KS M 1804-2008 Test method of hydrofluoric acid for semi-conductor《半导体用氢氟酸试验方法》.pdf

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1、 KSKSKSKS KSKSKSK KSKSKS KSKSK KSKS KSK KS KS M 1804 KS M 1804:2008 2008 12 19 http:/www.kats.go.krKS M 1804:2008 : ( ) ( ) ()MPT ( ) : (http:/www.standard.go.kr) ： ： 1998 12 21 ： 2008 12 19 2008-0927 ： ： ( 025097301) (http:/www.kats.go.kr). 10 5 , . KS M 1804:2008 Test method of hydrofluoric acid f

2、or semi-conductor 1 (46 50 %) . 2 . . ( ) . KS B 6336, KS D 7041, KS D 7042, KS I 2006, KS L 2300, KS L 2303, KS M 0001, KS M 0012, KS M 0016, KS M 0035, KS M 0076, KS M 8001, KS M 8003, KS M 8005, KS M 8355, KS M 8356, KS M 8357, KS M ISO 6353 2, 2： 1 3 . , . , . KS M 1804:2008 2 a) . b) , , , . c)

3、 5 . d) . e) . 4 4.1 . a) , b) c) 100 L , , , d) 100 L 4.2 . . 4.3 , , . . . 4.4 1) (CP)2) 1 . 1) 2) (CP) . i) 1)(SU) , 3xSCUP= ii) 1)(SL) , 3LPSxC= CP： SU： SL： x ： ： KS M 1804:2008 3 1) . , 20 20 . 1 1 1.33 (I)( .) 2 1.33 1.67 (II) 3 1.67 (III)( ) 4.5 . . a) (I) (CP) 1.33 , . , . 1) , , 3) , , 3),4

4、) 5). 2) 2 4) , 5). 2 150 51 100 101 500 501 1 000 1 2 5 10 b) (II) (CP) 1.33 1.67 (I) , . 1) , , 1 . 2) 1 , . c) (III) , (CP) 1.67 (II) 1.67 , , . 1) , , 1 3) . 4) , . 5) . KS M 1804:2008 4 . 2) 1 , . ( ) , (III) , , . , , , , , , . 4.6 a) b) c) , 4.7 a) , , . b) . c) . d) . 5 a) KS M 0001, KS M 80

5、01, KS M 8003 KS M 8005 . b) KS M 0012 . c) KS M 0016 . d) KS M 0035 . e) ICP ICP KS M 8003 9.3( ) . f) ICP ICP KS M 8003 9.4( ) . g) . h) KS M 0076 A3 A4 . i) 1) KS KS , KS . . 2) KS M 8005 . 3) . j) 1) KS L 2303 . 2) KS D 7041 KS D 7042 . KS M 1804:2008 5 3) 6) 4) , . k) 1) . 2) (1： 3) 3 . . (1： 3

6、) 12 . (1： 3) , 12 . . , (1： 3) 12 , . 6 a) KS I 2006 7 . b) , , KS I 2006 5 7) . 7 7.1 a) , 1 mol/L . b) 1) 1 mol/L KS M 8001 5.5( ) s) 1)1 mol/L (40.00 g NaOH/L) . 2) KS M 8001 5.4( ) . c) 1) 20 mL . 2) 300 mL d) 1) 10 mL 0.1 mg . 2) 1.5 1.7 g 0.1 mg . 3) 30 mL . 4) 3 1 mol/L . e) , . 6) . PFA： -

7、FEP： PTFE： 7) . KS M 1804:2008 6 100006020.0=SfbA A ： (%) b ： 1 mol/L (mL) f ： 1 mol/L S ： (g) 0.020 006 ： 1 mol/L 1 mL (g) 7.2 (Cl) a) , . , . ： Cl 0.05 0.2 ppm b) 1) (1： 2) KS M 8355 . 2) (2： 3) KS M 8357 . 3) (20 g/L) KS M 8001 5.2 . 4) (0.01 mg Cl/mL) KS M 8001 5.3 a) . c) 1) 100 mL . 2) KS M 80

