JJG 828-1993 激光千分尺平行度检查仪检定规程.pdf

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1、ZTZYG 中华人民共和国国家计量检定规程JJG 828-1993 激光千分尺平行度检查仪Laser Measuring Instrument for Paralleism of micrometer 1993-06-04发布1993一12一01实施国家技术监督局发布JJG 828-1993 激光千分尺平行度检查仪检定规程Verification Regulation of Laser Measuring Instrument for Paralleism of micrometer 1.0.0eo.o.o.o.oeo.o.o.o.o.o.o.飞?JJG828-1993: 本检定规程经国家技术

2、监督局于1993年06月04日批准，并自1993年12月01日起施行。归口单位:四川省标准计量管理局起草单位:东方锅炉厂天津市计量检定所本规程技术条文由起草单位负责解释JJG 828-1993 本规程主要起草人:贺呈祥(东方锅炉厂)郑毅勇(天津市计量检定所)刘佳丽(天津市计量检定所)参加起草人:侯用民(自贡市技术监督局)邹荣先(自贡市计量测试研究所)JJG 828-1993 目录概述(1 ) 一检定项目和检定条件(2 ) 一技术要求和检定方法(3 ) 四检定结果处理和检定周期(5 ) 附录1用分度值为1自准直仪检定平行度检查仪示值误差(6 ) 附录2D、d值及光屏活动标尺换算表，.(8 ) J

3、JG 828-1993 激光千分尺平行度检查仪检定规程本规程适用于新制造、使用中和修理后的激光千分尺平行度检查仪的检定。一概述激光千分尺平行度检查仪(简称平行度检查仪)是利用激光光束通过一套光学系统形成点光源所发出的球面波，分别经标准棱镜两平行平面与被测千分尺两测量面反射后，先后在光屏上形成干涉环，由这两组干涉圆环的中心距确定被测千分尺两测量面的平行度。仪器结构如图1所示，其光学系统如图2所示。图1仪器结构1一固定反射镜;2一激光电源;3一光屏座;4一底座;5一左支承;6一反射镜调整台;7一标准棱镜;8一右支承;9一工作台;10一千分尺示值误差检具;11-d尺;12一研磨器架;13一支架;14

4、一激光器架;15-D尺3 4 5 6 旦S 2 -He-Ne激光嚣;2, 3一固定反射镜;4一聚光镜;5一光屏;6一可移动反射镜;7一千分尺测杆;8一标准棱镜;9一千分尺测站JJG 828-1993 检定项目和检定条件1 检定项目和主要检定工具列于表1。表1检定类别序号检定项目主要检定工具新制的修理后使用中1 外观+ + + 2 各部分相互作用+ + + 3 光屏座指标线位置的正确性游标卡尺和深度游标卡尺+ + 4 D尺和d尺位置正确性游标卡尺+ + 5 千分尺示值误差检具表面粗糙度比较样板+ + + 测量头表面粗糙度6 研磨器架工作面平面度2级平面平晶+ + + 活动标尺旋转中心对公差圆中心

5、工具显微镜7 + + 的偏移量及活动标尺示值误差8 示值误差3等(或1级)量块、分度值+ + + 为1自准仪、双面反射镜注:表中+表示应检定，-表示可不检定。2 检定条件检定室的温度应在(20士们范围内，温度变化每小时不超过1C。检定仪器及主要检具应放在检定室内，平衡温度的时间不少于24h。检定前应提前0.5h启动激光电源，进行预热。2 JJG 828-1993 一技术要求和检定方法3 外观3.1 要求3. 1. 1 仪器的电镀表面不应有脱落，油漆表面应平整，不应有碰伤、色泽不均匀、仪器导轨及其支承部件应无影响使用的疵病。3. 1.2 光学零件表面不应有明显擦伤、霉点及镀层脱落的现象。3. 1

6、. 3 仪器上所有刻线应清晰、均匀，不应有影响读数的缺陷。3 . 1.4 仪器上应有制造厂名或商标，出厂编号和生产许可证标志。3. 1.5 使用中和修理后的平行度检查仪，不应有影响准确度的外观缺陷。3.2 检定方法:目力观察。4 各部分相互作用4.1 要求4. 1. 1 在导轨全长范围内移动光屏，激光光束应能顺利通过光屏中心孔，不应有遮光现象。4. 1.2 仪器上各活动部件在转动或移动时应平稳，不应有卡住、阻滞、急进、晃动等现象，紧固螺钉的作用应切实可靠。4. 1.3 可调换部件的装卸、调整应方便，紧固装置应可靠。4. 1.4 平面反射镜调整台和标准棱镜调整台在进行水平或垂直方向调整时，光屏读

