JB T 8946-1999 真空离子镀膜设备.pdf

上传人：周芸

文档编号：47657

上传时间：2019-07-08

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本标准规定了真空离子镀膜设备的型式与基本参数、技术要求、设备检验及其品质评价、质量承诺及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于：电弧蒸发离子镀膜设备；电子束蒸发离子镀膜设备；磁控溅射离子镀膜设备；上述三类离子镀膜设备的组合。其他类型的具有离子镀膜特征的设备可参照执行本标准。

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