SJ 2796-1987 电子级氧.pdf

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1、中华人民共和国电子工业标准SJ2796 87 电子级本标准适用于半导体分立器件和集成电路生产工艺过程中使用的电子级氧。按其使用要求电子级氧分为两级，代号为z电子E级氧代号为:DZ02 1 I 电子I级氧代号为:DZ02一1 1 技术1. 1 电子级氧应样合表1中的要求z于工1 电子银氧技术指标寸-才旨于号指标各称一E 级一一一一一一1 氧含量，%二岁99 .5 2 氨含蜀，ppm 一一一一一一一一一一一一一3 4 5 甲炕含量，ppm 一氧化碳十二1t(,(t l战含蟹，ppm ;1: rl1坑最可1只灼刑;辽3 印炕SJ ?8(,O-87 71 法24泊包i注法也子:X气体中度量一气气化阪r

2、lV4 一氧化服SJ 2801-87 泯l727J:旦氢的转化色i苦ijf一一-丛子叹气体EhfEEt二农ffs:fqSJ2802-87 5 二氧化以训立方法氢fii转化色前w一一一SJ 2799-87 电子级气体!11言道水份的测沌6 水份方法自视ZEv点法7 粒SJ 2798-87 电子级气体中颗粒的测定方法光散射i去注.0.3m以下烦哇!啊!宅方法标准待定.3.1 电子级氧由用气单位的质量检验部门按技术指标经常检验，应符合本标准的规定3.2 电子级氧的检验(取样)点在纯化装置至用气设备的管段。见下图所示z-2甲纯化装置SJ2796 87 图检验()点的位置用气设备3.3 当检验点前的气源改变时，必须检验表l中1-6项各种指标，应符合本标准中的规起.3.4 纯化装置至用气设备的管路、管接件和过滤器更换与维修后检验表中4和6标应符合本标准中的规定.3.5 检验用的仪表与检验点之间使用的金属管道硬接连接，管道应尽量短，不得有和二次污染.附加肌响2本标准由中国电子学会洁净技术学会提出，由电子工业部标准化研究所主办.本标准由电子工业部第二十四研究所林耀泽、电子工业部标准化研究所赵长春和北京半导体器件试验中心周起华起草和修订.-3-