8、01 6.1 b) 2) . 3) 0.45 m . . d) 1) 100 g (20 g/L) 0.5 mL , . . 2) (2： 3) 2 mL 5 mL . 25 mL . 3) (0.01 mg Cl/mL) 0.50 2.0 mL , 1) 2) 25 mL . 4) 2) 3) (1： 2) 5 mL , 15 , (Cl) (mg) (ppm) . 7.3 (NO3) a) , . ： NO30.05 0.5 ppm b) 1) (1 g NO3/mL) KS M 8001 5.3 a) (0.01 mg N03/mL) 10 mL (100 mL) . . c) 1) 1

9、00 mm . KS M 1804:2008 7 2) 100 mm 3) 100 mL d) 1) 10 g (100 mL) . 2) 213 nm . 3) (1 g NO3/mL) 0, 0.50 5.0 mL (100 mL) 2) . (NO3) (g) . 4) 2) 100 mL (NO3) (g) (ppm) . 7.4 (PO4) ICP . 7.4.1 a) , . , . ： PO40.01 0.1 ppm b) 1) (1： 2) 7.2 b) 1) . 2) (1 g PO4/mL) KS M 8001 5.3 1) (0.01 mg PO4/mL) 10 mL (

10、100 mL) . . c) 1) 0.05 ppm . 2) 100 mL 3) 20 mL 20 mL . d) KS M 8003 9.5( ), 9.5.3( ) a) f) . e) 1) 100 g . 2) (1： 2) 2 mL , . 3) . , . 20 mL . 4) 100 L . 5) 1) 4) 4) . 6) (1 g PO4/mL) 0, 1.0 10 mL , 20 mL 4) . 7) 6) (1 g PO4/mL) 1.0 10 mL (1 g PO4/mL) 0 mL (g KS M 1804:2008 8 PO4/mL) . . 8) 5) 20 m

11、L (PO4) (g) (ppm) . 7.4.2 ICP a) . , ICP . ： 0.01 0.1 ppm b) 1) (1： 2) 7.2 b) 1) . 2) (1 g PO4/mL) 7.4.1 b) 2) . c) 1) ICP 2) 7.4.1 c) 2) . 3) 7.4.1 c) 3) . d) ICP ICP KS M 8003 9.3.2( ) a) g), j), k) . 213.618 nm . e) 1) 100 g . 2) . , 20 mL . 3) ICP . 4) 1) 3) 3) . 5) (1 g PO4/mL) 0, 1.0 10 mL 20

12、mL , 4) . 6) 5) (1 g PO4/mL) 1.0 10 mL (1 g Po/mL) 0 mL , (PO4) (g) . . 7) 4) 20 mL (PO4) (g) (ppm) . 7.5 (SO4 ) ICP . 7.5.1 a) , . ： SO40.01 0.2 ppm b) 1) KS M ISO 6353 2(R 14) . KS M 1804:2008 9 2) (1 g SO4/mL) KS M 8001 5.3 a) (0.01 mg SO4/mL) 10 mL (100 mL) . . c) 1) 0.1 ppm . 2) 7.2 c) 1) . 3)

13、7.4.1 c) 3) . d) KS M 8003 9.5.3 a) f) . e) 1) 100 g 1 mL , . 2) 5 mL . 2 . 3) . , 20 mL . 4) 100 L . 5) 1) 4) 4) . 6) (1 g SO4/mL) 0, 1.0 20 mL , 20 mL 4) . 7) 6) (1 g SO4/mL) 1.0 20 mL (1 g SO4/mL) 10 mL , (SO4) (g) . . 8) 5) 20 mL (SO4) (g) (ppm) . 7.5.2 ICP a) , ICP , . ： SO4 0.01 0.2 ppm b) 1)

14、7.5.1 b) 1) . 2) (1 g SO4/mL) 7.5.1 b) 2) . c) 1) ICP 180 nm . 2) 7.4.1 c) 2) . 3) 7.4.1 c) 3) . d) ICP ICP KS M 8003 9.3.2 a) g), j), k) . 180.734 nm . e) KS M 1804:2008 10 1) 100 g 1 mL . 2) . 20 mL . 3) ICP . 4) 1) 3) 3) . 5) (1 g SO4/mL) 0, 1.0 20 mL , 20 mL 3) . 6) 5) (1 g SO4/mL) 1.0 20 mL (1 g SO4/mL) 0 mL , (SO4) (g) . . 7) 4) 20 mL (SO4) (g) (ppm) . 7.6 (B) ICP ICP