QJ 1528-1988 半导体集成电路时基器测试方法.pdf

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1、Q.I 中华人民共和国航天工业部部标准QJ 1528 88 半导体集成电路时基器测试方法1988-04-25发布1988 口31实施中华人民共和国航天工业部发布中华人民共和国航天工业部部标准半导体集成电路时基器测试方法本标准规定了半导体集成电路时基器(以下简称器件)电参数测试方法EI总的要求QJI528-88 1. 1 若无特殊说明，测试期间，环境温度或参考点温度偏离规定值的范隅应符合被测器件详细规范的规定。1 2测试期间应避免外界下扰对测试精度的影响。测试设备引起的测量i是并应在器件详细规范中规定.1.3 测试期间，施于被测器件的电糠内阻在器件频率下应基本为零内流电源也1石波动不得超过百分之

2、纹波电压小于或等TIO毫伏。1.4被测器件与测试革统连接或断开时，不应超过器件的使用极限条件。1.5若有要求时，应按器件详细规范的规定连接辅助电路及补偿网络e1.6测试期间，被测器件应避免出现白激现象。1 7测试装置的寄生参量(指分布电容，分布电感等)，不应对测iA结果产生明报的影响。1 8若有要求时，应按器件详细规范规定的顺序接通电糖a2 电参鼓测试2.1 阉值电压、FH2. 1. 1 定义当时基电路输出完成111高咆平llfRtll平转换肘，其阀值端所需的电/f，.即为离值电用。2.1.2 测试原理国闽值也压Vrn测试原理同如同l所马.Vrr 飞rvn VREf 罔l航天工业部1988-0

3、4-25批准1988-12-31实施QJ 1528-88 2.1.3测试每件在测试期间，下列测试条件应符合器件详细规范的规定a环境温度，b 电源电压，c补偿网络及辅助电路;d负载电阻.2.1.4测试程序2.1.4.1 按规定环境条件，将被测器件接人测试系统中.2.1.4.2按规定条件接人补偿网络及辅助电路。2.1.4.3施加规定的电源电压。2.1.4.4 触发端输入低电平脉冲，置输出端V为高电平.2.1.45 改变V陋，当输出端电平开始由高电平向低电平转换时，读出此时间值端上的电压ftP为阔值电压Vrn2.1.5注意事项a遵守总的要求。b测量用的指示设备不影响测试结果的精度。2.2 姆值电流1

4、，2.2.1定义阂值端拖加规定的阐值电压时，阔值端所需的电流即为阀值电流。2.2.2 测试原理圈阔值电流1，利测试原理阁如同2所示a可ccr lr 复f止咆i原发DUT IIR, 。V，控制l到值飞之/寸一咱Vn;地阳22.2.3 测试条件2 在测试期间，下列测试条件应符合器件详细规范的规定。a环境温度;h 电源电压，c补偿网络及辅助电路;d负载电阻。2.2.4 测试程序QJ 1528-88 2.2.4.1 按规定环境条件，将被测器件接人测试系统中n2.2.4.2 按规定条件接人补偿网络及辅助电路。2.2.4.3 施加规定的电源电照2.2.4.4触发端输入低电平脉冲，雷输出端飞为高电平。2.2

5、.45 阔值端施加V凹，此时由电流表i卖出闯值咆流I霄，值62.2.5注意事项遵守总的要求E2.3 触发电压Vn2.3.1 定义当时基电路输出完成由低电平!hJ高电平转换时此时触发端所需的电fF即为触发也用。2.3.2 测试原理固触发电压V测试原理因如罔3所尽aVR tiI-2.33 测试条件复位触发DUT 地图3Vcc 电源输出在测试期间，下列测试条件应符合器件详细规范的规定2a环榄温度;b 电源电fF:C补偿网络及辅助电路;d 负载电阻四2.34 测试程序2.34.1 按规定环境条件，将被测器件接人测试系统中。R, 可3 QJ 1528-88 2.3.4.2按规定条件.接人补偿网络及辅助电

