GB T 8757-2006 砷化镓中载流子浓度等离子共振测量方法.pdf

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1、ICS 77.040.01 H 17 GB 中华人民共和国国家标准GB/T 8757-2006 代替GB/T8757-1988 呻化嫁中载流子浓度等离子共振测量方法Determination of carrier concentration in gallium arsenide by the plasma resonance minimum 2006-07-18发布中华人民共和国国家质量监督检验检菇总局中国国家标准化管理委员尹2006-11-01实施GB/T 8757-2006 前言本标准是对GB/T8757 1988 (呻化嫁中载流子浓度等离子共振测量方法的修订。本标准与GB/T8757

2、1988相比主要有以下变动:原标准表述仪器要求使用了波数表示法，为了和其他条款的表述一致，改为波长表示法;一一原标准规定，为测定仪器的波长精度和重复性，要测量聚苯乙烯膜的吸收带10次。但未规定是按固定周期还是在每次测量前做这项工作，也没有规定如果在这10次测量结果中出现一次或几次不符合要求时应如何处理，不便于实际操作。修改后规定为每次打开仪器按仪器说明书的要求预热一定时间后，在正式测量前进行一次测量聚苯乙烯膜的吸收带的校准;原标准5.1式中的常数c对于碑化嫁材料总是为零，故在表达式中取消。本标准自实施之日起代替GB/T8757 1988。本标准由中国有色金属工业协会提出。本标准由全国有色金属标

3、准化技术委员会归口。本标准起草单位:北京有色金属研究总院。本标准主要起草人:王彤涵。本标准由全国有色金属标准化技术委员会负责解释。本标准所代替标准的历次版本发布情况为:-GB/T 8757 19880 I 1 范围呻化镣中载流子浓度等离子共振测量方法本标准适用于掺杂呻化嫁单晶中载流子浓度的测量。测量范围tn-GaAs 1. 0X1017 cm-31.0X1019 cm p-GaAs 2.0 X 1018 cml. OX 1020 cm寸2 原理GBjT 8757-2006 在红外光谱区域，重掺杂半导体材料的反射率为波长的函数，材料的载流子浓度和反射光谱的等离子体共振极小值波长具有对应关系，测量

4、此波长，根据公式可计算出载流子浓度。3 仪器3. 1 双光束红外分光光度计或傅立叶红外光谱仪，波长范围为2.5m50m，或波数范围为4 000 cm-l200 cm-1o如果波长范围较窄，则测量范围相应减小。3.2 仪器的波长和波长重复性误差不大于0.05m。在10m处光谱分辨率为0.02m或更好。3. 3 仪器应配有反射附件，入射角不大于300。仪器应配有黑体材料制成的多种孔径的光阑。4样晶4. 1 作为样品的单晶片，表面必须研磨后进行机械或化学抛光，使样品表面在良好的光线下看上去平整光洁。4.2 样品的导电类型应是已知的。5 测量5. 1 仪器校准5. 1. 1 打开仪器，按说明书的要求进

5、行预热。测量厚度为300m 500m的聚苯乙烯膜的吸收光谱，核对3.303m吸收带，其结果应满足条款3.2的要求。5. 1. 2 安装反射附件后测量100%线，其峰谷值差应小于8%。5.2 测量5.2.1 选择适当的扫描速度，以满足条款3.2的要求。测量并记录样品的反射光谱。如果反射谱线的极小值与任一边的最大值之差小于10%，则应提高仪器的放大倍数并重新记录反射光谱。5.2.2 在反射谱线的极小值两侧约o.5mlm处分别作两条与谱线相切的直线，两直线的交点处即为反射极小值的位置。6 计算载流子浓度按以下公式计算:N = (A.min )B .( 1 ) 式中:N一一载流子浓度，单位cm-3;G

6、B/T 8757-2006 mlO一一反射率极小值波长，单位mA、B一一常数，列于表1。导电型号 rJJ 长波用应A B n 9. 418. 5 5. 803 X 10-11 -2.051 n 18. 530. 4 30. 433. 9 2. 405 X 10 -3 1. 188 X 10 2.898 n 12.308 a) b) c) d) 载流子e) P a n 7 精密度8 测试报告2 CON-h山h同筒。华人民共和国家标准呻化镜中载流子浓度等离子共振测量方法GB/T 8757-2006 国中唔中国标准出版社出版发行北京复兴门外三里河北街16号邮政编码:100045网址电话:6852394668517548 中国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷各地新华书店经销峙印张O.5 字数5千字2006年10月第一次印刷开本880X12301/16 2006年10月第-版晤书号:155066 -28138定价8.00元如有印装差错由本社发行中心调换版权专有侵权必究举报电话:(010)68533533G8/T 8757-2006