7、数板上的光斑应是平稳的直线运动。4 .2 检定方法:试验和目力观察。5 光屏座指标线位置的正确性5.1 要求:光屏座指标线对于光屏面的位置误差不应超过1mm。5.2 检定方法:用深度游标卡尺测出光屏表面与基座端面的距离，再用游标卡尺内量爪测出指标线与基座端面的距离，两数值之差即为指标线的位置误差。6 D尺和d尺位置的正确性6.1 要求:D尺和d尺两首端刻线间距为(140士3)mmo标准棱镜右端面至d尺首端刻线距离为(30:t2) mm。6.2 检定方法:用游标卡尺内量爪检定。7 千分尺示值误差检具测量头表面粗糙度7.1 要求:测量头表面粗糙度应不大于RaO.05m。7.2 检定方法:用表面粗糙

8、度比较样板比较检定。8 研磨器架工作面平面度8.1 要求:研磨器架工作面平面度应不大于1m。8.2 检定方法:用2级平面平晶检定。9 活动标尺旋转中心对公差圆中心的偏移量及活动标尺示值误差3 JJG 828-1993 9.1 要求9. 1.1 活动标尺旋转中心对公差圆中心的偏移量应不大于0.5mm。9. 1.2 活动标尺允许误差见表20亵2毫米分度允许误差厘米分度允许误差全长允许误差:!: 0.10 9. 1.3 公差圆直径为(20:t 0 . 10) mm。9.2 检定方法士0.15:!: 0.20 口1口19 . 2.1 旋转活动标尺，找出公差圆上有最大读数的一点，在活动标尺上读出该点和对

9、径点的读数，两点读数之差的一半应不超过0.5mm。9.2.2 活动标尺示值误差与公差圆直径应在工具显微镜上检定。10 示值误差10.1 要求:当用标准平行平面检定和用自准直仪检定时，示值凡的误差均不大于2mmo10.2 检定方法10 .2.1 用标准平行平面检定时，标准平面由长度变动量不超过0.2m，尺寸为150 mm 3等(或1级)量块和两块尺寸3-5mm的小量块组合而成。如图3所示。J 3 4斗?I , 2 8 7 图31一激光器;2、3一固定反射镜;4一聚光镜;5一光屏座;6一可移动反射镜;7一标准棱镜;8一量块组将光屏座对准D尺上667mm刻线，量块B面对准d尺55mm处，(由附录2选

10、定)。移动反射镜6，使激光束射在量块测量面A上，在光屏上产生干涉环后，调整干4 JJG 828-1993 涉环中心，使之位于公差圆中心。再移动反射镜6，使激光光束射在量块测量面B上，在光屏上出现干涉环。转动活动标尺，读取干涉环中心与公差圆中心的距离疗，应不超过示值误差允许值。10.2.2 用分度值为1的自准直仪和双面反射镜检定(见图的。3 6 2 A 7 8一尸尹图4将仪器工作台放置在标准棱镜右侧某一位置，依次按照d值对准55mm、230mm 和480mm位置，在工作台上安装好双面反射镜8，使双面反射镜8的面对准d值。再按附录2选取D值，使光屏座指标线对准相应D值，调整仪器，使双面反射镜8的a

11、面反射光与标准棱镜的B面反射光相干涉，产生干涉环后，调整干涉环中心使之位于公差圆中心。再将自准直仪对准双面反射镜8的b面，将自准直仪的读数调整为零。转动双面反射镜8，使干涉环沿水平方向移动，在此方向上任选公差圆内和公差圆外各一点，使干涉环中心分别位于选定点上。用活动标尺分别测量这两点的值凡，从自准直仪上分别读出双面反射镜8的转动角度轨。根据d值从附录2中查出相应的角值卢，按下式计算差值l:ij=r-2L(mm) 2卢用同样的方法使干涉环沿光屏中心的竖直方向移动，重复上述检定。再进行两次移动光屏座和改变双面反射镜的位置(即改变D、d值)，按此上述方法检定，通过计算得到12个差值，均不得超过示值误

12、差允许值。四检定结果处理和检定周期11 经检定符合本规程要求的发给合格证书，不符合本规程要求的发给检定结果通知书。12 平行度检查仪的检定周期根据具体情况确定，一般不超过1年。5 JJG 828-1993 附录1用分度值为1自准直仪检定平行度检查仪示值误差例:(见以下3个表)表1d = 55 mm, D = 667 mm , = 5.9 方向序号活动标尺读数rsi(mm) 自准直仪读数仍(秒)差值.(mm) 水平l 3 40.5 0.43 方向2 10 98 1.68 竖直1 6 69 0.15 方向2 14 162 0.27 表2d = 230 mm , D = 789 mm , = 14.

