GB 50781-2012 电子工厂化学品系统工程技术规范.pdf
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1、自S/N: 1580177. 938 叭lis71I793S2 11 F六飞三气i时让-;.咕O;.:;rC 导幸运之、司主甚瓦I一:.io;JZ旦;113且是飞fp回站936刊。巴琵塑盟统一书号:1580177 938 定价:15.00元UDC 中华人民共和国国家标准GEJ P GB 50781 - 2012 电子工厂化学品系统工程技术规范Technical code for Chemical System of Electronic Factory 2012 - 06 - 28 发布2012 -12 -01 实施中华人民共和国住房和城乡建设部中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局联合发布c
2、e(-飞川川气可古母号读机气:飞卡 中华人民共和国国家标准电子工厂化学品系统工程技术规范Technical code for Chemical Syst巳mof Electronic Factory GB 50781 - 2012 主编部门中华人民共和国工业和信息化部批准部门:中华人民共和国住房和城乡建设部施行日期:Z 0 1 Z 年1 Z 月1 日中国计划出版社2012北京中华人民共和国国家标准电子工厂化学品系统工程技术规范GB 50781-2012 女中国计划出版社出版网址: 地址:北京市西城区木樨地北里甲11号国宏大厦C座4层邮政编码:100038 电话:(010) 3906433 (发
3、行部)新华书店北京发行所发行北京世知印务有限公司印刷850mmX 1168mm 1/32 2. 375印张59千字2012年11月第1报2012年11月第1次印刷女统一书号:1580177. 938 定价:15.00元版权所有侵权必究侵权举报电话:(010) 63906404 如有印装质量问题,请寄本社出版部调换f?气中华人民共和国住房和城乡建设部公告第1434号关于发布国家标准电子工厂化学品系统工程技术规范的公告现批准电子工厂化学品系统工程技术规范为国家标准,编号为GB50781一2012,自2012年12月1日起实施。其中,第3.2.8(1、2、队的、6.1.2、6.1.5、6.4.2(7
4、)条(款)为强制性条文,必须严格执行。- f丁。本规范由我部标准定额研究所组织中国计划出版社出版发中华人民共和国住房和城乡建设部2012年6月28日11 F甘;, 、叶J- 目。本规范是根据原建设部关于印发(2007年工程建设标准规范制定、修订计划的通知(第二批)建标(2007126号文的要求,由信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司会同有关单位共同编制完成。本规范在编制过程中,根据我国集成电路工厂、平板显示器件工厂和太阳能电池工厂的设计、建造和运行的实际情况,同时考虑工厂目前的现状,对国外工程公司也进行了调查研究,广泛征求了全国有关单位与个人意见,并反复修改,最后经审查定稿。本规范
5、共分7章,主要内容有:总则,术语、缩略语,化学品供应系统,化学品回收系统,化学品监控及安全系统,相关专业设计,工程施工及验收。本规范中以黑体字标志的条文为强制性条文,必须严格执行。本规范由住房和城乡建设部负责管理和对强制性条文的解释,工业和信息化部负责日常管理,信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司负责具体技术内容的解释。在执行过程中有意见和建议请寄至信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司电子工厂化学品系统工程技术规范管理组(地址:四川成都市双林路251号,邮编:610021,传真:028-84333172),以便今后修订时参考。本规范主编单位、参编单位、主要起草人和主要审
6、查人:主编单位:信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司信息产业部电子工程标准定额站参编单位:中国电子系统工程第二建设有限公司 1 上海华虹NEC电子有限公司成都爱德工程有限公司上海正帆科技有限公司冠礼控制科技(上海)有限公司液化空气上海有限公司上海兄弟微电子技术有限公司上海至纯洁净系统科技有限公司主要起草人:李骥崔永祥刘序中王开源李东升王鹏亮张志辉杨春蓉朱海英张家红简建至杜宝强宋燕周礼誉陈盛云吴建华巨龙主要审查人:陈霖新薛长立路世昌周向荣刘俊超冯卫中顾爱军陈奕强毛煌林张悦 2 F守主,目次1总则(1 ) 2 术语、缩略语(2 ) 2. 1、术语(2 ) 2.2 缩略语(4 ) 3 化
7、学品供应系统( 5 ) 3. 1 一般规定.飞.( 5 ) 3. 2 化学品供应设备(5 ) 3. 3 化学品供应管道系统(8 ) 3.4 设备与管道材质(9 ) 3. 5 管道标识u 4 化学品回收系统(1 1 ) 4. 1 一般规定(1 1 ) 4. 2 化学品回收设备(11) 4. 3 化学品回收管道(12) 5 化学品监控及安全系统( 13 5. 1 一般规定(1 3 ) 5.2 监控与安全设备(13) 5.3 监控与安全系统(14) 6 相关专业设计门的6. 1 建筑结构门的6.2 电气与仪表控制(17)6.3 给水排水及消防U们6.4 通风与空气调节u的7 工程施工及验收(2 1
