号金属管EJ础接连接，管道应尽量短，不i眉飞和二忱恬染。加锐啊准由中国电子学会前净技术学会提出，本标准由电子工业部标准化研究所赵长骨、试验中心周崽华也草fHI 出电子工业部标准化研究所主办.二十四研究所夏立生和北京市-3-