6、路。2.3.43施加规定的电源电压.2.3.44改变V，霄，当输出端电平开始由低电平向高电平转换时，渎出触发端上的电压即为触发电压Vrr 2.3.5注意事项遵守总的要求-2.4触发电流I2.4.1定义触发端施加规定的触发电压时，触发端的电流即为触发电流2.4.2测试原理固触2主电流I啊涮试原理罔如图4所示.控制2.4.3测试条件V cc DUT放咆圈4在测试期间，下列测试条件应符合器件详细规范的规定aa环境温度;b 电ll!电压c补偿网络及辅助电路;d负载电阻.2.4.4测试程序2.4 4.1 按规定环境条件，将被测器件接人测试系统中。2.4.4.2 按规定条件接人补偿网络辅助电路.2.44.

7、3 施加规定的电源电ff.R, V, 2.44.4 触发端施加IV啊，此时由触发端上电流表读出触发电流In.flL 2.45注意事项a遵守总的要求;b 电流表内阻不影响测量结果的精度a4 2.5 复位电压V.2.5.1 定义QJ 1528-88 维持时基电路输出低电平电照状态时，复位端上所需的电压即为复位电If.2.5.2 测试原理圈复位电压V.测试原理图如阁5所示。2 lf1 R, 复位也濒触发VRD | DUT |走l控制地罔52.5.3测试条件在测试期间，下列测试条件应符合器件详细规范的规定。a环境温度，b 电糠电压，c补偿网络及辅助电路，d负载电阻a2.5.4 测试程序2.5.4.1

8、按规定环境条件将被测试器件接人测试系统中。2.5.4.2按规定条件接人补偿网络及辅助电路。2.5.4.3施加规定的电源电/f. 。可n2.5.4.4 改变VJU1F当时基电路维持输出电斥低电平时(非触发状态)，读出此时复位端上的归辰，即为复位电压V.2.5.5 注意事项遵守总的要求。2.6复位电流I胃2.6 1 定义当时基电路复位端施加规定的复位电压时，复位端的电流即为复位电流e2.6.2盟Olt原理圈复位电i!l1，测试原理因如附6所乐a5 r 囚一、觅一5-IE W一Y , 因62.6.3测试条件在测试期间，下列测试条件符合器件详细规范的规定。a环绕温度;b 电源电压;c补偿网络及辅助电路

9、，d负载电阻.2.6.4测试程序2.6.4.1 按规定环境条件，将被测器件接人测试系统中。2.6.4.2 按规定条件接人补偿网络及辅助电路。2.6.4.3施加规定的电源电压.2.6.4.4复位端施加规定的复位电压，由电流表读出1，值。2.6.5 注意事项遵守总的要求。2.7控制电压电平VF2.7.1定义时基电甩在施加额定电源电压时，控制端上的电斥即为控制咆ffi电平E2.7.2测试原理圈控制电压电平Vc测试原理图如阳7所示。Vcc VP 图76 QJ 1528-88 2.7.3 睡试条件在测试期泻，下3月j浓试条件应符合器件详缀规范始窥定ea环凌温度;h电源电压，e补偿网络及辅助电路;垂负载电

10、卖主.2.7.4漉试程序27.4.1 按烧定环境条件，将被翻器件接人擦边系统中-2.74.2按饺定条件袭人补偿网络及帮助电路a2.7.4.3 施主主规定!J电源电压.2.7-4.4 自电压衰渎监控越电压飞2.7.S 注意事项遵守总豹要求-2.8 f茸电-lJ鳝出电压V-2.8.1 定义王宝器件输出端为压电子对，在额定负载电滚条件下，输出端的电!王l!ll为输出电压低电平坐2.8.2 章程试原理噩绘出2起f1i1崔咆于vo!_ im试原理因妇自H8A厅示5Vcc 熙82.8.3罩!J试条绊在测试期间，下列测试条件应符合器件详细规范的妓定金a环境温度，b 电源电皮，c补偿网络及黎助电路;d灌入电流