8、) 7.1 一般规定 7.2 设备、材料进场验收门口7.3 设备安装 (22) 7.4 化学品供应管道安装(23)7.5 双层管道的施工安装门的7.6 酸碱类化学品管道内管焊接安装(26)7.7 溶剂化学品管道安装们7. 8 废液管道施工.(28) 7.9 管道设备标识(28)7.四管路与系统检测( 2的7.11 改建工程的施工7. 7.12工程验收门的本规范用词说明. . (33) 引用标准名录(34)附:条文说明( 3日 2 户主Contents 1 General provisions ( 1 ) 2 Terms and abbreviation ( 2 ) 2.1 Terms ( 2
9、) 2. 2 Abbreviation ( 4 ) 3 Chemical distribution system ( 5 ) 3. 1 General requirement.( 5 ) 3. 2 Distribution equipment ( 5 ) 3. 3 Distribution piping ( 8 ) 3.4 Equipment and piping materials ( 9 ) 3. 5 Piping identifiation (1 0) 4 Chemical reclaiming system (1 1 ) 4. 1 General requirement (1 1 )
10、5 6 4. 2 Reclaiming equipment (11) 4. 3 Reclaiming piping (1 2 ) Chemical moniter and safety system (1 3 ) 5. 1 General requirement (1 3 ) 5. 2 Equipment requirement .(1 3 ) 5. 3 System requirement (1 4 ) Design of relating disciplines (1 6 ) 6. 1 Architecture and structure ( 16 ) 6. 2 Electrical an
11、d instrument control (17) 6. 3 Plumbing and fire protection (1 8 ) 6.4 HVAC (1 9 ) 7 Engi口巳eringconstructon and acceptance (21) 3 7. 1 General requirement (21) 7.2 Site inspection and acceptance of equipment and materials (21 ) 7. 3 Equipment installation (22) 7. 4 Piping installation of chemical di
12、stribution system (23) 7.5 Construction and installation of containing piping (24) 7. 6 Welding installa tion of inner pi ping of acid/ alkaline containing piping (26) 7.7 Installation of solvent piping ( 2 6 ) 7. 8 Construction waste liquid piping . (28) 7.9 Piping equipment identification (28) 7.1
13、0 System inspection and testing ( 2 9 ) 7. 11 Construction of renovation engin巳ering(30)7.12 Engineering inspection and acceptance (30) Explanation of wording in this code (33) List of quot巳dstandards飞.(34) Addition: Explanation of provisions (35) 1总JHHJ m只1. 0.1 为使电子工厂化学品供应系统、化学品回收系统及其配套装置的工程设计、施工及
14、验收,贯彻国家工程建设的政策方针,确保工程安全可靠、节约能源、保护环境、技术先进、经济适用,制定本规范。1. O. 2 本规m适用于电子产业中的集成电路、平板显示器件和太阳能电池等电子工厂生产工艺中的化学品供应系统、化学品回收系统的新建、改建、扩建工程的设计、施工及验收。1. O. 3 本规范不适用于电子工厂中的化学品库房、设备清洗、废水处理、纯水制备、废气处理等生产辅助和公用设施系统的化学品系统工程的设计、施工及验收。1. O. 4 电子工厂化学品系统工程的设计、施工及验收,除应符合本规范外,尚应符合国家现行有关标准的规定。 4 1 M飞飞2 术语、缩略语2.1术Z吾2. 1. 1 化学品系
15、统chmical system 电子工厂中酸碱化学品、榕剂化学品、研磨液化学品系统的统称。2. 1. 2 化学品供应系统chemical supply system 电子工厂中酸碱化学品、榕剂化学品、研磨液化学品供应系统管道与设备的统称。2. 1. 3 化学品回收系统chemical reclaiming system 电子工厂中酸碱化步品、溶剂化学品、研磨液化学品回收系统管道与设备的统称。2. 1. 4 化学品槽车chemical lorry 电子工厂中用于运送大用量化学品的专业车辆。2. 1. 5 化学品桶槽chemical container 电子工厂中用于储存化学品的小容积容器,放置在
