GB T 18873-2002 生物薄试样的透射电子显微镜-X射线 能谱定量分析通则.pdf
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1、ICS 17.180.30 N 33 占2-斗411: 、王G/T 18873 2002 i竟,;.XGeneral specification of transmission electron microscope(TEM)-X-ray energy dispersive spectrum(EDS) quantitative microanalysis for thin biological specimens 2002-11-11发布. . 人民共和国-监督检验检疫总局2003-06-01实施发布a 本标准的附录A是资料性附录.本标准由全国微束分析标准化技术委员会提出。本标准由全国微束分析
2、标准化技术委员会归口。GB/T 18873-2002 本标准起草单位z中国人民解放军第二军医大学、中国人民解放军军事医学科学院、复旦大学医学院、上海市计量测试技术研究院。本标准主要起草人s杨勇骥、张德添、俞彰、张训彪。I -, GB/T 18873-2002 2 2. 1 生物试样的透射电子显微镜-x射线能谱定量分析通范围本标准规定了透射电子显微镜-x射线能谱仪定量分析生物薄试样的技术要求和规范。本标准适用于生物薄试样所含非超轻元素的定量分析。术语和定义生物薄试样tbin biological sample 生物薄试样是指采用超薄切片机切成的、厚度为100nm300 nm的生物试祥。2.2 生
3、物薄标样thin biological slandard specimen 生物薄标样是指采用超薄切片机切成的、厚度为100nm300 nm的生物标准样品。2. 3 3 G因子(或平均加重权)G factor( or average aggravating weigbO 生物试样和生物标样的化学组成成分的元素因子。G因子可用下式计算得到zG= .:sC,Z;/A 式中sC,-薄试样或薄标样化学组成中元素z所占的质量分数gZ,-为元素z的原子序数pA-为元素z的原子量。基本原理用聚焦的高能电子束照射生物薄试样的微小区域,该区域中的元素受到高能电子束的激发产生特征X射线,其特征X射线能量对应于相关
4、的元素;特征X射线的强度对应于元素的浓度.采用能谱仪将接收到的特征X射线峰强度与背底强度(即连续X射线强度之比(峰背比与在相同条件下电子束照射生物薄标样中同种元素所获得的相应的X射线峰背比进行比较,确定被测生物薄试样激发区域内各元素的含量。4 5 5. 1 仪器和设备透射电子显微镜gX射线能谱(;机械推进式超薄切片机。生物薄标样的选择生物薄标样的化学成分要尽可能地与被分析生物薄试样相似,且有化学成分定值。1 GB/T 18873-2002 5.2 生物薄标样的厚度与被分析生物薄试样的厚度应相近,必须是采用机械推进式超薄切片机切成的厚度小于300nm的生物薄标样。5. 3 生物薄标样所用的载网应
5、是直径3mm的电子显微镜用标准载网,推荐使用碳载网、尼龙载网或金载网。5. 4 用于制备生物薄标样的基质材料,其G因子应接近于生物软组织的G肉子3.28.5.5 标样应具有较高的抗电子辐射及抗污染的能力。6 生物薄试样6. 1 生物薄试样的厚度应小于300nm,必须是采用机械推进式超薄切片机切成的生物薄试样。6. 2 生物薄试样所用的载网应是直径3mm的电子显微镜用标准载网,推荐使用碳载网、尼龙载网或金载网。7 准备工作7. 1 电子显微镜系统7. 1. 1 7. 1. 2 之间。7. 1. 3 7. 1. 4 开机,抽真空至电子显微镜正常工作所需的高真空后再稳定30min以上。选择测试薄标样
6、所需的加速电压,检测生物薄试样所需的加速电压应选择在35kV75kV调节电子枪的灯丝电流,使束流处于稳定饱和状态。对电子光学系统进行对中调整,使电子显微镜处于最佳工作状态。7. 1. 5 在定量分析过程中,不能再对电子光学系统进行对中调整。7. 1. 6 建议在冷阱中加入液氮,以提高真空度,减少样品污染。7.2 能i曹分析系统7. 2. 1 开机,一般预热30min左右。7.2.2 在不加电子显微镜加速电压的条件下,检测X射线能谱仪的本底计数率,本底计数;r应小于60 cps。7.2. 3 X射线能谱仪的能量漂移范围在工作时间内应小于10eV.如峰位漂移较大,可调节能谱仪中的零位调节系统,使峰
7、位漂移小于10eV. 7. 2. 4 校检脉冲处理器的状态,调节增益,并使噪音信号尽可能减小。7. 2. 5 定量分析前,必须校检能谱仪的分辨本领。用纯Cu,Co、Mn等标样检查Be窗探测器;用含F标样检查超薄窗探测器低能端的分辨本领。7. 2. 6 检查所得结果,手动或自动输入到计算机中,以备定量分析时调用。注z如仪器有自动校正程序,则不需执行7.2. 3和7.2. 4. 8 选择仪器测量条件8. 1 选择加速电压因大多数生物试样在高加速电压下极易受损,如使用透射电子显微镜对生物试样中常含的原子序数小于32的元素(如Na,Mg,P,S、Cl、K、Ca等)进行测试时,推荐的加速电压值为35kV
8、75 kV. 8.2 选择电子束束流在确定的加速电压下,选择电子束束流使X射线的计数率在800cps 3 000 cps。8. 3 选择电子束束斑直径8. 3. 1 保证也子束束斑产生的激发区尺寸不超过待分析区的尺寸,且被分析元素的特征X线的强度足够高(能达到预期的分析精度)。8.3.2 推荐采用的电子束束斑直径2对生物薄试样检测分析可采用正聚焦,束斑直径小于1m。如欲2 -GBjT 18873-2002 测量较大区域的元素成分,可采用相应的散焦束斑。如欲测量较小区域的元素成分,也可采用直径更小的电子束束斑。8. 4 选择被分析元素的X线系8. 4. 1 被分析元素的原子序数Z;32时,采用K
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