11、.十R R U 呵, QJ 1528-88 2.8.4 测试程序2.8.4.1按规定环渎条件，将被烫器件接人那试系统中-2.8.4.2 按规定条件，主要人孙偿网络及辅助电路a2.8.4.3 Ii董恕规定剖电源电压e2.8.4.4 溺节Rw.使电流表读委主为翅定的灌入电流值e输也主费电压表读数，ftP)与输出电j石像电平V0_. 2.8.5注意事项a.遵守总的要求号b.根据不罚的器件，加适当的保护电器.2.9离电军输出电压，副2.9.1 定义电器伶输出端为高电平窍，在额定输出也液条件下，验出溃的也斥.np寿高电平输出电压e2.9.2测试原理圈输出电压离电平V阳测试原理图重自图9所示.2.9.3

12、ilg试条件主正1iL散发Vcc DUT放J控制民9在测试期词，下列祖i试条件应符合器伶详级规范规定a鑫环凌温!l!:;b.电摄电乐;C.补偿网络及穰助电路;负载电漾-2.9.4混过程序2.9.4.1 接魏定环境条件，将被边l器待接人测法系统中$2.9.4.2接窥定条件接人补偿网络及辅没电路a2.9.4.3施加规定豹电源电压雹8 QJ 152串串串2.9.4.4调节Rw，使电流表读数为规定的输出电波壁，电压袤渎数即为离电平输出电压V面.2.9.5注意事项遵守总的要求;b根据不同的器件，如运当的保护电应-2.10 奄翠电直在Icc2.10.1定义在额定电源电压和无负载条件下，器伶所消耗的电君在p

13、p为电源电流矗立.10.2测试原理圈电源电流1!试原理雷知自&10脐示.Vcc A B 因l(l2.10.3测试条件在测试携饵，下列极试条件应持合器件详细短程约烧定.a环绕温度:b 电源电压;补偿网络及辅助电路，d负载电阻R:为。o2.10.4测试程序2.1串4.1按混定环境条件于将被擦器件接人测试系统中，2.1岳4.2按规定条件接人拎偿网络及辘助电路a2. 1串4.3施加规定的电源电压aV, 2.10.4.4将S登于A，缓出为纸电平争此对电流表渎数为纸电平也草草电流In将K置于B，输为高电子.此时电草草表渎数为离电孚电源电流Ia:到a2.10.5注意事项遵守总的要求a9 2.11 电量雷电压

14、范围V. 2.11.1定义QJl5.怨怨能保证时基电路正常触发的电摄电压变化范雷e2.11.2到试原理蜀电摄电压范蜀V回测试原理想知图11 吁示。Vcr 电楞 DUT 放手住地商112.11.3剥试条件在测试窥间，下班j测试条件应符合器件详细筑范的规定a环境温度，b补偿网络及额.IlI;电路:c负载电怪。2.11.4测试程序2.11. 4.1 兹去军定环凌条件，将被测器件袭人测试系统中-2.11.4.2按烧定条件，接人补偿网络及编助电路aI V, 。V巧L.J L.J 。wt 2. 1l.4.3 施加电草草电压.改变电摄电莲值，从示波曹雪上观察输出电莲波影.!电压表读出维持器件正常触发约最小电

15、军事电压锺和最离电源电筐.2.1 1. 5注意事项a遵守总的要求-b.电源电压不能超过极限筐-2.12 定对温度系童盘时2.12.1定义单位环境温度的变化导致定对慰问的相对变化率郎为定时温度系数暴2.12.2到读原理画10 定时温度系数目的l!试原理盟主E图12济;zy; V rr 一-lllR, TH二明控制L_ 0.01f 2.12.3溅试条件放时主阔筐C 图12茸AR. 在那试期间，下列吉普试条件符合器伶详继规范的娱定.a.环境温度;b电源电压;c补偿网络及辅助电路，4负载电温;e定时元件犯、忌，C值.2.12.4 J睡试程序V, 2.12.4.1按镜定环境温度，将被那器件接人那试系统中

16、82.12.4.2按镜定条俘，接人补偿网络及鹦黠电路e2.12.4.3施加规定的电源电ff.2.12.4.4 当T二AR寸，!i!i量输出高电平脉冲宽度为飞，2.12.4.5 当TR肘，戳量输出高电平脉冲宽度为t,. 2.12.4.6 当T , H.才，那量输出高电平脉J中宽度为t， 2.12.4.7按公式计算，勇lv a 高温定a1温度系数dt _t.，二坠x HJ PPm I t 以T芮TA)低温定对温度系数dt丁午L?106ph/t 11 QJt到8-882.12.5 注意事项a.遵守总约要求:盔、环婆温度政变Z寸，计时元件R.R在及C徨应维持不变a2.13 定对电量事电压灵敏度Ksv.