13、 8 方向序号活动标尺读数rsi(mm) 自准直仪读数机(秒)差值.i(mm) 水平1 3.5 30 0.80 方向2 12.5 380.2 0.34 竖直1 7 186 0.72 方向2 15.5 436.8 0.74 表3d = 4 17 . 5 mm, D = 716 mm，自=26.5方向序号活动标尺读数rsi(mm) 自准直仪读数机(秒)差值.i(mm) 水平1 4 219 0.13 方向2 12 547 1.68 竖直3 6 317 0.02 方向4 16 840 0.15 6 JJG 828-1993 D=667 mm, d =55 mm示值误差:按下式计算:A- 92i = r

14、.: 81 2卢98 j = 10一一一一一一=1.70 mm x 5.9 D = 789 mm, d = 230 mm示值误差:80 ; = 3.5 -一一一一=0.80 mm 2 x 14. 8 D = 716 mm, d =417.5 mm示值误差:547 j = 12一一-一一一=1.68 mm 2 x 26.5 以上示值误差均没有超过2.0mm，该仪器示值误差为合格7 JJG 828-1993 附录2D、d值及光屏活动标尺换算表千分尺测量面与标尺0.5mm的对应值千分尺平行度允差测量上限d D (mm) 以长度计以弧度计(mm) (mm) 千分尺工作面千分尺工作面(m) (rad)

15、的夹角卢()的平行度8(mm) 150 4 0.000571 55.0 667 5.9 0 .20 175 6 0.000857 67.5 595 8.9 0.30 200 6 0.000857 80 .0 644 8.9 0 .30 225 7 0.001 000 92 . 5 635 10.3 0.35 250 7 0.001 000 105.0 674 10.3 0.35 275 7 0.001 000 117.5 710 10.3 0.35 300 7 0.001000 130 .0 744 10 . 3 0.35 325 8 0.001 143 142.5 722 11.8 0.40

16、 350 8 0.001 143 155.0 750 11.8 0.40 375 8 0.001143 167.5 776 11.8 0 .40 400 8 0 .001 143 180 .0 802 11 .8 0.40 425 10 0.001429 192.5 730 14.8 0.50 450 10 0 .001429 205.0 751 14.8 0 .50 475 10 0.001 429 217 .5 770 14.8 0 . 50 500 10 0.001429 230.0 789 14.8 0.50 525 12 0.001 714 242.5 729 17.7 0.60 5

17、50 12 0.001 714 255.0 744 17 . 7 0.60 575 12 0.001 714 267.5 760 17 .7 0 .60 8 JJG 828- 1993 表(续)千分尺测量面与标尺0.5mm的对应值千分尺平行度允差测量上限d D ( mm) 以长度计以弧度计( mm) ( mm) 千分尺工作面千分尺工作面(m) (rad) 的夹角卢()的平行度( mm) 600 12 0.001 714 280.0 775 17.7 0.60 625 14 0 .002000 292.5 721 20. 7 0.70 650 14 0.002000 305.0 734 20.7

18、 0.70 675 14 0.002000 317.5 746 20 .7 。.70700 14 0. 002000 330.0 758 20.7 0.70 725 16 0.002286 342. 5 711 23 .6 0 .80 750 16 0.002286 355.0 721 23. 6 0.80 775 16 0.002286 367.5 731 23.6 0.80 800 16 0 .002286 380.0 741 23 . 6 0.80 825 18 0.002286 329.5 699 26.5 0. 90 850 18 0.002286 405 .0 708 26 .5

19、0 . 90 875 18 0.002 286 417.5 716 26.5 0.90 900 18 0 .002286 430.0 724 26.5 0.90 925 20 0.002857 442 .5 686 29.5 1.00 950 20 0 .002857 455 .0 693 29.5 1.00 975 20 0.002857 467.5 701 29.5 1.00 1000 20 0 .002857 480 .0 707 29.5 1.00 9 中华人民共和国国家计量检定规程激光干分尺平行度检查仪JJG 828-1993 国家技术监督局颁布 中国计量出版社出版北京和平里面街甲2号邮政编码100013 电话(010)64275360北京市池鑫印刷厂印刷新华书店北京发行所发行版权所有不得翻印峰880 mm X 1230 mm 16 *本印张1字数13千字1993年9月第1版2001年1月第2次印刷印数1501-3500统一书号155026- 1232 定价:14.00元