16、化学品储存、分配间的化学品单元内部。2. 1. 6 化学品储罐chemical storage tank 电子工厂中用于储存化学品的大容积容器,固定布置在化学品储存、分配间内。2; 1. 7 阀门箱valve manifold box CVMB) 指化学品通过供应管道可同时供应两台或以上的生产设备的阀门操作箱。2. 1. 8 分支阀箱tee box (TB) 化学品供应系统中供应两个或以上的阀门箱的管道分配箱。2. 1. 9 扩充阀箱future tee box CFTB) 飞飞化学品供应系统中用于系统扩充的设置于系统束端的阀箱。2. 1. 10 取样阀箱sampling box CSB) 指
17、化学品管道上用于化学品取样的阀门箱体。2. 1. 11 泄漏探测器leakage detector 用于探测化学品单元、化学品储罐及化学品阀门箱等设备发生化学品泄漏并给出信号的装置。2. 1. 12 化学品监控系统chemical monitor and control system 用来对化学品供应系统,化学品回收系统实现监控、显示、报警、数据收集等功能的远程监控系统。、2. 1. 13 化学品稀释单元chemidl dilution unit 电子工厂的化学品系统中用纯水稀释高浓度化学品设备的统称。2. 1. 14 化学品棍合单元chemical mixing unit 电子工厂的化学品系
18、统中作为混合两种或以上化学品设备的统称。2. 1. 15 化学品补充单元chemical charge unit 槽车的化学品系统备用供应设备。2. 1. 16 化学品供应单元chemical transfer unit 向电子工厂工艺系统供应化学品的设备。2. 1. 17 化学品单元chemical unit 化学品供应系统中化学品补充单元、化学品稀释单元、化学品混合单元、化学品供应单元等柜体的统称。2. 1. 18 化学品储存、分配间chemical storag巳distributionroo口1电子工业生产厂房或独立建(构)筑物内用于布置化学品储存、分配设备与系统的房间的统称。2. 1
19、. 19 液位探测器level sensor 用于探测化学品储罐、化学品单元内桶槽的液位的测量元件。 3 2. 1. 20 火焰探测器ultraviolet rays &. infra-red rays (UV / IR) 可燃榕剂化学品发生泄漏起火时,探测所产生红外线或是紫外线的辐射热感应装置。2.2缩略语2.2.1 PVC polyvinyl chloride 聚氯乙烯2.2.2 C-PVC clean polyvinyl chloiide 透明聚氯乙烯2.2.3 PFA perfluoro-alkoxy 四氟乙烯共聚物2.2.4 PP polypropylene 、聚丙烯2.2.5 PT
20、FE polytetrafluoroethylene 聚四氟乙烯2.2.6 CPVC chlorinated polyvinyl chloride氯化聚氯乙烯2.2.7 UPVC unplasticized polyvinyl chloride 硬质聚氯乙烯2.2.8 PE polyethylene 聚乙烯2.2.9 PVDF polyvinylidenefluoride 聚偏氟乙烯 4 p六一丁3 化学品供应系统3.1一般规定3. 1. 1 生产厂房内化学品的储存、分配间,应根据生产工艺和化学品的品质、数量、物理化学特性等确定。3. 1. 2 化学品应按物化特性分类储存,不相容的化学品应布置
21、在不同的房间内,房间之间应采用实体墙分隔。3. 1. 3 危险性化学品储存在单独的:储存间或储存分配间时,与相邻房间隔墙的耐火极限不应小于2.0h,并应布置在生产厂房一层靠外墙的房间内。(3. 1. 4 生产厂房内的化学品储存、分配间的设计应符合下列规定:1 应设计储存桶槽或储罐,储存桶槽或储罐的容量应为该化学品7d的消耗量;2 应设计日用桶槽,日用桶槽的容量应为该化学品24.0h的消耗量;3 当单一或多种化学品的储存数量达到现行国家标准危险化学品重大危险源辨识)GB18218规定的数量时,应设置单独用于化学品的储存与分配的建(构)筑物。3.2 化学晶供应设备3.2.1 化学品供应单元的设计应
22、符合下列规定:1 供应单元的设备、管路应设置于箱柜内,箱柜顶部宜装设高效空气过滤器,并应与单元门有自动联动功能,还应设排气连接口并与相应的排气处理系统连接;2 供应单元应设有确认化学品种类等信息的条形码读码机, 5 单元柜体应设有危险性标识;3 供应单元应设有清洗和吹扫槽车快速接头的纯水枪和氮气枪,有机榕剂化学品补充单元不应设纯水枪;4 不同化学品应设置不同型号、不同规格的快速接头;5 可燃溶剂化学品供应单元应设防静电接地,补充化学品时,静电接地线应与化学品桶或槽车连接;6 供应单元箱柜门应设安全连锁装置,当非正常打开时,应即时报警;7 当采用泵输送时,宜采用二组并联设计,当采用氮气输送时,两
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