17、2.13.1定义单位电源电压的变化，导致定对时间的格对变化率BP为定将电源电压灵数度。2.13.2 J睡试原理画定时电源电压灵敏度芷酬测试原理I!I如图13所示。工1f主三位勉发Vcc土jYcc也源输出DUT 放电闯世窗口2日.3测试条件C Vo 在测试窥间里下列测试条件应符合器件详细规范的规定aa环境温度;如电源电压:C.补偿网络及辅助电路;4负载电量i;6计E亏元件RA、凡、C值a2.13.4测试程序2.13.4.1 按窥定环境温度，将被测器件接人部主主系统中e2.t3.4.2接规定条件，接人补偿网络及辅助电路.2.13.4.3施加混定的电源电压.2. t3. 4.4测量输出高电平脉冲宽度

18、为t 飞FO2.13.4.5将电源皂压玫变f，Vce，测量输出葛电平脉冲宽度为之， 12 的艺。11量.28-882.13.4.6接公式计算，那Ksv.一二i二主-x 1( %jV) L, Va: . t 2.13.S注意事项遵守总的要求-2.14输出脉冲上升时渴t.2.14.1 定义对基电路工作在多活振荡状态，输出量章;冲电压白纸电平到高屯平的这沿上离规定参考电平阔的对i写.部为输出掠冲上升慰问。2.14.2 测试原理蜀输血脉冲上升时间t.LH翻试京理国妇图14所示，Vrc z-aar E R, C -主A主王位屯源敏发轮过jDlJT 放?也RR 经费能i= pz 地: F-C 0.01f

19、. 可J飞V(1 可由!gZ F t t 且，图142.14.3 测试条件在那期间，下到那试条件应符合器件详细窥范的规定Ea环境温度;b. 王军草电压;c补偿湾络及辅盟主电路;d负载电阻及交载电容;e. tt，才元伶R，.R民及C数值;E参考电平VRflVRU_ 2.14.4 测试程序2.14.4.1 按规定环爱温度.将被那器件接人测试系统中也2.14.4.2 按规定条件，接人补偿网络及铺盖告电路e13 Q.J 1528-88 2-14-4-3施放规定桃电源电压.2-14-4-4在输出端:!w.察波浪根据飞m和V.臣，戳量tr1H值-2.14-5注意事项遵守总的要求2-15 输出嫁湾下降射i取

20、管理，2- 15_ 1定义对基电路工作在多谐振荡状态，事串出脉冲电压曲高电平娶J在电子边沿上两规定参考电平间的i写s2_15.2混过原理噩输出陈冲下路慰问t，旺那试m;:理如图15所示.Vcc 飞一毛。1 H f i 图152-15-3测试条件在l!l试期鼠，列那试条件应符合器件详细搜范的规定a鑫环境温度:b 电漂电压;c-补偿网络及辅助电路，d 负我电盟主及负载电容， tB才元件RA、R，JkC数值;E参考电孚飞fRfFVRF 2_15_4测试程序2_15_4_1 按规定环境条件，将被那器伶接人测试系统中-2_15.4_2按规定条件，袭人补偿网络及瑞黯电路.2_15.4_3 施怒规定的电源电压2- 15-4-4 在输出端观察波形，握握V捷田和Jl:EFLt黯量t旺值。14 VRH1 V .!.Q!. 2.15.5注意事项遵守总的要求.精加说明:本标准由航天工业部七0八新提出QJ 1528-88 本标准由航天工业部六九负责起草.t5